{"id":820,"date":"2025-12-09T13:24:02","date_gmt":"2025-12-09T05:24:02","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=820"},"modified":"2025-12-16T11:42:41","modified_gmt":"2025-12-16T03:42:41","slug":"sapphire-wafer-grinding-and-polishing","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/application\/sapphire-wafer-grinding-and-polishing\/","title":{"rendered":"Schleifen und Polieren von Saphirpl\u00e4ttchen"},"content":{"rendered":"
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Der Zweck des Polierens von Saphir-Wafern besteht darin, die endg\u00fcltige Dicke des Substrats auf den gew\u00fcnschten Zielwert zu reduzieren und eine TTV (Total Thickness Variation) von besser als \u00b12 \u03bcm und eine Oberfl\u00e4chenrauheit von weniger als 2 nm zu erreichen. Diese betrieblichen Anforderungen erfordern Maschinen und Prozesse mit hoher Pr\u00e4zision, Effizienz und Stabilit\u00e4t. Die Verwendung der Saphir-Polierschl\u00e4mme und Polierpads von Gizhil Electronic f\u00fcr das CMP-Schleifen und -Polieren (Chemical Mechanical Polishing) erm\u00f6glicht die Umsetzung dieses Prozesses.<\/p>\n

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Durch den Einsatz von CMP-Polierverfahren k\u00f6nnen Saphirwerkst\u00fccke die gew\u00fcnschte Oberfl\u00e4chenrauhigkeit erreichen. Jeder polierte Saphir-Wafer erf\u00e4hrt w\u00e4hrend der Bearbeitung einen gleichm\u00e4\u00dfigen Materialabtrag, wodurch eine einheitliche Oberfl\u00e4cheng\u00fcte gew\u00e4hrleistet wird. Durch Anpassung der Druckbelastung kann eine Materialabtragungsrate (MRR) von 1-2 \u03bcm pro Stunde erreicht werden.<\/p>\n

Das Polieren von Saphirwafern wird in das Polieren der A-Ebene und das Polieren der C-Ebene unterteilt. Aus der Sicht der Eigenschaften der Kristallebene von Saphir hat die A-Ebene eine h\u00f6here H\u00e4rte als die C-Ebene. Vor allem Smartphone-Bildschirme, die zur A-Ebene des Saphir-Kristalls geh\u00f6ren, stellen die gr\u00f6\u00dften Schwierigkeiten beim Polieren dar. Das Polieren von Saphiren der A-Ebene besteht im Allgemeinen aus drei Schritten: Schleifen, Kupferpolieren und Feinpolieren. Die Schleifphase dient dazu, die Tiefe der stufenf\u00f6rmigen Kratzer auf der Oberfl\u00e4che zu verringern, die beim Schneiden der rohen Saphirwafer entstehen. Noch wichtiger ist, dass dadurch sichergestellt wird, dass die Dicke der chargenweise verarbeiteten rohen Saphirscheiben so gleichm\u00e4\u00dfig wie m\u00f6glich ist.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n

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The purpose of polishing sapphire wafers is to reduce the final thickness of the substrate to the desired target value, achieving a TTV (Total Thickness Variation) of better than \u00b12 …<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":981,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[8],"tags":[],"class_list":["post-820","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-application"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/820","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=820"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/820\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":823,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/820\/revisions\/823"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/981"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=820"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=820"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=820"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}