{"id":1302,"date":"2026-01-12T10:46:20","date_gmt":"2026-01-12T02:46:20","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=1302"},"modified":"2026-01-12T10:54:52","modified_gmt":"2026-01-12T02:54:52","slug":"cmp-polishing-pad-materials-and-structure-explained","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-polishing-pad-materials-and-structure-explained\/","title":{"rendered":"\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u0432\u0440\u0438\u043a\u0430 CMP \u043e\u0431\u044a\u044f\u0441\u043d\u0435\u043d\u044b"},"content":{"rendered":"<p>\u0412 CMP \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0434\u043e\u0432 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0442\u0440\u0438\u0431\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u043c \u0438\u0442\u043e\u0433\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u0414\u043b\u044f <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/wax-free-cmp-polishing-pads-for-semiconductor-manufacturing\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">\u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0441\u0442\u044b CMP \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430<\/a>, \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0444\u0438\u043a\u0441\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0430 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u044f \u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0441\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438, \u0430 \u043d\u0435 \u043e\u0442 \u0432\u0441\u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430.<\/p>\n<p>\u0412 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0434\u043e\u043a\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f CMP \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u043e\u0432 \u0441 \u0430\u043a\u0446\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d, \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b, \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0435 \u0438 \u0438\u0445 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430.<\/p>\n<nav>\n<h2>\u041e\u0433\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<ul>\n<li><a href=\"#material-overview\">\u041e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#polymer-chemistry\">\u0425\u0438\u043c\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#microstructure\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#mechanical-properties\">\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#slurry-interaction\">\u0412\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0435\u0439 CMP<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#wear-lifetime\">\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u044b \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043e\u043a<\/a><\/li>\n<li><a href=\"#material-selection\">\u0420\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430<\/a><\/li>\n<\/ul>\n<\/nav>\n<h2 id=\"material-overview\">\u041e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 CMP<\/h2>\n<p>\u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0434\u044b CMP \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u044d\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. \u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0442\u0438\u0440\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0434\u043e\u0432, \u043f\u0430\u0434\u044b \u0434\u043b\u044f CMP \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0430\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u0442\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u043c \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438.<\/p>\n<p>\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0441\u0435\u043c\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a CMP \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041f\u043e\u043b\u0438\u0443\u0440\u0435\u0442\u0430\u043d (\u041f\u0423) \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0443\u0440\u0435\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043c\u0435\u0441\u0438<\/li>\n<li>\u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0443\u0440\u0435\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0438 \u043c\u043e\u0447\u0435\u0432\u0438\u043d\u044b<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u044b \u0441 \u043d\u0435\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0412 \u0431\u0435\u0437\u0432\u043e\u0441\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430\u0445 \u044d\u0442\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0443\u044e \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438.<\/p>\n<h2 id=\"polymer-chemistry\">\u0425\u0438\u043c\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446<\/h2>\n<p>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0443\u0440\u0435\u0442\u0430\u043d\u0430 \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u0432\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f CMP \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0438\u0445 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u0430\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u043c \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 pH. \u0420\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u044f \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u044b\u0445 \u0438 \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u043c \u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0442\u0441\u043a\u043e\u043a\u043e\u043c \u0438 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043a \u0438\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u044e.<\/p>\n<p>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0421\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430: 30-55%<\/li>\n<li>\u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043b\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (Tg): \u043e\u0442 -20\u00b0C \u0434\u043e +30\u00b0C<\/li>\n<li>\u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0448\u0438\u0432\u043a\u0438 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0432\u044f\u0437\u043a\u043e\u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0434 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0430\u043a\u0443\u0443\u043c\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0430\u043f\u0438\u043b\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432.<\/p>\n<p><!-- Image Placeholder --><\/p>\n<div><img decoding=\"async\" class=\"lazyload alignnone size-full wp-image-1321\" src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads.webp\" data-orig-src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads.webp\" alt=\"Polymer chemistry and segment structure in CMP polishing pads\" width=\"1787\" height=\"1061\" srcset=\"data:image\/svg+xml,%3Csvg%20xmlns%3D%27http%3A%2F%2Fwww.w3.org%2F2000%2Fsvg%27%20width%3D%271787%27%20height%3D%271061%27%20viewBox%3D%270%200%201787%201061%27%3E%3Crect%20width%3D%271787%27%20height%3D%271061%27%20fill-opacity%3D%220%22%2F%3E%3C%2Fsvg%3E\" data-srcset=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-200x119.webp 200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-300x178.webp 300w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-400x237.webp 400w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-600x356.webp 600w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-768x456.webp 768w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-800x475.webp 800w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-1024x608.webp 1024w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-1200x712.webp 1200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads-1536x912.webp 1536w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2026\/01\/Polymer-chemistry-and-segment-structure-in-CMP-polishing-pads.webp 1787w\" data-sizes=\"auto\" data-orig-sizes=\"(max-width: 1787px) 100vw, 1787px\" \/><\/div>\n<h2 id=\"microstructure\">\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h2>\n<p>\u041c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430, \u043f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c CMP-\u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043e\u043a. \u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0440 \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c, \u0438\u0445 \u0441\u0432\u044f\u0437\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0430\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u043e\u043a\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430, \u044d\u0432\u0430\u043a\u0443\u0430\u0446\u0438\u044e \u043e\u0431\u043b\u043e\u043c\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430.<\/p>\n<p>\u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0434\u044b \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u043e\u0440: 10-80 \u043c\u043a\u043c<\/li>\n<li>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0430\u044f \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c: 30-60%<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0438\u043b\u0438 \u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u0430\u044f \u0441\u0432\u044f\u0437\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0440<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u042d\u0442\u0438 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u044f\u044e\u0442 \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u0443\u044e \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044e: \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u0444\u0438\u043a\u0441\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043a\u0430\u043a \u043e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043e \u0432 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/wax-free-adsorption-polishing-pad-technology\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430<\/a>.<\/p>\n<table border=\"1\">\n<tbody>\n<tr>\n<th>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/th>\n<th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d<\/th>\n<th>\u0424\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f<\/th>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0414\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440 \u043f\u043e\u0440<\/td>\n<td>10-80 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<td>\u0422\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0438 \u0443\u0431\u043e\u0440\u043a\u0430 \u043c\u0443\u0441\u043e\u0440\u0430<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u041f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>\n<td>30-60%<\/td>\n<td>\u0421\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0446\u0438\u0438<\/td>\n<\/tr>\n<tr>\n<td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u0442\u0430 \u0410\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u0442\u0438<\/td>\n<td>5-30 \u043c\u043a\u043c<\/td>\n<td>\u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u043a\u043e\u0439<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<h2 id=\"mechanical-properties\">\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438<\/h2>\n<p>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442, \u043a\u0430\u043a \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u043a \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0432\u044f\u0437\u043a\u043e\u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0435 \u0434\u0435\u043c\u043f\u0444\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<p>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u044b \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0432\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 CMP \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0422\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0428\u043e\u0440\u0443 D: 45-65<\/li>\n<li>\u041c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u0443\u043f\u0440\u0443\u0433\u043e\u0441\u0442\u0438: 50-300 \u041c\u041f\u0430<\/li>\n<li>\u041d\u0430\u0431\u043e\u0440 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0436\u0430\u0442\u0438\u044f: &lt;10%<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430, \u043f\u0430\u0434\u044b \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u0430\u0447\u0443 \u043d\u0430\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0438 \u0441 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u043c \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0440\u0430\u0435\u0432, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438.<\/p>\n<p><!-- Video Placeholder --><\/p>\n<h2 id=\"slurry-interaction\">\u0412\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0441 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0435\u0439 CMP<\/h2>\n<p>\u0428\u043b\u0430\u043c\u044b CMP \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0441 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0438 \u0432\u043a\u0440\u0430\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446. \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u0442\u044c \u043d\u0430\u0431\u0443\u0445\u0430\u043d\u0438\u044e, \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437\u0443 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u043e\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 - \u043e\u0442 \u043a\u0438\u0441\u043b\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u0434\u043e \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u0432.<\/p>\n<p>\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c<\/li>\n<li>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438<\/li>\n<li>\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u043c\u0443 MRR \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0442\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043d\u0430\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a.<\/p>\n<h2 id=\"wear-lifetime\">\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u044b \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043e\u043a<\/h2>\n<p>\u0418\u0437\u043d\u043e\u0441 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043e\u043a \u0432 CMP \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430. \u0412 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0433\u043b\u0430\u0437\u0443\u0440\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043e\u0441\u043a\u043e\u043c.<\/p>\n<p>\u041a \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0430\u043c \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n<ul>\n<li>\u041f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0443\u043f\u043b\u043e\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u0442\u043e\u0432<\/li>\n<li>\u042d\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f \u0441\u0442\u0435\u043d\u043e\u043a \u043f\u043e\u0440<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0441\u0449\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043f\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438<\/li>\n<\/ul>\n<p>\u0425\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u0441\u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u0443\u044e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u043a\u0430\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0430 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b, \u0447\u0442\u043e \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h2 id=\"material-selection\">\u0420\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430<\/h2>\n<p>\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0441\u043a\u043e\u0432 CMP \u0431\u0435\u0437 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043a\u0430\u043a \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c. \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n<ul>\n<li>\u0421\u0442\u0435\u043a \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 (Cu, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434, low-k)<\/li>\n<li>\u0425\u0438\u043c\u0438\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b<\/li>\n<li>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0447\u0435\u0435 \u043e\u043a\u043d\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n<li>\u0416\u0435\u043b\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0435\u0433\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/li>\n<\/ul>\n<p>&nbsp;<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>In CMP, polishing pad materials define the fundamental mechanical, chemical, and tribological interactions that ultimately determine planarization efficiency, defectivity, and process stability. For wax-free CMP polishing pads, material selection becomes  &#8230;<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":1320,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[9,59],"tags":[],"class_list":["post-1302","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog","category-industry"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1302","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1302"}],"version-history":[{"count":4,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1302\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1341,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1302\/revisions\/1341"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1320"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1302"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1302"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1302"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}