Ein Entscheidungsrahmen auf technischer Ebene für das Polieren von Halbleiterwafern Inhaltsverzeichnis 1. Einleitung 2. Erste-Prinzipien-Ansatz zur Slurry-Auswahl 3. Überlegungen zum Wafermaterial 4. Anpassung des Slurry-Typs an die CMP ...

  Filtermedien, Gehäusedesign und Point-of-Use-Kontrolle in Halbleiter-CMP Inhaltsverzeichnis 1. Überblick über CMP-Slurry-Filter 2. Die Rolle von Filtern bei der CMP-Ausbeutekontrolle 3. Filter ...

  Partikelkontrolle, Ausbeutesicherung und Prozessstabilität bei der CMP von Halbleitern Inhaltsverzeichnis 1. Einführung 2. Warum Filtration in der CMP kritisch ist 3. Partikelquellen in CMP-Slurry-Systemen ...

  Inhaltsverzeichnis 1. Einführung in Wolfram CMP 2. Wolfram CMP Anwendungen in Halbleiterbauelementen 3. Materialeigenschaften von Wolfram, die für CMP relevant sind 4. Chemisch-mechanischer Abtragsmechanismus 5. Wolfram ...

  Inhaltsverzeichnis 1. Einführung in die Kupfer-CMP 2. Die Rolle der Kupfer-CMP-Aufschlämmung bei der BEOL-Integration 3. Chemisch-mechanischer Ablösemechanismus 4. Aufbau der Kupfer-CMP-Slurry-Zusammensetzung 5. Zweistufiges ...

Inhaltsverzeichnis 1. einleitung 2. Überblick über die wichtigsten Komponenten 3. Abrasive Partikel 4. Oxidationsmittel und reaktive Spezies 5. Komplexbildner und Chelatbildner 6. Korrosionsinhibitoren und Passivierungsadditive 7. pH-Wert ...

  Inhaltsverzeichnis Einleitung Grundlegender Aufbau von CMP-Schlämmen Abrasive Partikel in CMP-Schlämmen Chemische Additive und Oxidationsmittel Komplexbildner und Korrosionsinhibitoren pH-Kontrolle und chemische Stabilität Schlämme ...

  Inhaltsverzeichnis 1. Einführung in die Metall-CMP 2. Warum Metall-CMP grundlegend anders ist 3. Klassifizierung der Metall-CMP-Aufschlämmungstypen 4. Abtragsmechanismen bei verschiedenen Metallen 5. ...

  Inhaltsverzeichnis Einleitung: Warum CMP-Aufschlämmungstypen wichtig sind CMP-Aufschlämmungsklassifizierung Logisches Oxid CMP-Aufschlämmung Kupfer CMP-Aufschlämmung Wolfram CMP-Aufschlämmung Barriere & Hartmaske CMP-Aufschlämmung Low-k ...

  Inhaltsverzeichnis Definition von CMP-Slurry CMP-Slurry bei der chemisch-mechanischen Planarisierung Wie CMP-Slurry funktioniert: Chemische und mechanische Wechselwirkung Funktionen von CMP-Slurry beim Polieren von Wafern Typische ...