Наш сайт
Продукция
Прецизионные ножи для нарезки кубиками, полировальные диски без воска и CMP
суспензии, предназначенные для стабильного и высокопроизводительного производства полупроводников
процессы.
Наш сайт
Технологические преимущества
Передовое производство и строгий контроль качества обеспечивают
стабильная производительность в сложных условиях эксплуатации.
Наш сайт
Решение
Решения, ориентированные на конкретные области применения, для обработки кубиками, полировки и CMP
процессы в различных материалах.
CMP (химико-механическая полировка) - это единственная технология, используемая в современном промышленном производстве для полировки поверхности заготовок и глобальной планаризации поверхности пластин при производстве интегральных схем. Процесс CMP обеспечивает полировку поверхности за счет химического и механического воздействия. Он широко применяется в технологии производства интегральных схем, планаризации полупроводниковых чипов, аэрокосмических материалов, металлургии и зеркальной полировке материалов в оптико-электронной промышленности. Схема процесса CMP-полировки Jizhi Electronics В зависимости от типа полируемого материала, CMP можно разделить на три основные категории: (1) Подложки: В основном кремниевые материалы. (2) Металлы: В том числе Al/Cu металлические межсоединения ...
Наш сайт
Производственное оборудование
Специализированное производственное оборудование обеспечивает высокую точность
производство и надежное постоянство продукции.
Наш сайт
НОВОСТИ
Обновления продуктов, технические сведения и новости отрасли от
резка и полировка полупроводников.
Оценка жизни требует комплексного мониторинга следующих показателей:
| Метрика мониторинга | Нормальный диапазон | Предупреждение о замене |
|---|---|---|
| Изменение пористости поверхности | Исходное значение ± 5% | > ± 15% |
| Эластичная скорость восстановления | > 92% | < 85% |
| Коэффициент трения Стабильность | Колебания < ± 0,02 | Колебания > ± 0,05 |
| Расход шлама | Исходный уровень ± 10% | Увеличить > 25% |
Интеллектуальное решение для мониторинга: Мы предлагаем дополнительные встраиваемые сенсорные панели, которые передают данные о давлении/температуре в режиме реального времени в MES-системы заказчика. Профессиональный анализ топографии поверхности рекомендуется проводить после каждых 500 циклов полировки.
При этом должны быть соблюдены три особых требования:
-
Полировка с низкой нагрузкой: Модуль упругости подложки должен соответствовать хрупкости GaN (вязкость разрушения < 2 МПа-м¹/²), чтобы предотвратить появление микротрещин.
-
Устойчивость к сильным щелочным средам: Модифицированный PTFE полиуретан обеспечивает стабильную работу > 200 часов в суспензиях на основе KOH с pH > 12
-
Улучшенная терморегуляция: Теплопроводность > 0,5 Вт/м-К для быстрого рассеивания локализованного тепла от трения (GaN чувствителен к температуре)
Jizhi Electronics’ Серия прокладок для GaN была проверена в серийном производстве 6-дюймовых пластин с контролем коробления < 50 мкм.
Улучшения можно оценить с помощью трех ключевых показателей:
-
Улучшение TTV: Собственная конструкция пористого эластичного слоя контролирует изменение общей толщины пластины до < 0,3 мкм (улучшение на 40% по сравнению с обычными прокладками)
-
Равномерность скорости удаления: Микроканальная технология позволяет повысить неравномерность внутри вафель (WIWNU) до > 95%
-
Контроль дефектов: Гибкая структура поверхности волокон снижает плотность дефектов царапин до < 0,05 счет/см²
Мы предлагаем бесплатные услуги по аудиту процессов предоставлять клиентам отчеты о сравнении эталонов.
