{"id":1058,"date":"2026-01-05T15:51:47","date_gmt":"2026-01-05T07:51:47","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=1058"},"modified":"2026-01-05T16:22:08","modified_gmt":"2026-01-05T08:22:08","slug":"metal-cmp-slurry-for-semiconductor-wafer-polishing","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/metal-cmp-slurry-for-semiconductor-wafer-polishing\/","title":{"rendered":"\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d"},"content":{"rendered":"<p>&nbsp;<\/p>\n<p><!-- ================= TOC ================= --><\/p>\n<nav>\n<h2>\u041e\u0433\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<ul>\n<li><a href=\"#introduction\">1. \u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#why-metal-different\">2. \u0427\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#classification\">3. \u041a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#mechanisms\">4. \u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#slurry-architecture\">5. \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#metal-specific\">6. \u0420\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#engineering-parameters\">7. \u0418\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#process-window\">8. \u041e\u043a\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#defects\">9. \u0414\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#hvm\">10. \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#selection\">11. \u0421\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044f \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#future\">12. \u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f CMP<\/a><\/li>\n<\/ul>\n<\/nav>\n<hr \/>\n<p><!-- ================= Section 1 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"introduction\">1. \u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443<\/h2>\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f (\u0425\u041c\u041f) \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 - \u043e\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043a \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435. \u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0425\u041c\u041f, \u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0425\u041c\u041f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438, \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e-\u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f\u043c.<\/p>\n<p>\u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0432 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0438 \u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 CMP \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043f\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u0412 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0431\u0430\u0437\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043c\u0435\u0434\u044c, \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c, \u0430\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439, \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0430\u0445 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0435\u0439 CMP \u0441\u043c:<br \/>\n<a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-for-semiconductor-wafer-polishing\/\">\u0428\u043b\u0430\u043c\u044b CMP \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/a><\/p>\n<p><!-- ================= Section 2 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"why-metal-different\">2. \u0427\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<\/h2>\n<p>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 CMP \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e CMP \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<li>\u041f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f<\/li>\n<li>\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438, \u0430 \u043d\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u0440\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041a\u0438\u043d\u0435\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432<\/li>\n<li>\u041a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<li>\u041c\u0435\u0436\u0444\u0430\u0437\u043d\u0430\u044f \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u043e\u0439<\/li>\n<\/ul>\n<figure><img decoding=\"async\" class=\"lazyload alignnone size-full wp-image-1112\" src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Fundamental-differences-between-metal-CMP-and-dielectric-CMP-mechanisms.png\" data-orig-src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Fundamental-differences-between-metal-CMP-and-dielectric-CMP-mechanisms.png\" alt=\"Fundamental differences between metal CMP and dielectric CMP mechanisms.\" width=\"752\" height=\"675\" srcset=\"data:image\/svg+xml,%3Csvg%20xmlns%3D%27http%3A%2F%2Fwww.w3.org%2F2000%2Fsvg%27%20width%3D%27752%27%20height%3D%27675%27%20viewBox%3D%270%200%20752%20675%27%3E%3Crect%20width%3D%27752%27%20height%3D%27675%27%20fill-opacity%3D%220%22%2F%3E%3C%2Fsvg%3E\" data-srcset=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Fundamental-differences-between-metal-CMP-and-dielectric-CMP-mechanisms-200x180.png 200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Fundamental-differences-between-metal-CMP-and-dielectric-CMP-mechanisms-300x269.png 300w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Fundamental-differences-between-metal-CMP-and-dielectric-CMP-mechanisms-400x359.png 400w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Fundamental-differences-between-metal-CMP-and-dielectric-CMP-mechanisms-600x539.png 600w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Fundamental-differences-between-metal-CMP-and-dielectric-CMP-mechanisms.png 752w\" data-sizes=\"auto\" data-orig-sizes=\"(max-width: 752px) 100vw, 752px\" \/><figcaption><\/figcaption><\/figure>\n<p><!-- ================= Section 3 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"classification\">3. \u041a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP<\/h2>\n<p>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f CMP \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c:<\/p>\n<h3>3.1 \u041f\u043e \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c<\/h3>\n<ul>\n<li>\u041c\u0435\u0434\u044c (Cu)<\/li>\n<li>\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c (W)<\/li>\n<li>\u0410\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439 (Al)<\/li>\n<li>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 (Co)<\/li>\n<li>\u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 (Ru)<\/li>\n<\/ul>\n<h3>3.2 \u041f\u043e \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0443 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f<\/h3>\n<ul>\n<li>\u0428\u043b\u0430\u043c\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<li>\u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<li>\u0428\u043b\u0430\u043c\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<h3>3.3 \u041f\u043e \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h3>\n<ul>\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 CMP (\u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0443\u043f\u043e\u0440)<\/li>\n<li>\u0425\u041c\u041f \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 (\u043f\u0440\u043e\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b)<\/li>\n<\/ul>\n<p><!-- ================= Section 4 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"mechanisms\">4. \u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/h2>\n<p>\u0425\u043e\u0442\u044f \u0432\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b CMP \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u043a\u0430\u043a \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u044b, \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430.<\/p>\n<table border=\"1\" cellpadding=\"8\">\n<tbody>\n<tr>\n<th>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b<\/th>\n<th>\u0414\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c<\/th>\n<th>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c<\/th>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u0435\u0434\u044c<\/td>\n<td>\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 + \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f<\/td>\n<td>\u0410\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u044f \u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c<\/td>\n<td>\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 + \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<td>pH \u0438 \u043a\u0438\u043d\u0435\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0410\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0439<\/td>\n<td>\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<td>\u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442<\/td>\n<td>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f<\/td>\n<td>\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e-\u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439<\/td>\n<td>\u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/td>\n<td>\u041a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p><!-- ================= Section 5 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"slurry-architecture\">5. \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP<\/h2>\n<h3>5.1 \u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/h3>\n<ul>\n<li>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432)<\/li>\n<li>\u0413\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c (\u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d)<\/li>\n<li>\u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b<\/li>\n<\/ul>\n<h3>5.2 \u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438<\/h3>\n<ul>\n<li>\u041f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0438\u0441\u044c \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430<\/li>\n<li>\u0421\u043e\u043b\u0438 \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u0430<\/li>\n<li>\u041f\u0435\u0440\u0441\u0443\u043b\u044c\u0444\u0430\u0442\u044b (\u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b)<\/li>\n<\/ul>\n<h3>5.3 \u041a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b<\/h3>\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043e\u043d\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0442 \u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<h3>5.4 \u0418\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b \u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438<\/h3>\n<p>\u041a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f Cu, Co \u0438 Ru CMP \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u0442\u0430\u043a\u0438.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 6 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"metal-specific\">6. \u0420\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/h2>\n<h3>6.1 \u0410\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/h3>\n<p>\u0410\u043b\u044e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 CMP \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 Al<sub>2<\/sub>O<sub>3<\/sub> \u0421\u043b\u043e\u0438, \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430.<\/p>\n<h3>6.2 \u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/h3>\n<p>\u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 Cobalt CMP \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438.<\/p>\n<h3>6.3 \u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f CMP<\/h3>\n<p>\u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 CMP \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c CMP \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 7 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"engineering-parameters\">7. \u0418\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0438 \u044d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435<\/h2>\n<table border=\"1\" cellpadding=\"8\">\n<tbody>\n<tr>\n<th>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d<\/th>\n<th>\u0418\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435<\/th>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>pH<\/td>\n<td>2.0-7.0<\/td>\n<td>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>MRR<\/td>\n<td>100-800 \u043d\u043c\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n<td>\u041f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>&gt; 20:1<\/td>\n<td>\u0417\u0430\u0449\u0438\u0442\u0430 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043e\u0432<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d<\/td>\n<td>&lt; 0,1 \/ \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430<\/td>\n<td>\u0423\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p><!-- ================= Section 8 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"process-window\">8. \u041e\u043a\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c<\/h2>\n<figure><img decoding=\"async\" class=\"lazyload alignnone size-full wp-image-1114\" src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity.png\" data-orig-src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity.png\" alt=\"Multi-metal CMP slurry process window illustrating trade-offs between MRR, selectivity, and defectivity.\" width=\"1850\" height=\"1031\" srcset=\"data:image\/svg+xml,%3Csvg%20xmlns%3D%27http%3A%2F%2Fwww.w3.org%2F2000%2Fsvg%27%20width%3D%271850%27%20height%3D%271031%27%20viewBox%3D%270%200%201850%201031%27%3E%3Crect%20width%3D%271850%27%20height%3D%271031%27%20fill-opacity%3D%220%22%2F%3E%3C%2Fsvg%3E\" data-srcset=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-200x111.png 200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-300x167.png 300w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-400x223.png 400w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-600x334.png 600w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-768x428.png 768w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-800x446.png 800w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-1024x571.png 1024w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-1200x669.png 1200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity-1536x856.png 1536w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Multi-metal-CMP-slurry-process-window-illustrating-trade-offs-between-MRR-selectivity-and-defectivity.png 1850w\" data-sizes=\"auto\" data-orig-sizes=\"(max-width: 1850px) 100vw, 1850px\" \/><\/figure>\n<p>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u043a\u043d\u0430 CMP \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435, \u0447\u0435\u043c CMP \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 9 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"defects\">9. \u0414\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438<\/h2>\n<h3>9.1 \u0423\u0442\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f<\/h3>\n<p>\u0412\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043d\u0435\u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c \u0438 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c.<\/p>\n<h3>9.2 \u041a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0438\u0442\u0442\u0438\u043d\u0433<\/h3>\n<p>\u041f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430 - \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c.<\/p>\n<h3>9.3 \u0426\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d\u044b, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438<\/h3>\n<p>\u0421\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043e \u0441 \u0430\u0433\u043b\u043e\u043c\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0435\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 10 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"hvm\">10. \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h2>\n<p>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b CMP \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u043c\u0438 HVM:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0440\u0435\u0446\u0438\u0440\u043a\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<li>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0441\u0442\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043e\u043a<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u043c \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 11 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"selection\">11. \u0421\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044f \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438<\/h2>\n<ul>\n<li>\u041e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435 \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<li>\u041e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<li>\u041f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u043a\u0430 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0420\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c \u0441\u043c:<\/p>\n<ul>\n<li><a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/copper-cmp-slurry-for-advanced-semiconductor-manufacturing\/\">\u041c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/tungsten-cmp-slurry-for-semiconductor-manufacturing\/\">\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/a><\/li>\n<\/ul>\n<p><!-- ================= Section 12 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"future\">12. \u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f CMP<\/h2>\n<p>\u0411\u0443\u0434\u0443\u0449\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f CMP \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u043d\u0430:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0410\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/li>\n<li>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 \u043d\u043c<\/li>\n<li>\u042d\u043a\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>\n<p>&nbsp;<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>&nbsp; Table of Contents 1. Introduction to Metal CMP 2. Why Metal CMP Is Fundamentally Different 3. Classification of Metal CMP Slurry Types 4. Removal Mechanisms Across Different Metals 5.  &#8230;<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":1081,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[9,59],"tags":[],"class_list":["post-1058","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog","category-industry"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1058","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1058"}],"version-history":[{"count":5,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1058\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1115,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1058\/revisions\/1115"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1081"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1058"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1058"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1058"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}