{"id":1634,"date":"2026-03-13T08:59:53","date_gmt":"2026-03-13T00:59:53","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=1634"},"modified":"2026-03-13T10:03:30","modified_gmt":"2026-03-13T02:03:30","slug":"polishing-templates-for-semiconductor-silicon-wafer-processing-complete-guide","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/polishing-templates-for-semiconductor-silicon-wafer-processing-complete-guide\/","title":{"rendered":"\u534a\u5c0e\u4f53\u30fb\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u52a0\u5de5\u7528\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\uff1a\u5b8c\u5168\u30ac\u30a4\u30c9"},"content":{"rendered":"<!-- Schema.org Article + FAQ structured data -->\n<script type=\"application\/ld+json\">\n{\n  \"@context\": \"https:\/\/schema.org\",\n  \"@graph\": [\n    {\n      \"@type\": \"Article\",\n      \"headline\": \"Polishing Templates for Semiconductor & Silicon Wafer Processing: Complete Guide\",\n      \"description\": \"Comprehensive technical guide to polishing templates used in semiconductor wafer fabrication, covering materials, process compatibility, substrate types, and custom engineering.\",\n      \"author\": {\n        \"@type\": \"Organization\",\n        \"name\": \"Jizhi Electronic Technology Co., Ltd.\",\n        \"url\": \"https:\/\/jeez-semicon.com\"\n      },\n      \"publisher\": {\n        \"@type\": \"Organization\",\n        \"name\": \"Jizhi Electronic Technology Co., Ltd.\",\n        \"url\": \"https:\/\/jeez-semicon.com\"\n      },\n      \"mainEntityOfPage\": {\n        \"@type\": \"WebPage\",\n        \"@id\": \"https:\/\/jeez-semicon.com\/blog\/Polishing-Templates-for-Semiconductor-Silicon-Wafer-Processing\"\n      }\n    },\n    {\n      \"@type\": \"FAQPage\",\n      \"mainEntity\": [\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"What is a polishing template in semiconductor manufacturing?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"A polishing template is a precision fixture used in single-side wafer polishing to hold and support the wafer against the polishing pad. It typically consists of a rigid carrier plate (FR-4 or G-10 fiberglass) bonded to a porous backing pad, ensuring uniform pressure distribution and controlled edge profiles during the polishing process.\"\n          }\n        },\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"What materials are polishing templates made from?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"The most common materials are FR-4 and G-10 fiberglass composites, which offer excellent dimensional stability and chemical resistance. For aggressive SiC polishing environments, chemically resistant (CXT) grades with seamless single-shell construction are available to withstand KMnO\u2084-based slurries and extreme pH conditions.\"\n          }\n        },\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"Can polishing templates be used for SiC wafers?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"Yes. SiC wafers require chemically resistant polishing templates specifically engineered to withstand the highly acidic or alkaline slurries (including KMnO\u2084-based formulations) used in SiC CMP. Standard FR-4 templates may delaminate under these conditions; CXT-grade seamless templates are recommended for SiC applications.\"\n          }\n        },\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"What is a waxless polishing template?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"A waxless polishing template uses a pre-bonded porous backing pad that holds the wafer through capillary adhesion when wetted, eliminating the need for wax bonding and de-waxing steps. This reduces process time, avoids thermal stress on the wafer, and improves cleanroom contamination control.\"\n          }\n        },\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"How do I choose the right polishing template for my process?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"Key selection parameters include: wafer diameter and final target thickness, work-hole depth and diameter, substrate material (Si, SiC, GaAs, glass), slurry chemistry and pH range, polishing machine carrier head geometry, and whether waxless or edge-enhancement features are required. Custom engineering is available for non-standard specifications.\"\n          }\n        }\n      ]\n    }\n  ]\n}\n<\/script>\n\n<style>\n  \/* \u2500\u2500 Google Fonts \u2500\u2500 *\/\n  @import url('https:\/\/fonts.googleapis.com\/css2?family=DM+Serif+Display:ital@0;1&family=DM+Sans:wght@300;400;500;600&family=JetBrains+Mono:wght@400;500&display=swap');\n\n  :root {\n    --navy:      #0a1628;\n    --navy-mid:  #112240;\n    --blue:      #1a56db;\n    --blue-lite: #3b82f6;\n    --cyan:      #06b6d4;\n    --slate:     #334155;\n    --muted:     #64748b;\n    --border:    #e2e8f0;\n    --bg:        #f8fafc;\n    --white:     #ffffff;\n    --accent:    #f59e0b;\n    --green:     #10b981;\n    --radius:    10px;\n    --shadow:    0 4px 24px rgba(10,22,40,.08);\n    --shadow-lg: 0 12px 48px rgba(10,22,40,.14);\n  }\n\n  *, *::before, *::after { box-sizing: border-box; margin: 0; padding: 0; }\n\n  body {\n    font-family: 'DM Sans', sans-serif;\n    font-size: 16px;\n    line-height: 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\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 PAGE BODY \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n<div class=\"page-wrap\">\n\n  <!-- \u2500\u2500 TOC \u2500\u2500 -->\n  <nav class=\"toc-box\" aria-label=\"\u76ee\u6b21\">\n    <h2>\u76ee\u6b21<\/h2>\n    <ol class=\"toc-list\">\n      <li><a href=\"#what-are\">\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30f3\u30b0\u30fb\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u3068\u306f\uff1f<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#how-they-work\">\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u4ed5\u7d44\u307f<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#materials\">\u7d20\u6750\u30aa\u30d7\u30b7\u30e7\u30f3\uff1aFR-4\u3001G-10\u3001CXT<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#waxless\">\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u306a\u3057\u3068\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u53d6\u308a\u4ed8\u3051<\/a><\/li>\n      <li><a 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\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n       SECTION 1 \u2014 WHAT ARE POLISHING TEMPLATES\n       \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n  <h2 id=\"what-are\">\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30f3\u30b0\u30fb\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u3068\u306f\uff1f<\/h2>\n\n  <p>\u534a\u5c0e\u4f53\u30a6\u30a7\u30cf\u88fd\u9020\u306b\u304a\u3044\u3066\u3001\u8868\u9762\u306e\u5e73\u5766\u6027\u306f\u54c1\u8cea\u5c5e\u6027\u3067\u306f\u306a\u304f\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u524d\u63d0\u6761\u4ef6\u3067\u3059\u3002\u30c7\u30a3\u30fc\u30d7UV\u9732\u5149\u304b\u3089EUV\u30d1\u30bf\u30fc\u30cb\u30f3\u30b0\u306b\u81f3\u308b\u307e\u3067\u3001\u30ea\u30bd\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u306e\u3059\u3079\u3066\u306e\u4e0b\u6d41\u5de5\u7a0b\u3067\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u8868\u9762\u5168\u4f53\u306b\u308f\u305f\u3063\u3066\u30b5\u30d6\u30ca\u30ce\u30e1\u30fc\u30c8\u30eb\u306e\u5e73\u5766\u6027\u304c\u8981\u6c42\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u305d\u306e\u5e73\u5766\u6027\u3092\u9054\u6210\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u306f\u3001\u6a5f\u68b0\u7684\u306a\u7814\u78e8\u304b\u3089\u59cb\u307e\u308a\u307e\u3059\u304c\u3001\u3059\u3079\u3066\u306e\u7814\u78e8\u4f5c\u696d\u306e\u4e2d\u5fc3\u306b\u3042\u308b\u306e\u306f\u3001\u4e00\u898b\u30b7\u30f3\u30d7\u30eb\u3067\u3042\u308a\u306a\u304c\u3089\u3001\u91cd\u8981\u306a\u6280\u8853\u3092\u8981\u3059\u308b\u6d88\u8017\u54c1\u3001\u3059\u306a\u308f\u3061 <strong>\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/strong>.<\/p>\n\n  <p>\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30f3\u30b0\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u7247\u9762\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30f3\u30b0\u88c5\u7f6e\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u7cbe\u5bc6\u6cbb\u5177\u3067\u3001\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u305f\u5747\u4e00\u306a\u5727\u529b\u3067\u30d9\u30a2\u307e\u305f\u306f\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u78ba\u5b9f\u306b\u4fdd\u6301\u3057\u307e\u3059\u3002\u696d\u754c\u306e\u6587\u732e\u3067\u306f <em>\u7814\u78e8\u6cbb\u5177<\/em>, <em>\u30a6\u30a7\u30cf\u30fc\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30a4\u30f3\u30b5\u30fc\u30c8<\/em>, \u3042\u308b\u3044\u306f <em>\u53d6\u308a\u4ed8\u3051\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/em>, \u3053\u308c\u306f\u3001\u88c5\u7f6e\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d8\u30c3\u30c9\u3068\u30a6\u30a7\u30cf\u305d\u306e\u3082\u306e\u3068\u306e\u9593\u306e\u6a5f\u68b0\u7684\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30d5\u30a7\u30a4\u30b9\u306e\u5f79\u5272\u3092\u679c\u305f\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <p>\u5168\u4f53\u7684\u306a\u30c0\u30a6\u30f3\u30d5\u30a9\u30fc\u30b9\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u518d\u5229\u7528\u53ef\u80fd\u306a\u91d1\u5c5e\u307e\u305f\u306f\u8907\u5408\u6750\u30a2\u30bb\u30f3\u30d6\u30ea\u3067\u3042\u308b\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d8\u30c3\u30c9\u3068\u306f\u7570\u306a\u308a\u3001\u7422\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u7e70\u308a\u8fd4\u3057\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u3053\u3068\u3067\u5bf8\u6cd5\u516c\u5dee\u304c\u4f4e\u4e0b\u3059\u308b\u305f\u3081\u3001\u5b9a\u671f\u7684\u306b\u4ea4\u63db\u3055\u308c\u308b\u534a\u6d88\u8017\u90e8\u54c1\u3067\u3059\u3002\u305d\u306e\u8a2d\u8a08\u306f\u3001\u6700\u3082\u91cd\u8981\u306a\u7422\u78e8\u7d50\u679c\u3067\u3042\u308b\u7dcf\u539a\u307f\u3070\u3089\u3064\u304d\uff08TTV\uff09\u3001\u30b5\u30a4\u30c8\u5e73\u5766\u5ea6\uff08SFQR\uff09\u3001\u30a8\u30c3\u30b8\u30ed\u30fc\u30eb\u30aa\u30d5\u3001\u304a\u3088\u3073\u8868\u9762\u6b20\u9665\u5bc6\u5ea6\u306b\u76f4\u63a5\u3001\u6e2c\u5b9a\u53ef\u80fd\u306a\u5f71\u97ff\u3092\u4e0e\u3048\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <div class=\"callout info\">\n    <span class=\"callout-icon\">\u2139\ufe0f<\/span>\n    <div class=\"callout-body\">\n      <strong>\u696d\u754c\u306e\u80cc\u666f<\/strong>\n      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Co.Ltd.\u3067\u306f\u3001\u5f93\u6765\u306e300mm\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u304b\u3089\u65b0\u3057\u3044150mm\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\uff08SiC\uff09\u57fa\u677f\u307e\u3067\u3001\u3042\u3089\u3086\u308b\u7a2e\u985e\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u57fa\u677f\u306b\u5bfe\u5fdc\u3059\u308b\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u3092\u8a2d\u8a08\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <hr class=\"section-divider\" \/>\n\n  <!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n       SECTION 2 \u2014 HOW THEY WORK\n       \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n  <h2 id=\"how-they-work\">\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u4ed5\u7d44\u307f\u529b\u5b66\u3068\u5727\u529b\u5206\u5e03<\/h2>\n\n  <p>\u306a\u305c\u7422\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u304c\u91cd\u8981\u306a\u306e\u304b\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u7247\u9762\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u7422\u78e8\u306e\u4ed5\u7d44\u307f\u3092\u7c21\u5358\u306b\u898b\u3066\u304a\u304f\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u6a19\u6e96\u7684\u306aSSP\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3067\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u56de\u8ee2\u3059\u308b\u7422\u78e8\u30d1\u30c3\u30c9\u4e0a\u306b\u4f0f\u305b\u3066\u7f6e\u304b\u308c\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d8\u30c3\u30c9\u304c\u6c7a\u3081\u3089\u308c\u305f\u8377\u91cd\uff08\u901a\u5e38\u3001\u30b0\u30e9\u30e0\/\u5e73\u65b9\u30bb\u30f3\u30c1\u30e1\u30fc\u30c8\u30eb\uff08g\/cm\u00b2\uff09\u3067\u8868\u3055\u308c\u308b\uff09\u3067\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3092\u4e0b\u5411\u304d\u306b\u62bc\u3057\u307e\u3059\u3002\u7422\u78e8\u85ac\u6db2\uff08\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\uff09\u304c\u30d1\u30c3\u30c9\u8868\u9762\u3092\u6d41\u308c\u3001\u6a5f\u68b0\u7684\u7814\u78e8\u3068\u5316\u5b66\u7684\u6eb6\u89e3\u306e\u8907\u5408\u4f5c\u7528\u306b\u3088\u3063\u3066\u6750\u6599\u9664\u53bb\u304c\u884c\u308f\u308c\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <p>\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d8\u30c3\u30c9\u3068\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u88cf\u9762\u306e\u9593\u306b\u4ecb\u5728\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u76f8\u4e92\u306b\u95a2\u9023\u3059\u308b3\u3064\u306e\u6a5f\u80fd\u3092\u679c\u305f\u3057\u307e\u3059\uff1a<\/p>\n\n  <ol style=\"padding-left: 24px; margin-bottom: 18px;\">\n    <li style=\"margin-bottom: 10px;\"><strong>\u5727\u529b\u306e\u518d\u5206\u914d\uff1a<\/strong> 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 <div class=\"callout tip\">\n    <span class=\"callout-icon\">\ud83d\udca1<\/span>\n    <div class=\"callout-body\">\n      <strong>\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u30ea\u30f3\u30b0\u30fb\u30a4\u30f3\u30b5\u30a4\u30c8<\/strong>\n      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<h3>FR-4\u30ac\u30e9\u30b9\u7e4a\u7dad\u7a4d\u5c64\u677f<\/h3>\n  <p>FR-4\u306f\u3001\u96e3\u71c3\u6027\u30a8\u30dd\u30ad\u30b7\u6a39\u8102\u30de\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30b9\u3067\u5f37\u5316\u3055\u308c\u305fNEMA\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u7e54\u5e03\u30ac\u30e9\u30b9\u3067\u3059\u3002\u512a\u308c\u305f\u5bf8\u6cd5\u5b89\u5b9a\u6027\u3001\u4e00\u8cab\u3057\u305f\u8a98\u96fb\u7279\u6027\uff08\u6750\u6599\u5747\u8cea\u6027\u306e\u4ee3\u7528\uff09\u3001\u304a\u3088\u3073\u91cf\u7523\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u7528\u9014\u3067\u306e\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u3042\u305f\u308a\u306e\u4f4e\u30b3\u30b9\u30c8\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u7814\u78e8\u3067\u6700\u3082\u5e83\u304f\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u6750\u6599\u3067\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <p>\u7814\u78e8\u7528\u9014\u306b\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308bFR-4\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u91cd\u8981\u306a\u88fd\u9020\u4e0a\u306e\u8a73\u7d30\uff1a\u7814\u78e8\u74b0\u5883\u3067\u306e\u30ac\u30e9\u30b9\u7e4a\u7dad\u306e\u307b\u3064\u308c\u3092\u9632\u3050\u305f\u3081\u306b\u3001\u3059\u3079\u3066\u306e\u30a8\u30c3\u30b8\u3092\u4ed5\u4e0a\u3052\u52a0\u5de5\uff08\u901a\u5e38\u306fCNC\u30d5\u30e9\u30a4\u30b9\u52a0\u5de5\u3068\u30a8\u30c3\u30b8\u30b7\u30fc\u30eb\u307e\u305f\u306f\u30b3\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\uff09\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u30b5\u30d6\u30df\u30af\u30ed\u30f3\u306e\u30ac\u30e9\u30b9\u7e4a\u7dad\u7247\u3067\u3042\u3063\u3066\u3082\u3001300mm\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u7d20\u5730\u3067\u306f\u81f4\u547d\u7684\u306a\u30b9\u30af\u30e9\u30c3\u30c1\u6b20\u9665\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u53ef\u80fd\u6027\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002Jizhi\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u51fa\u8377\u524d\u306b\u62e1\u5927\u93e1\u4e0b\u3067100%\u30a8\u30c3\u30b8\u691c\u67fb\u3092\u53d7\u3051\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n 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<p>G-10\u306fFR-4\u306e\u975e\u96e3\u71c3\u5264\u524d\u99c6\u4f53\u3067\u3042\u308a\u3001\u540c\u3058\u7e54\u30ac\u30e9\u30b9\/\u30a8\u30dd\u30ad\u30b7\u69cb\u9020\u3067\u88fd\u9020\u3055\u308c\u308b\u304c\u3001\u30cf\u30ed\u30b2\u30f3\u96e3\u71c3\u5264\u3092\u542b\u307e\u306a\u3044\u3002\u5b9f\u969b\u306b\u306f\u3001G-10\u306fFR-4\u306b\u6bd4\u3079\u3066\u5f37\u9178\u6027\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u306b\u5bfe\u3059\u308b\u8010\u85ac\u54c1\u6027\u304c\u308f\u305a\u304b\u306b\u512a\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u3053\u308c\u306f\u30a8\u30dd\u30ad\u30b7\u30de\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30b9\u304c\u9178\u306b\u3088\u308b\u81a8\u6f64\u306e\u5f71\u97ff\u3092\u53d7\u3051\u306b\u304f\u3044\u305f\u3081\u3067\u3059\u3002\u5f93\u6765\u306e\u30a2\u30eb\u30ab\u30ea\u30b7\u30ea\u30ab\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\uff08pH10-11\uff09\u3067\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u7814\u78e8\u3067\u306f\u3001\u305d\u306e\u6027\u80fd\u5dee\u306f\u3054\u304f\u308f\u305a\u304b\u3067\u3059\u3002\u5f31\u9178\u6027\u306e\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u7cfb\u3067\u306f\u3001G-10\u304c\u597d\u307e\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u591a\u3044\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u8010\u85ac\u54c1\u6027\uff08CXT\uff09\u6750\u6599<\/h3>\n  <p>SiC\u3001GaAs\u3001\u304a\u3088\u3073KMnO\u2084\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u9178\u5316\u5264\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\uff08\u901a\u5e38pH2\uff5e4\uff09\u307e\u305f\u306f\u5f37\u30a2\u30eb\u30ab\u30ea\u6027\u914d\u5408\uff08pH12+\uff09\u306a\u3069\u3001\u975e\u5e38\u306b\u30a2\u30b0\u30ec\u30c3\u30b7\u30d6\u306a\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u30b1\u30df\u30b9\u30c8\u30ea\u30fc\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3059\u308b\u305d\u306e\u4ed6\u306e\u57fa\u677f\u30bf\u30a4\u30d7\u3067\u306f\u3001\u6a19\u6e96\u7684\u306aFR-4\u304a\u3088\u3073G-10\u30e9\u30df\u30cd\u30fc\u30c8\u306f\u4e0d\u5341\u5206\u3067\u3059\u3002\u3053\u306e\u3088\u3046\u306a\u74b0\u5883\u3067\u306f\u3001\u30a8\u30dd\u30ad\u30b7\u30de\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30b9\u306e\u5265\u96e2\u304c\u9032\u884c\u3057\u3001\u4e88\u6e2c\u3067\u304d\u306a\u3044\u539a\u307f\u306e\u5909\u5316\u3001\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306e\u5265\u96e2\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u6750\u6599\u306e\u8131\u843d\u306b\u3088\u308b\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u6c5a\u67d3\u304c\u767a\u751f\u3057\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <p>CXT\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9\u306e\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u30e9\u30df\u30cd\u30fc\u30c8\u5c64\u754c\u9762\u3092\u5b8c\u5168\u306b\u6392\u9664\u3057\u305f\u30b7\u30fc\u30e0\u30ec\u30b9\u306a\u30b7\u30f3\u30b0\u30eb\u30b7\u30a7\u30eb\u69cb\u9020\u3068\u3001SiC CMP\u3067\u906d\u9047\u3059\u308b\u3042\u3089\u3086\u308bpH\u30b9\u30da\u30af\u30c8\u30eb\u306b\u8010\u6027\u3092\u6301\u3064\u5316\u5b66\u7684\u306b\u4e0d\u6d3b\u6027\u306a\u30de\u30c8\u30ea\u30c3\u30af\u30b9\u6a39\u8102\u3092\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u3053\u306e\u554f\u984c\u306b\u5bfe\u51e6\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5b8c\u5168\u306a\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u30ac\u30a4\u30c0\u30f3\u30b9\u306b\u3064\u3044\u3066\u306f <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/SiC-Wafer-Polishing-Templates-Chemically-Resistant-Solutions-for-Silicon-Carbide-Processing\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">SiC\u30a6\u30a7\u30cf\u7814\u78e8\u7528\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/a> \u3092\u8a73\u3057\u304f\u53d6\u308a\u4e0a\u3052\u3066\u3044\u308b\u3002.<\/p>\n\n  <div class=\"table-wrap\">\n    <table>\n      <thead>\n        <tr>\n          <th>\u30d7\u30ed\u30d1\u30c6\u30a3<\/th>\n          <th>FR-4<\/th>\n          <th>G-10<\/th>\n          <th>CXT\u30b0\u30ec\u30fc\u30c9<\/th>\n        <\/tr>\n      <\/thead>\n      <tbody>\n        <tr>\n          <td><strong>\u4e3b\u306a\u7528\u9014<\/strong><\/td>\n          <td>Si SSP \/ DSP<\/td>\n          <td>Si\u3001\u5f31\u9178\u6027\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc<\/td>\n          <td>SiC CMP\u3001GaAs<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>pH\u52d5\u4f5c\u7bc4\u56f2<\/strong><\/td>\n          <td>8 - 12<\/td>\n          <td>5 - 12<\/td>\n          <td>2 - 13<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u5bf8\u6cd5\u5b89\u5b9a\u6027<\/strong><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-green\">\u7d20\u6674\u3089\u3057\u3044<\/span><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-green\">\u7d20\u6674\u3089\u3057\u3044<\/span><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-green\">\u7d20\u6674\u3089\u3057\u3044<\/span><\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u30a8\u30c3\u30b8\u30d5\u30a1\u30a4\u30d0\u30fc\u30ea\u30b9\u30af<\/strong><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-amber\">\u30b7\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u304c\u5fc5\u8981<\/span><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-amber\">\u30b7\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u304c\u5fc5\u8981<\/span><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-green\">\u306a\u3057\uff08\u30b7\u30fc\u30e0\u30ec\u30b9\uff09<\/span><\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u9069\u5408\u6027<\/strong><\/td>\n          <td>\u30a2\u30eb\u30ab\u30ea\u6027\u306e\u307f<\/td>\n          <td>\u30a2\u30eb\u30ab\u30ea\uff0b\u5f31\u9178\u6027<\/td>\n          <td>\u30d5\u30eb\u30b9\u30da\u30af\u30c8\u30eb<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u76f8\u5bfe\u30b3\u30b9\u30c8<\/strong><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-green\">\u4f4e\u3044<\/span><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-blue\">\u4e2d\u7a0b\u5ea6<\/span><\/td>\n          <td><span class=\"badge badge-amber\">\u30d7\u30ec\u30df\u30a2\u30e0<\/span><\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u4ee3\u8868\u7684\u306a\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30bf\u30a4\u30d7<\/strong><\/td>\n          <td>Si\uff08\u5168\u5f84\uff09<\/td>\n          <td>Si\u3001\u30ac\u30e9\u30b9<\/td>\n          <td>SiC\u3001GaAs\u3001InP<\/td>\n        <\/tr>\n      <\/tbody>\n    <\/table>\n  <\/div>\n\n  <!-- Cluster B link -->\n  <div class=\"link-cluster\">\n    <h3>\ud83d\udcd6 Deep-Dive\uff1a\u7d20\u6750\u3068\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u8a18\u4e8b<\/h3>\n    <p>\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u6750\u6599\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u529b\u5b66\u3001\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u30ea\u30f3\u30b0\u8a2d\u8a08\u306b\u95a2\u3059\u308b\u6280\u8853\u30af\u30e9\u30b9\u30bf\u30fc\u3092\u3054\u89a7\u304f\u3060\u3055\u3044\uff1a<\/p>\n    <div class=\"cluster-links\">\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/FR-4-vs-G-10-Fiberglass-Polishing-Templates-Material-Properties-Selection-Guide\/\" target=\"_blank\">FR-4 vs G-10 \u7d20\u6750\u30ac\u30a4\u30c9<\/a>\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Role-of-Polishing-Templates-in-CMP-How-Fixture-Design-Impacts-Wafer-Flatness\/\" target=\"_blank\">CMP\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/a>\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Waxless-Polishing-Templates-vs-Wax-Mounting-Cost-Quality-Process-Comparison\/\" target=\"_blank\">\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u306a\u3057\u3068\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u53d6\u308a\u4ed8\u3051<\/a>\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/How-Polishing-Template-Edge-Design-Controls-Wafer-Edge-Profile-Reduces-Edge-Exclusion\/\" target=\"_blank\">\u30a8\u30c3\u30b8\u30c7\u30b6\u30a4\u30f3\u3068\u30a8\u30c3\u30b8\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u5236\u5fa1<\/a>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <hr class=\"section-divider\" \/>\n\n  <!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n       SECTION 4 \u2014 WAXLESS\n       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<p>\u88f8\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u304b\u3089\u6700\u65b0\u306e\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u30ec\u30b9\u8a2d\u8a08\u3078\u306e\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u9032\u5316\u306f\u3001\u904e\u53bb20\u5e74\u9593\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u7814\u78e8\u306b\u304a\u3051\u308b\u6700\u3082\u30a4\u30f3\u30d1\u30af\u30c8\u306e\u3042\u308b\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u6539\u826f\u306e\u4e00\u3064\u3067\u3042\u308b\u3002\u305d\u306e\u7406\u7531\u3092\u7406\u89e3\u3059\u308b\u306b\u306f\u3001\u65e7\u65b9\u5f0f\u304c\u3082\u305f\u3089\u3057\u305f\u554f\u984c\u3092\u7c21\u5358\u306b\u898b\u3066\u304a\u304f\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u4f1d\u7d71\u7684\u306a\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u30fb\u30de\u30a6\u30f3\u30c8\u30fb\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9<\/h3>\n  <p>\u5f93\u6765\u306e\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u30de\u30a6\u30f3\u30c8\u7814\u78e8\u3067\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u88cf\u9762\u3092\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u307e\u305f\u306f\u30ac\u30e9\u30b9\u30d6\u30ed\u30c3\u30af\u306b\u52a0\u71b1\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u3067\u63a5\u7740\u3057\u307e\u3059\u3002\u7422\u78e8\u5f8c\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u71b1\u7684\u306b\u5265\u96e2\u3055\u308c\u3001\u3055\u3089\u306b\u52a0\u5de5\u3059\u308b\u524d\u306b\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u6b8b\u7559\u7269\u3092\u9664\u53bb\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u5316\u5b66\u7684\u6d17\u6d44\u5de5\u7a0b\u306b\u304b\u3051\u3089\u308c\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u308a\u307e\u305b\u3093\u3002\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u306e\u5857\u5e03\u3068\u9664\u53bb\u306e\u969b\u306e\u71b1\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u306b\u3088\u3063\u3066\u904e\u6e21\u5fdc\u529b\u304c\u767a\u751f\u3057\u3001\u30a6\u30a7\u30cf\u306e\u7834\u640d\u3092\u5f15\u304d\u8d77\u3053\u3059\u3053\u3068\u304c\u3042\u308a\u307e\u3057\u305f\uff08\u7279\u306b\u8584\u3044\u30a6\u30a7\u30cf\u3084\u58ca\u308c\u3084\u3059\u3044\u30a6\u30a7\u30cf\u306e\u5834\u5408\uff09\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u30ec\u30b9\u30fb\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u30fb\u30a2\u30d7\u30ed\u30fc\u30c1<\/h3>\n  <p>\u6700\u65b0\u306e\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u30ec\u30b9\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30f3\u30b0\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u63a5\u7740\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7\u3092\u5b8c\u5168\u306b\u7f6e\u304d\u63db\u3048\u307e\u3059\u3002\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306b\u63a5\u7740\u3055\u308c\u305f\u591a\u5b54\u6027\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306f\u3001\u6bdb\u7d30\u7ba1\u4fdd\u6301\u9762\u3068\u3057\u3066\u6a5f\u80fd\u3057\u307e\u3059\u3002\u30ed\u30fc\u30c7\u30a3\u30f3\u30b0\u524d\u306b\u7d14\u6c34\u3067\u30d1\u30c3\u30c9\u3092\u6fe1\u3089\u3059\u3068\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u88cf\u9762\u306f\u8868\u9762\u5f35\u529b\u3068\u6bdb\u7d30\u7ba1\u529b\u306b\u3088\u3063\u3066\u3001\u7422\u78e8\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u5168\u4f53\u3092\u901a\u3057\u3066\u56fa\u5b9a\u3092\u7dad\u6301\u3059\u308b\u306e\u306b\u5341\u5206\u306a\u5f37\u3055\u3067\u63a5\u7740\u3057\u307e\u3059\u304c\u3001\u30d1\u30c3\u30c9\u304c\u4e7e\u71e5\u3059\u308b\u304b\u3001\u7422\u78e8\u5f8c\u306b\u7a4f\u3084\u304b\u306a\u6a5f\u68b0\u7684\u5265\u96e2\u3092\u884c\u3046\u3068\u3001\u304d\u308c\u3044\u306b\u5265\u96e2\u3057\u307e\u3059\u3002\u52a0\u71b1\u3001\u5316\u5b66\u85ac\u54c1\u3001\u5c02\u7528\u306e\u6d17\u6d44\u5de5\u7a0b\u306f\u4e0d\u8981\u3067\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <p>\u3053\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u5229\u70b9\u306f\u975e\u5e38\u306b\u5927\u304d\u304f\u3001\u8907\u6570\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5f84\u30ce\u30fc\u30c9\u306e\u751f\u7523\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u3067\u691c\u8a3c\u3055\u308c\u3066\u3044\u308b\u3002\u30b3\u30b9\u30c8\u3001\u6b69\u7559\u307e\u308a\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u30d5\u30ed\u30fc\u306e\u5305\u62ec\u7684\u306a\u6bd4\u8f03\u306b\u3064\u3044\u3066\u306f\u3001\u4ee5\u4e0b\u306e\u8a18\u4e8b\u3092\u53c2\u7167\u3055\u308c\u305f\u3044\u3002 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Waxless-Polishing-Templates-vs-Wax-Mounting-Cost-Quality-Process-Comparison\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u306a\u3057\u3068\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u53d6\u308a\u4ed8\u3051\uff1a\u5b8c\u5168\u6bd4\u8f03<\/a>.<\/p>\n\n  <div class=\"compare-grid\">\n    <div class=\"compare-card\">\n      <div class=\"compare-card-head blue\">\u2697\ufe0f \u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u53d6\u308a\u4ed8\u3051<\/div>\n      <ul>\n        <li>\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u5857\u5e03\u30b9\u30c6\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u304c\u5fc5\u8981<\/li>\n        <li>\u53d6\u308a\u4ed8\u3051\/\u53d6\u308a\u5916\u3057\u6642\u306e\u71b1\u30b5\u30a4\u30af\u30eb<\/li>\n        <li>\u7814\u78e8\u5f8c\u306e\u5316\u5b66\u8131\u8102\u30b9\u30c6\u30c3\u30d7<\/li>\n        <li>\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u539a\u307f\u306e\u3070\u3089\u3064\u304d\u2192TTV\u306e\u5f71\u97ff<\/li>\n        <li>\u8584\u3044\u30a6\u30a7\u30cf\u30fc\u306e\u7834\u640d\u30ea\u30b9\u30af<\/li>\n        <li>\u4e0b\u6d41\u5de5\u7a0b\u3067\u306e\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u6c5a\u67d3<\/li>\n        <li>\u6d88\u8017\u54c1\u3068\u4eba\u4ef6\u8cbb\u304c\u9ad8\u3044<\/li>\n      <\/ul>\n    <\/div>\n    <div class=\"compare-card\">\n      <div class=\"compare-card-head teal\">\u2705 \u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u30ec\u30b9\u30fb\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/div>\n      <ul>\n        <li>\u30b7\u30f3\u30d7\u30eb\u306a\u30a6\u30a7\u30c3\u30c8\u30fb\u30ed\u30fc\u30c9\u30fb\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9<\/li>\n        <li>\u30a6\u30a7\u30cf\u30fc\u306b\u71b1\u30b9\u30c8\u30ec\u30b9\u3092\u4e0e\u3048\u306a\u3044<\/li>\n        <li>\u7814\u78e8\u5f8c\u306e\u5316\u5b66\u6d17\u6d44\u304c\u4e0d\u8981<\/li>\n        <li>\u30b3\u30f3\u30d7\u30e9\u30a4\u30a2\u30f3\u30c8\u30fb\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30fb\u30d1\u30c3\u30c9\u306b\u3088\u308b\u5747\u4e00\u306a\u5727\u529b<\/li>\n        <li>\u8584\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u3084\u58ca\u308c\u3084\u3059\u3044\u57fa\u677f\u306b\u3082\u5b89\u5168<\/li>\n        <li>\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u6c5a\u67d3\u306e\u30ea\u30b9\u30af\u3092\u6392\u9664<\/li>\n        <li>\u7dcf\u6240\u6709\u30b3\u30b9\u30c8\u306e\u4f4e\u6e1b<\/li>\n      <\/ul>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <hr class=\"section-divider\" \/>\n\n  <!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n       SECTION 5 \u2014 PROCESS TYPES\n       \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n  <h2 id=\"process-types\">\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u9069\u5408\u6027\uff1aSSP\u3001DSP\u3001CMP\u3001\u30d5\u30ea\u30c3\u30d7\u7814\u78e8<\/h2>\n\n  <p>\u7422\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u7247\u9762\u7422\u78e8\u69cb\u9020\u7528\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5404\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u30d0\u30ea\u30a8\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306f\u4e0a\u8ff0\u306e\u57fa\u672c\u7684\u306a\u4ed5\u7d44\u307f\u3092\u5171\u6709\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u304c\u3001\u5bf8\u6cd5\u516c\u5dee\u3001\u6750\u6599\u9069\u5408\u6027\u3001\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u4ed5\u69d8\u306e\u70b9\u3067\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u3078\u306e\u8981\u6c42\u306f\u5927\u304d\u304f\u7570\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u7247\u9762\u7814\u78e8\uff08SSP\uff09<\/h3>\n  <p>SSP\u306f\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u3092\u7814\u78e8\u3059\u308b\u6700\u3082\u4e00\u822c\u7684\u306a\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u3067\u3059\u30021\u679a\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\uff08\u307e\u305f\u306f\u30de\u30eb\u30c1\u30ad\u30e3\u30d3\u30c6\u30a3\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u4e0a\u306e\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30d0\u30c3\u30c1\uff09\u3092\u500b\u3005\u306e\u30ef\u30fc\u30af\u30db\u30fc\u30eb\u5185\u3067\u30d5\u30a7\u30fc\u30b9\u30c0\u30a6\u30f3\u306b\u4fdd\u6301\u3057\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d8\u30c3\u30c9\u304c\u5747\u4e00\u306a\u30c0\u30a6\u30f3\u30d5\u30a9\u30fc\u30b9\u3092\u304b\u3051\u307e\u3059\u3002\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u5e73\u5766\u5ea6\u516c\u5dee\u306f\u901a\u5e38\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u4f5c\u696d\u9762\u5168\u4f53\u3067\u226410 \u00b5m\u3001\u30ef\u30fc\u30af\u30db\u30fc\u30eb\u306e\u6df1\u3055\u516c\u5dee\u306f\u30d7\u30e9\u30a4\u30e0\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u306e\u7528\u9014\u3067\u00b15 \u00b5m\u306e\u7bc4\u56f2\u3067\u6307\u5b9a\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u5316\u5b66\u7684\u6a5f\u68b0\u7684\u5e73\u5766\u5316\uff08CMP\uff09<\/h3>\n  <p>CMP\u306f\u30b7\u30f3\u30b0\u30eb\u30b5\u30a4\u30c9\u7814\u78e8\u3092\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u5c64\u306b\u307e\u3067\u62e1\u5927\u3057\u3001\u8a98\u96fb\u4f53\u5c64\u3001\u30e1\u30bf\u30eb\u5c64\u3001\u30d0\u30ea\u30a2\u5c64\u3092300 mm\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5168\u4f53\u3067\u30aa\u30f3\u30b0\u30b9\u30c8\u30ed\u30fc\u30e0\u30ec\u30d9\u30eb\u306e\u5747\u4e00\u6027\u307e\u3067\u5e73\u5766\u5316\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002CMP\u306e\u7422\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u3001\u5f93\u6765\u306eSSP\u3088\u308a\u3082\u30a2\u30b0\u30ec\u30c3\u30b7\u30d6\u306a\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u30b1\u30df\u30b9\u30c8\u30ea\u3001\u9ad8\u3044\u5370\u52a0\u5727\u529b\uff08\u6700\u59277psi\uff09\u3001\u9ad8\u3044\u56de\u8ee2\u901f\u5ea6\u306b\u8010\u3048\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306e\u786c\u5ea6\u3068\u539a\u307f\u306e\u5747\u4e00\u6027\u306f\u3001\u5e73\u5766\u5316\u52b9\u7387\uff08\u4f4e\u9818\u57df\u3092\u904e\u5270\u306b\u7814\u78e8\u3059\u308b\u3053\u3068\u306a\u304f\u3001\u9ad8\u30c8\u30dd\u30b0\u30e9\u30d5\u30a3\u30fc\u3092\u9078\u629e\u7684\u306b\u9664\u53bb\u3059\u308b\u80fd\u529b\uff09\u3092\u76f4\u63a5\u6c7a\u5b9a\u3057\u307e\u3059\u3002\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306b\u95a2\u3059\u308b\u5f0a\u793e\u306e\u6280\u8853\u8a18\u4e8b <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Role-of-Polishing-Templates-in-CMP-How-Fixture-Design-Impacts-Wafer-Flatness\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">CMP\u306b\u304a\u3051\u308b\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u5f79\u5272<\/a> \u306f\u3001\u3053\u3046\u3057\u305f\u529b\u5b66\u3092\u6df1\u304f\u8003\u5bdf\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u4e21\u9762\u7814\u78e8\uff08DSP\uff09\u30a4\u30f3\u30bf\u30fc\u30d5\u30a7\u30fc\u30b9<\/h3>\n  <p>DSP\u3067\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306f\u4e0a\u4e0b\u306e\u7814\u78e8\u30d1\u30c3\u30c9\u9593\u306e\u8584\u3044\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30c7\u30a3\u30b9\u30af\uff08\u901a\u5e38\u3001\u30b9\u30c1\u30fc\u30eb\u307e\u305f\u306f\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\uff09\u5185\u306b\u7f6e\u304b\u308c\u3001\u5f93\u6765\u306e\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306f\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u4f4d\u7f6e\u3067\u306f\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u307e\u305b\u3093\u3002\u3057\u304b\u3057\u3001DSP\u5f8c\u306e\u30bf\u30c3\u30c1\u30a2\u30c3\u30d7SSP\u5de5\u7a0b\u3067\u306f\u3001DSP\u4e2d\u306b\u751f\u3058\u305f\u30a8\u30c3\u30b8\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u306e\u975e\u5bfe\u79f0\u6027\u3092\u4fee\u6b63\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u4e00\u65b9\u306e\u9762\u3092\u518d\u7814\u78e8\u3059\u308b\u5fc5\u8981\u304c\u3042\u308b\u5834\u5408\u3001\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u304c\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u3053\u3068\u304c\u3042\u308a\u307e\u3059\u3002\u3053\u306e\u7528\u9014\u3067\u306f\u3001\u3059\u3067\u306b\u7814\u78e8\u3055\u308c\u305f\u88cf\u9762\u3078\u306e\u6a5f\u68b0\u7684\u5fdc\u529b\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u305f\u3081\u3001\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306e\u67d4\u3089\u304b\u3055\u3092\u901a\u5e38\u5927\u304d\u304f\u3057\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u30d5\u30ea\u30c3\u30d7\u30fb\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30e5<\/h3>\n  <p>\u30d5\u30ea\u30c3\u30d7\u30dd\u30ea\u30c3\u30b7\u30e5\u306f\u3001\u6700\u521d\u306e SSP \u5b9f\u884c\u3067\u751f\u3058\u305f\u30a8\u30c3\u30b8\u306e\u30ed\u30fc\u30eb\u30aa\u30d5\u3092\u4fee\u6b63\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u5143\u3005\u7814\u78e8\u3055\u308c\u3066\u3044\u305f\u9762\u3092\u518d\u7814\u78e8\uff08\u30d5\u30a7\u30fc\u30b9\u30a2\u30c3\u30d7\uff09\u3059\u308b\u88dc\u52a9\u7684\u306a SSP 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\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n       SECTION 6 \u2014 SUBSTRATES\n       \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n  <h2 id=\"substrates\">\u57fa\u8cea\u5225\u306e\u8003\u5bdf<\/h2>\n\n  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href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Polishing-Templates-for-Glass-Wafers-Ceramic-Substrates-Key-Considerations\/\" target=\"_blank\">\u30ac\u30e9\u30b9\uff06\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u57fa\u677f\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/a>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <h3>\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\uff08Si\uff09 - \u30d9\u30fc\u30b9\u30e9\u30a4\u30f3<\/h3>\n  <p>\u76f4\u5f84100 mm (4\u2033) \u304b\u3089300 mm (12\u2033) 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 <h3>\u70ad\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\uff08SiC\uff09 - \u65b0\u305f\u306a\u6311\u6226<\/h3>\n  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 <p>\u30d1\u30ef\u30fc\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306e\u9700\u8981\u304c\u96fb\u6c17\u81ea\u52d5\u8eca\u306e\u30c9\u30e9\u30a4\u30d6\u30c8\u30ec\u30a4\u30f3\u3084\u7523\u696d\u7528\u30b3\u30f3\u30d0\u30fc\u30bf\u3078\u306eSiC\u63a1\u7528\u3092\u4fc3\u9032\u3057\u7d9a\u3051\u308b\u4e2d\u3001SiC\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u5e02\u5834\u306f\u534a\u5c0e\u4f53\u6d88\u8017\u54c1\u5206\u91ce\u3067\u6700\u3082\u6025\u6210\u9577\u3057\u3066\u3044\u308b\u5206\u91ce\u306e\u4e00\u3064\u3067\u3059\u3002\u4ee5\u4e0b\u306e\u5305\u62ec\u7684\u30ac\u30a4\u30c9\u3092\u304a\u8aad\u307f\u304f\u3060\u3055\u3044\u3002 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/SiC-Wafer-Polishing-Templates-Chemically-Resistant-Solutions-for-Silicon-Carbide-Processing\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">SiC\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u7814\u78e8\u7528\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/a> 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<p>\u5316\u5408\u7269\u534a\u5c0e\u4f53\uff08GaAs\u3001InP\u3001GaN-on-Si\uff09\u306f\u3001\u7834\u58ca\u976d\u6027\u304c\u8a2d\u8a08\u4e0a\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u5236\u7d04\u3068\u306a\u308b\u3002GaAs\u306e\u7834\u58ca\u976d\u6027\u306f\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u306e\u7d044\u5206\u306e1\u3067\u3042\u308a\u3001\u5c40\u6240\u7684\u306a\u5727\u529b\u30b9\u30d1\u30a4\u30af\u306b\u3088\u308b\u30a6\u30a7\u30cf\u7834\u640d\u306f\u6df1\u523b\u306a\u30ea\u30b9\u30af\u3068\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002\u5316\u5408\u7269\u534a\u5c0e\u4f53\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u7528\u306e\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u30fb\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30fb\u30d1\u30c3\u30c9\u306e\u9078\u629e\u306f\u3001\u525b\u6027\u3088\u308a\u3082\u67d4\u3089\u304b\u3055\u3068\u30b3\u30f3\u30d7\u30e9\u30a4\u30a2\u30f3\u30b9\u3092\u512a\u5148\u3057\u3001\u30ef\u30fc\u30af\u30db\u30fc\u30eb\u306e\u30dd\u30b1\u30c3\u30c8\u30fb\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u306f\u3001\u30a8\u30c3\u30b8\u5fdc\u529b\u96c6\u4e2d\u3092\u6700\u5c0f\u9650\u306b\u6291\u3048\u308b\u3088\u3046\u306b\u7279\u5225\u306b\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002III-V\u7422\u78e8\u7528\u306e\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u30b1\u30df\u30b9\u30c8\u30ea\u30fc\u306f\u3001\u901a\u5e38\u3001\u81ed\u7d20\u30d9\u30fc\u30b9\u307e\u305f\u306fH\u2082O\u2082\/\u30af\u30a8\u30f3\u9178\u30d9\u30fc\u30b9\u3067\u3042\u308a\u3001\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u6750\u6599\u306b\u9069\u5ea6\u306a\u8010\u85ac\u54c1\u6027\u304c\u8981\u6c42\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u30b5\u30d5\u30a1\u30a4\u30a2\uff06\u30ac\u30e9\u30b9\u57fa\u677f<\/h3>\n  <p>\u30d5\u30a9\u30c8\u30cb\u30af\u30b9\u3001MEMS\u3001\u30c7\u30a3\u30b9\u30d7\u30ec\u30a4\u7528\u9014\u3067\u4f7f\u7528\u3055\u308c\u308b\u30b5\u30d5\u30a1\u30a4\u30a2\uff08Al\u2082O\u2083\u3001\u30e2\u30fc\u30b99\uff09\u304a\u3088\u3073\u7279\u6b8a\u30ac\u30e9\u30b9\u57fa\u677f\u306f\u3001\u540c\u3058\u9178\u5316\u5264\u5316\u5b66\u7684\u8981\u4ef6\u306a\u3057\u306bSiC\u306e\u786c\u5ea6\u8ab2\u984c\u3092\u5171\u6709\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u7814\u78e8\u306f\u901a\u5e38\u3001\u4e2d\u6027\u304b\u3089\u5f31\u9178\u6027\u306epH\u3067\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u307e\u305f\u306f\u30b3\u30ed\u30a4\u30c0\u30eb\u30b7\u30ea\u30ab\u3092\u7528\u3044\u3066\u884c\u308f\u308c\u307e\u3059\u3002\u4e2d\u786c\u5ea6\u306e\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u4ed8\u304dG-10\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u304c\u6a19\u6e96\u7684\u306a\u9078\u629e\u3067\u3059\u3002\u7a4d\u6975\u7684\u306a\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u51e6\u65b9\u306b\u306fCXT\u6750\u6599\u304c\u5229\u7528\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002\u8a73\u3057\u3044\u30ac\u30a4\u30c0\u30f3\u30b9\u306f <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Polishing-Templates-for-Glass-Wafers-Ceramic-Substrates-Key-Considerations\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">\u30ac\u30e9\u30b9\u304a\u3088\u3073\u30bb\u30e9\u30df\u30c3\u30af\u57fa\u677f\u7814\u78e8\u7528\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8<\/a>.<\/p>\n\n  <hr class=\"section-divider\" \/>\n\n  <!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n       SECTION 7 \u2014 SPECIFICATIONS\n       \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n  <h2 id=\"specifications\">\u4e3b\u8981\u306a\u4ed5\u69d8\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\uff1a\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u304c\u5b9a\u7fa9\u3057\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u3089\u306a\u3044\u3053\u3068<\/h2>\n\n  <p>\u7422\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u3092\u6307\u5b9a\u3059\u308b\u5834\u5408\u3001\u6a19\u6e96\u30ab\u30bf\u30ed\u30b0\u304b\u3089\u9078\u629e\u3059\u308b\u5834\u5408\u3067\u3082\u3001\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u30ea\u30f3\u30b0\u306e\u30ea\u30af\u30a8\u30b9\u30c8\u3092\u63d0\u51fa\u3059\u308b\u5834\u5408\u3067\u3082\u30016\u3064\u306e\u30b3\u30a2\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u304c\u9069\u5408\u6027\u3001\u6a5f\u80fd\u3001\u304a\u3088\u3073\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u6027\u80fd\u3092\u6c7a\u5b9a\u3057\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u4ed5\u69d8\u306e\u3044\u305a\u308c\u304b\u304c\u3042\u3044\u307e\u3044\u3067\u3042\u308b\u3053\u3068\u304c\u3001\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306b\u95a2\u9023\u3057\u305f\u5de5\u7a0b\u7570\u5e38\u306e\u4e3b\u306a\u539f\u56e0\u3067\u3059\u3002\u4ed5\u69d8\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u5b8c\u5168\u306a\u30a6\u30a9\u30fc\u30af\u30b9\u30eb\u30fc\u306b\u3064\u3044\u3066\u306f\u3001\u4ee5\u4e0b\u306e\u30ac\u30a4\u30c9\u3092\u53c2\u7167\u3057\u3066\u304f\u3060\u3055\u3044\u3002 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/How-to-Specify-a-Polishing-Template-6-Parameters-Engineers-Must-Define\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u6307\u5b9a\u65b9\u6cd5<\/a>.<\/p>\n\n  <div class=\"spec-grid\">\n    <div class=\"spec-card\">\n      <span class=\"spec-value\">2\u2033\u2192600mm<\/span>\n      <span class=\"spec-label\">\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u76f4\u5f84\u7bc4\u56f2<\/span>\n    <\/div>\n    <div class=\"spec-card\">\n      <span class=\"spec-value\">\u00b15 \u00b5m<\/span>\n      <span class=\"spec-label\">\u30ef\u30fc\u30af\u30db\u30fc\u30eb\u6df1\u3055\u516c\u5dee<\/span>\n    <\/div>\n    <div class=\"spec-card\">\n      <span class=\"spec-value\">\u226410 \u00b5m<\/span>\n      <span class=\"spec-label\">\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u30fb\u30dc\u30a6<\/span>\n    <\/div>\n    <div class=\"spec-card\">\n      <span class=\"spec-value\">2-13<\/span>\n      <span 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\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306e\u30b7\u30e7\u30a2A\u786c\u5ea6\u3001\u539a\u307f\u3001\u6c17\u5b54\u7387\u306f\u3001\u5727\u529b\u5206\u5e03\u3068\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u4fdd\u6301\u529b\u3092\u6c7a\u5b9a\u3057\u307e\u3059\u3002\u786c\u3081\u306e\u30d1\u30c3\u30c9\u306f\u9ad8\u9664\u53bb\u901f\u5ea6\u306eSSP\u306b\u3001\u67d4\u3089\u304b\u3081\u306e\u30d1\u30c3\u30c9\u306fCMP\u3084\u8584\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002.<\/li>\n    <li style=\"margin-bottom: 14px;\"><strong>\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u7d20\u6750\uff1a<\/strong> \u30bb\u30af\u30b7\u30e7\u30f33\u3067\u8aac\u660e\u3057\u305fFR-4\u3001G-10\u3001\u307e\u305f\u306fCXT\u3002\u30b9\u30e9\u30ea\u30fc\u306e\u5316\u5b66\u7684\u6027\u8cea\u3068pH\u7bc4\u56f2\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u6307\u5b9a\u3055\u308c\u306a\u3051\u308c\u3070\u306a\u3089\u306a\u3044\u3002.<\/li>\n    <li style=\"margin-bottom: 14px;\"><strong>\u30a8\u30c3\u30b8\u5f37\u5316\u30ea\u30f3\u30b0\uff1a<\/strong> \u30a8\u30c3\u30b8\u7814\u78e8\u5727\u529b\u3092\u4fee\u6b63\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b\u3001\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u88cf\u9762\u306b\u74b0\u72b6\u306e\u7279\u5fb4\u304c\u5fc5\u8981\u304b\u3069\u3046\u304b\uff08\u5b8c\u5168\u306a\u8b70\u8ad6\u306b\u3064\u3044\u3066\u306f\u30bb\u30af\u30b7\u30e7\u30f38\u3092\u53c2\u7167\uff09\u3002.<\/li>\n    <li style=\"margin-bottom: 14px;\"><strong>\u30ef\u30fc\u30af\u30db\u30fc\u30eb\u30e9\u30a4\u30ca\u30fc\u307e\u305f\u306f\u30a4\u30f3\u30b5\u30fc\u30c8\uff1a<\/strong> 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<p>\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u5f62\u72b6\u306f\u3001SSP\u306e\u30a8\u30c3\u30b8\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u3092\u5236\u5fa1\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u4e3b\u8981\u306a\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u30ec\u30d0\u30fc\u3067\u3059\u3002\u57fa\u672c\u7684\u306a\u30e1\u30ab\u30cb\u30ba\u30e0\u306f\u3088\u304f\u7406\u89e3\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30a8\u30c3\u30b8\u306e\u7814\u78e8\u5727\u529b\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5916\u5f84\u3068\u30ef\u30fc\u30af\u30db\u30fc\u30eb\u58c1\u306e\u9593\u306e\u74b0\u72b6\u9818\u57df\u306b\u304a\u3051\u308b\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u30a2\u30bb\u30f3\u30d6\u30ea\u306e\u5c40\u6240\u7684\u306a\u30b3\u30f3\u30d7\u30e9\u30a4\u30a2\u30f3\u30b9\u3068\u525b\u6027\u306e\u95a2\u6570\u3067\u3059\u3002\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u304c\u3053\u306e\u9818\u57df\u3067\u4e0d\u5341\u5206\u306a\u652f\u6301\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u5834\u5408\u3001\u7814\u78e8\u30d1\u30c3\u30c9\u306f\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30a8\u30c3\u30b8\u306e\u4e0b\u3067\u305f\u308f\u307f\u3001\u30a8\u30c3\u30b8\u30ed\u30fc\u30eb\u30aa\u30d5\u3068\u3057\u3066\u73fe\u308c\u308b\u63a5\u89e6\u5727\u306e\u5c40\u6240\u7684\u306a\u4f4e\u4e0b\u3001\u304a\u3088\u3073\u305d\u308c\u306b\u5bfe\u5fdc\u3059\u308b\u6750\u6599\u9664\u53bb\u7387\u306e\u4f4e\u4e0b\u3092\u751f\u3058\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <h3>\u30a8\u30c3\u30b8\u30fb\u30a8\u30f3\u30cf\u30f3\u30b9\u30e1\u30f3\u30c8\u30fb\u30ea\u30f3\u30b0\uff08EER\uff09\u30c6\u30af\u30ce\u30ed\u30b8\u30fc<\/h3>\n  <p>\u30a8\u30c3\u30b8\u5f37\u5316\u30ea\u30f3\u30b0\u306f\u3001\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u88cf\u9762\uff08\u7814\u78e8\u30d1\u30c3\u30c9\u304b\u3089\u96e2\u308c\u305f\u9762\uff09\u306b\u63a5\u7740\u307e\u305f\u306f\u4e00\u4f53\u5316\u3055\u308c\u305f\u7cbe\u5bc6\u52a0\u5de5\u3055\u308c\u305f\u74b0\u72b6\u306e\u7279\u5fb4\u3067\u3001\u30ef\u30fc\u30af\u30db\u30fc\u30eb\u3068\u540c\u5fc3\u306b\u914d\u7f6e\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5916\u5f84\u306b\u96a3\u63a5\u3059\u308b\u74b0\u72b6\u9818\u57df\u306b\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u305f\u525b\u6027\u3092\u8ffd\u52a0\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001EER\u306f\u5727\u529b\u5206\u5e03\u3092\u4fee\u6b63\u3057\u3001\u30a8\u30c3\u30b8\u7814\u78e8\u5727\u529b\u304c\u30bb\u30f3\u30bf\u30fc\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u5727\u529b\u306b\u3088\u308a\u8fd1\u304f\u306a\u308b\u3088\u3046\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002\u305d\u306e\u7d50\u679c\u3001\u30a8\u30c3\u30b8\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u304c\u3088\u308a\u5e73\u5766\u306b\u306a\u308a\u3001\u30a8\u30c3\u30b8\u6392\u9664\u4ed5\u69d8\u304c\u3088\u308a\u53b3\u3057\u304f\u306a\u308a\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf1\u679a\u5f53\u305f\u308a\u306e\u4f7f\u7528\u53ef\u80fd\u30c0\u30a4\u9762\u7a4d\u304c\u3088\u308a\u5927\u304d\u304f\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <p>EER\u306e\u5f62\u72b6\uff08\u5185\u5f84\u3001\u5916\u5f84\u3001\u9ad8\u3055\u3001\u6750\u8cea\uff09\u306f\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u306e\u76f4\u5f84\u3001\u6700\u7d42\u7684\u306a\u539a\u3055\u3001\u30d0\u30c3\u30ad\u30f3\u30b0\u30d1\u30c3\u30c9\u306e\u30b3\u30f3\u30d7\u30e9\u30a4\u30a2\u30f3\u30b9\u3001\u76ee\u6a19\u306e\u30a8\u30c3\u30b8\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u4ed5\u69d8\uff08\u901a\u5e38\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30a8\u30c3\u30b8\u304b\u30891mm\u306e\u4f4d\u7f6e\u3067\u306e\u6700\u5927\u30a8\u30c3\u30b8\u30ed\u30fc\u30eb\u30aa\u30d5\u9ad8\u3055\u3068\u3057\u3066\u8868\u3055\u308c\u307e\u3059\uff09\u306b\u57fa\u3065\u3044\u3066\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u8a2d\u8a08\u3055\u308c\u307e\u3059\u3002\u8a73\u7d30\u306a\u6280\u8853\u60c5\u5831 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/How-Polishing-Template-Edge-Design-Controls-Wafer-Edge-Profile-Reduces-Edge-Exclusion\/\" target=\"_blank\" 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href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Why-Is-Your-Wafer-Edge-Profile-Poor-5-Template-Related-Causes-Solutions\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30a8\u30c3\u30b8\u306e\u30d7\u30ed\u30d5\u30a1\u30a4\u30eb\u304c\u60aa\u3044\u306e\u306f\u306a\u305c\u3067\u3059\u304b\uff1f<\/a>, \u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306b\u95a2\u9023\u3059\u308b\u6700\u3082\u4e00\u822c\u7684\u306a5\u3064\u306e\u6839\u672c\u539f\u56e0\u3068\u305d\u306e\u662f\u6b63\u63aa\u7f6e\u3092\u4f53\u7cfb\u7684\u306b\u53d6\u308a\u4e0a\u3052\u3066\u3044\u308b\u3002.<\/p>\n\n  <hr class=\"section-divider\" \/>\n\n  <!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n       SECTION 9 \u2014 CUSTOM VS STANDARD\n       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href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Custom-Polishing-Templates-for-Silicon-Wafers-Tailored-to-Your-Carrier-Head-Specs\/\" target=\"_blank\">\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u30fb\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u30fb\u30a8\u30f3\u30b8\u30cb\u30a2\u30ea\u30f3\u30b0<\/a>\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Standard-vs-Custom-Polishing-Templates-Which-Is-Right-for-Your-Wafer-Process\/\" target=\"_blank\">\u30b9\u30bf\u30f3\u30c0\u30fc\u30c9\u3068\u30ab\u30b9\u30bf\u30e0\u306e\u6bd4\u8f03<\/a>\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/How-to-Specify-a-Polishing-Template-6-Parameters-Engineers-Must-Define\/\" target=\"_blank\">6\u30d1\u30e9\u30e1\u30fc\u30bf\u4ed5\u69d8\u30ac\u30a4\u30c9<\/a>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <hr class=\"section-divider\" \/>\n\n  <!-- 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<a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Contamination-Control-in-Polishing-Templates-Clean-Room-Assembly-Particle-Prevention\/\" target=\"_blank\" class=\"text-link-pill\">\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u30b3\u30f3\u30bf\u30df\u30cd\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u30b3\u30f3\u30c8\u30ed\u30fc\u30eb<\/a> \u306f\u3001\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u72b6\u614b\u76e3\u8996\u3092\u5de5\u5834\u5168\u4f53\u306e\u7422\u78e8\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u5236\u5fa1\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u306b\u7d71\u5408\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u69cb\u9020\u5316\u3055\u308c\u305f\u30d5\u30ec\u30fc\u30e0\u30ef\u30fc\u30af\u3092\u63d0\u4f9b\u3057\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n\n  <!-- Cluster D link -->\n  <div class=\"link-cluster\">\n    <h3>\u30aa\u30da\u30ec\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\uff06\u30c8\u30e9\u30d6\u30eb\u30b7\u30e5\u30fc\u30c6\u30a3\u30f3\u30b0\u30fb\u30ea\u30bd\u30fc\u30b9<\/h3>\n    <p>\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u306e\u30d1\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30f3\u30b9\u3092\u7dad\u6301\u3057\u3001\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u306e\u554f\u984c\u3092\u89e3\u6c7a\u3059\u308b\u305f\u3081\u306e\u5b9f\u8df5\u7684\u306a\u30ac\u30a4\u30c9\uff1a<\/p>\n    <div class=\"cluster-links\">\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/How-to-Extend-Polishing-Template-Lifespan-Best-Practices-for-Semiconductor-Fabs\/\" target=\"_blank\">\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u5bff\u547d\u306e\u5ef6\u9577<\/a>\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Contamination-Control-in-Polishing-Templates-Clean-Room-Assembly-Particle-Prevention\/\" target=\"_blank\">\u6c5a\u67d3\u7ba1\u7406\u30ac\u30a4\u30c9<\/a>\n      <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/Why-Is-Your-Wafer-Edge-Profile-Poor-5-Template-Related-Causes-Solutions\/\" 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href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ja\/blog\/SiC-Wafer-Polishing-Templates-Chemically-Resistant-Solutions-for-Silicon-Carbide-Processing\/\" target=\"_blank\">SiC\u7814\u78e8\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u30ac\u30a4\u30c9<\/a> \u3092\u3054\u53c2\u7167\u304f\u3060\u3055\u3044\u3002.<\/div>\n  <\/div>\n\n  <div class=\"faq-item\">\n    <div class=\"faq-q\">\u30ef\u30c3\u30af\u30b9\u30ec\u30b9\u7814\u78e8\u7528\u30c6\u30f3\u30d7\u30ec\u30fc\u30c8\u3068\u306f\u4f55\u3067\u3059\u304b\uff1f<\/div>\n    <div 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