{"id":1066,"date":"2026-01-05T15:58:35","date_gmt":"2026-01-05T07:58:35","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=1066"},"modified":"2026-01-05T16:34:14","modified_gmt":"2026-01-05T08:34:14","slug":"how-to-choose-cmp-slurry","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/how-to-choose-cmp-slurry\/","title":{"rendered":"\u041a\u0430\u043a \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b CMP"},"content":{"rendered":"<p>&nbsp;<\/p>\n<h2>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/h2>\n<p><!-- ================= TOC ================= --><\/p>\n<nav>\n<h2>\u041e\u0433\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<ul>\n<li><a href=\"#intro\">1. \u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#first-principles\">2. \u041f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043a \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#material\">3. \u0420\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#slurry-type\">4. \u041f\u043e\u0434\u0431\u043e\u0440 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u043a \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#performance-metrics\">5. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#process-window\">6. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u043a\u043d\u043e \u0438 \u043c\u0430\u0440\u0436\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0436\u0438\u043d\u0438\u0440\u0438\u043d\u0433<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#pad\">7. \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0434\u0430\u043c\u0438 CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#defectivity\">8. \u041e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u0440\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0443\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#tool\">9. \u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#hvm\">10. \u0421\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c (HVM)<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#mistakes\">11. \u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0448\u0438\u0431\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u041a\u041c\u041f<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#qualification\">12. \u041a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#summary\">13. \u0420\u0435\u0437\u044e\u043c\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430<\/a><\/li>\n<\/ul>\n<\/nav>\n<hr \/>\n<p><!-- ================= Section 1 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"intro\">1. \u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<p>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f CMP - \u043e\u0434\u043d\u043e \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 (MRR), \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<p>\u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435\u043a\u0443\u0447\u0435\u0441\u0442\u044c \u0437\u0430\u0434\u043e\u043b\u0433\u043e \u0434\u043e \u0442\u043e\u0433\u043e, \u043a\u0430\u043a \u043a\u0430\u0442\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u044b\u043c.<\/p>\n<p>\u0412 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f, \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e \u043e\u0431\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f CMP, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043b\u0438\u044f\u0445.<\/p>\n<p>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u044b \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u043c \u0441\u043c. \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435:<br \/>\n<a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-for-semiconductor-wafer-polishing\/\"><strong>\u0428\u043b\u0430\u043c\u044b CMP \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/strong><\/a><\/p>\n<p><!-- ================= Section 2 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"first-principles\">2. \u041f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043a \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438<\/h2>\n<p>CMP \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u0435<\/li>\n<li>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f<\/li>\n<li>\u0413\u0438\u0434\u0440\u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u043e\u0432, \u0430 \u043d\u0435 \u0441 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u043e\u0433\u043e\u0432 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n<figure><img decoding=\"async\" class=\"lazyload alignnone size-full wp-image-1132\" src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/First-principles-framework-linking-slurry-chemistry-and-mechanical-removal.jpg\" data-orig-src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/First-principles-framework-linking-slurry-chemistry-and-mechanical-removal.jpg\" alt=\"First-principles framework linking slurry chemistry and mechanical removal.\" width=\"716\" height=\"192\" srcset=\"data:image\/svg+xml,%3Csvg%20xmlns%3D%27http%3A%2F%2Fwww.w3.org%2F2000%2Fsvg%27%20width%3D%27716%27%20height%3D%27192%27%20viewBox%3D%270%200%20716%20192%27%3E%3Crect%20width%3D%27716%27%20height%3D%27192%27%20fill-opacity%3D%220%22%2F%3E%3C%2Fsvg%3E\" data-srcset=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/First-principles-framework-linking-slurry-chemistry-and-mechanical-removal-200x54.jpg 200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/First-principles-framework-linking-slurry-chemistry-and-mechanical-removal-300x80.jpg 300w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/First-principles-framework-linking-slurry-chemistry-and-mechanical-removal-400x107.jpg 400w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/First-principles-framework-linking-slurry-chemistry-and-mechanical-removal-600x161.jpg 600w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/First-principles-framework-linking-slurry-chemistry-and-mechanical-removal.jpg 716w\" data-sizes=\"auto\" data-orig-sizes=\"(max-width: 716px) 100vw, 716px\" \/><\/figure>\n<p><!-- ================= Section 3 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"material\">3. \u0420\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a<\/h2>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430.<\/p>\n<table border=\"1\" cellpadding=\"8\">\n<tbody>\n<tr>\n<th>\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b<\/th>\n<th>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0430<\/th>\n<th>\u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430<\/th>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>SiO\u2082<\/td>\n<td>\u0421\u043d\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0443\u043d\u0438\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b<\/td>\n<td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 pH<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u0435\u0434\u044c<\/td>\n<td>\u0423\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f<\/td>\n<td>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c<\/td>\n<td>\u0422\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>\u0421\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438, \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438<\/td>\n<td>\u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 MRR, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u041b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439, \u043d\u043e \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0438 \u0441\u043e\u0441\u0435\u0434\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 4 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"slurry-type\">4. \u041f\u043e\u0434\u0431\u043e\u0440 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u043a \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 CMP<\/h2>\n<p>\u0422\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0446\u0435\u043b\u0438 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430 CMP.<\/p>\n<ul>\n<li>\u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u044b\u043f\u0443\u0447\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/li>\n<li>\u0427\u0435\u0442\u043a\u0438\u0439 \u0448\u0430\u0433<\/li>\n<li>\u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041c\u0420\u0420 \u0434\u043b\u044f \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0438 - \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f, \u043d\u043e \u0434\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0430\u044f \u043e\u0448\u0438\u0431\u043a\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043a\u0438:<br \/>\n<a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-types-explained\/\">\u0422\u0438\u043f\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP<\/a><\/p>\n<p><!-- ================= Section 5 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"performance-metrics\">5. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n<table border=\"1\" cellpadding=\"8\">\n<tbody>\n<tr>\n<th>\u041c\u0435\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430<\/th>\n<th>\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u044d\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d<\/th>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>MRR<\/td>\n<td>\u041f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u0430\u044f \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>100-5000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>WIWNU<\/td>\n<td>\u0420\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>&lt; 5%<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d<\/td>\n<td>\u0423\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>&lt; 0,1\/\u0441\u043c\u00b2<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>\u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0435\u043c<\/td>\n<td>&gt; 5:1<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p><!-- ================= Section 6 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"process-window\">6. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u043a\u043d\u043e \u0438 \u043c\u0430\u0440\u0436\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043d\u0436\u0438\u043d\u0438\u0440\u0438\u043d\u0433<\/h2>\n<p>\u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f - \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0442\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u0443\u044e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0430 \u0442\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u043a\u043d\u043e.<\/p>\n<figure><img decoding=\"async\" class=\"lazyload alignnone size-full wp-image-1134\" src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process.webp\" data-orig-src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process.webp\" alt=\"CMP slurry process\" width=\"1200\" height=\"1033\" srcset=\"data:image\/svg+xml,%3Csvg%20xmlns%3D%27http%3A%2F%2Fwww.w3.org%2F2000%2Fsvg%27%20width%3D%271200%27%20height%3D%271033%27%20viewBox%3D%270%200%201200%201033%27%3E%3Crect%20width%3D%271200%27%20height%3D%271033%27%20fill-opacity%3D%220%22%2F%3E%3C%2Fsvg%3E\" data-srcset=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process-200x172.webp 200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process-300x258.webp 300w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process-400x344.webp 400w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process-600x517.webp 600w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process-768x661.webp 768w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process-800x689.webp 800w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process-1024x881.webp 1024w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-process.webp 1200w\" data-sizes=\"auto\" data-orig-sizes=\"(max-width: 1200px) 100vw, 1200px\" \/><\/figure>\n<p>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0435 \u043e\u043a\u043d\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043f\u044f\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0421\u0442\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043a\u0438<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u044f \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c\u0438<\/li>\n<li>\u041d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444<\/li>\n<\/ul>\n<p><!-- ================= Section 7 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"pad\">7. \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0430\u0434\u0430\u043c\u0438 CMP<\/h2>\n<p>\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043e\u0434\u0443\u0448\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0435\u0439 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u044d\u043a\u0441\u043f\u043b\u0443\u0430\u0442\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438.<\/p>\n<table border=\"1\" cellpadding=\"8\">\n<tbody>\n<tr>\n<th>\u0422\u0438\u043f \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043a\u0438<\/th>\n<th>\u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u043c<\/th>\n<th>\u0420\u0438\u0441\u043a<\/th>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0422\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0443\u0440\u0435\u0442\u0430\u043d<\/td>\n<td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/td>\n<td>\u0420\u0438\u0441\u043a \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041c\u044f\u0433\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0443\u0448\u0435\u0447\u043a\u0430<\/td>\n<td>\u0423\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td>\n<td>\u0411\u043b\u044e\u0434\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0431\u0435\u0437 \u0443\u0447\u0435\u0442\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u043c.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 8 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"defectivity\">8. \u041e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u0440\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0443\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n<p>\u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0442\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043e\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n<ul>\n<li>\u0426\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d\u044b \u2192 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0445\u0432\u043e\u0441\u0442\u0430<\/li>\n<li>\u041f\u0438\u0442\u0442\u0438\u043d\u0433 \u2192 \u0438\u0437\u0431\u044b\u0442\u043e\u043a \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f<\/li>\n<li>\u0414\u0438\u0448\u0438\u043d\u0433 \u2192 \u0434\u0438\u0441\u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \"\u043e\u0442\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043a\u0430 \u043f\u0430\u043b\u044c\u0446\u0430\" \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 9 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"tool\">9. \u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 CMP<\/h2>\n<p>\u0428\u043b\u0430\u043c \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0431\u044b\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c \u0441:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u0443<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440 \u043f\u043e\u0440 \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430<\/li>\n<li>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0440\u0435\u0446\u0438\u0440\u043a\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0430\u0445 \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u043c:<br \/>\n<a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-filtration\/\">\u0424\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP<\/a><\/p>\n<p><!-- ================= Section 10 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"hvm\">10. \u0421\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c (HVM)<\/h2>\n<p>\u041f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 HVM \u043f\u0440\u0438\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435\u0442 \u043e\u0442\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0430 \u043d\u0435 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<table border=\"1\" cellpadding=\"8\">\n<tbody>\n<tr>\n<th>\u0424\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440<\/th>\n<th>\u0418\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/th>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041a\u043e\u043d\u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u043f\u0430\u0440\u0442\u0438\u0438<\/td>\n<td>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0443\u0447\u0430\u0441\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0421\u0440\u043e\u043a \u0433\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/td>\n<td>\u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u0438<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a<\/td>\n<td>\u0413\u043e\u0442\u043e\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0440\u0441\u0438\u043d\u0433\u0443<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<p><!-- ================= Section 11 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"mistakes\">11. \u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0448\u0438\u0431\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u041a\u041c\u041f<\/h2>\n<ul>\n<li>\u041f\u043e\u0433\u043e\u043d\u044f \u0437\u0430 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c MRR<\/li>\n<li>\u0418\u0433\u043d\u043e\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438<\/li>\n<li>\u041d\u0435\u0434\u043e\u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0443\u0448\u0435\u0447\u0435\u043a<\/li>\n<li>\u041f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u0442\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0433\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043e \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0441 \u044d\u0442\u0438\u043c\u0438 \u043e\u0448\u0438\u0431\u043a\u0430\u043c\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c.<\/p>\n<p><!-- ================= Section 12 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"qualification\">12. \u041a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h2>\n<p>\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043b\u0430\u043d \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f:<\/p>\n<ol>\n<li>\u041b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043a\u0440\u0438\u043d\u0438\u043d\u0433<\/li>\n<li>\u0418\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0441 \u043a\u043e\u0440\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0442\u043b\u0435\u0439<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/li>\n<li>\u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f HVM<\/li>\n<\/ol>\n<figure><figcaption><img decoding=\"async\" class=\"lazyload alignnone size-full wp-image-1135\" src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow.webp\" data-orig-src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow.webp\" alt=\"CMP slurry qualification flow\" width=\"857\" height=\"317\" srcset=\"data:image\/svg+xml,%3Csvg%20xmlns%3D%27http%3A%2F%2Fwww.w3.org%2F2000%2Fsvg%27%20width%3D%27857%27%20height%3D%27317%27%20viewBox%3D%270%200%20857%20317%27%3E%3Crect%20width%3D%27857%27%20height%3D%27317%27%20fill-opacity%3D%220%22%2F%3E%3C%2Fsvg%3E\" data-srcset=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow-200x74.webp 200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow-300x111.webp 300w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow-400x148.webp 400w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow-600x222.webp 600w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow-768x284.webp 768w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow-800x296.webp 800w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/CMP-slurry-qualification-flow.webp 857w\" data-sizes=\"auto\" data-orig-sizes=\"(max-width: 857px) 100vw, 857px\" \/><\/figcaption><\/figure>\n<p><!-- ================= Section 13 ================= --><\/p>\n<h2 id=\"summary\">13. \u0420\u0435\u0437\u044e\u043c\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430<\/h2>\n<p>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f CMP - \u044d\u0442\u043e \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0430 \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0443\u043f\u043a\u0435. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u0447\u0435\u0442\u043a\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u043d\u0430.<\/p>\n<p>\u0414\u0438\u0441\u0446\u0438\u043f\u043b\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043e\u0442\u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438, \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043e\u043a \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0449\u0443\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>&nbsp; An Engineering-Level Decision Framework for Semiconductor Wafer Polishing Table of Contents 1. Introduction 2. First-Principles Approach to Slurry Selection 3. Wafer Material Considerations 4. Matching Slurry Type to CMP  &#8230;<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":1085,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[9,59],"tags":[],"class_list":["post-1066","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog","category-industry"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1066","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1066"}],"version-history":[{"count":5,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1066\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1136,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1066\/revisions\/1136"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1085"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1066"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1066"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1066"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}