{"id":1465,"date":"2026-03-03T11:00:59","date_gmt":"2026-03-03T03:00:59","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=1465"},"modified":"2026-03-04T11:43:57","modified_gmt":"2026-03-04T03:43:57","slug":"cmp-slurry-types-explained-oxide-sti-copper-tungsten-beyond","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-types-explained-oxide-sti-copper-tungsten-beyond\/","title":{"rendered":"\u041e\u0431\u044a\u044f\u0441\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP: \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434, STI, \u043c\u0435\u0434\u044c, \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c \u0438 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435"},"content":{"rendered":"<!--\n========================================================\n  CLUSTER ARTICLE 1 \u2014 CMP SLURRY TYPES\n  Target: WordPress post editor (paste in HTML\/Text mode)\n  SEO Target Keyword : CMP Slurry Types\n  Secondary KWs      : oxide CMP slurry, STI slurry,\n                       copper CMP slurry, tungsten CMP slurry,\n                       barrier CMP slurry, polysilicon CMP slurry\n  Word Count         : ~2,800 words\n  Pillar Back-link   : \/cmp-slurry-complete-guide\/\n  Cross-links        : \/cmp-slurry-composition\/\n                       \/copper-cmp-slurry\/\n                       \/cmp-slurry-advanced-nodes\/\n                       \/cmp-slurry-manufacturers\/\n  Schema             : Article + FAQPage JSON-LD\n========================================================\n-->\n\n<!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n     SEO META HINTS (paste into Yoast \/ RankMath)\n     Title tag  : CMP Slurry Types Explained: Oxide, STI, Cu, W & More (2025)\n     Meta desc  : A complete guide to every type of CMP slurry \u2014\n                  oxide, STI, copper, tungsten, barrier, and polysilicon.\n                  Includes selection criteria, performance tables & process tips.\n     Slug       : \/cmp-slurry-types\/\n     Focus KW   : CMP slurry types\n     Parent page: \/cmp-slurry-complete-guide\/\n\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n\n<!-- \u2500\u2500 STYLES (identical design system to Pillar Page) \u2500\u2500 -->\n<style>\n.cmp-article *,\n.cmp-article *::before,\n.cmp-article *::after { box-sizing: border-box; }\n\n.cmp-article {\n  font-family: 'Georgia', 'Times New Roman', serif;\n  font-size: 17px;\n  line-height: 1.85;\n  color: #1a1a2e;\n  max-width: 860px;\n  margin: 0 auto;\n  padding: 0 20px 60px;\n}\n\n.cmp-article h1 {\n  font-family: 'Segoe UI', 'Helvetica Neue', Arial, sans-serif;\n  font-size: clamp(26px, 4vw, 42px);\n  font-weight: 800;\n  line-height: 1.2;\n  color: #0a0a23;\n  margin: 0 0 16px;\n  letter-spacing: -0.5px;\n}\n.cmp-article h2 {\n  font-family: 'Segoe UI', 'Helvetica Neue', Arial, sans-serif;\n  font-size: clamp(19px, 2.5vw, 26px);\n  font-weight: 700;\n  color: #0a2463;\n  margin: 52px 0 16px;\n  padding-bottom: 10px;\n  border-bottom: 3px solid #0a2463;\n  letter-spacing: -0.3px;\n}\n.cmp-article h3 {\n  font-family: 'Segoe UI', 'Helvetica Neue', Arial, sans-serif;\n  font-size: clamp(16px, 2vw, 20px);\n  font-weight: 700;\n  color: #163a8a;\n  margin: 36px 0 12px;\n}\n.cmp-article p { margin: 0 0 20px; color: #2d2d2d; }\n.cmp-article a {\n  color: #0a2463;\n  text-decoration: underline;\n  text-underline-offset: 3px;\n  font-weight: 600;\n  transition: color 0.2s;\n}\n.cmp-article a:hover { color: #d4380d; }\n.cmp-article ul, .cmp-article ol { margin: 0 0 20px 24px; padding: 0; }\n.cmp-article li { margin-bottom: 8px; color: #2d2d2d; }\n\n\/* Hero *\/\n.cmp-hero {\n  background: linear-gradient(135deg, #0a2463 0%, #1e3a8a 50%, #163a6a 100%);\n  border-radius: 12px;\n  padding: 48px 40px;\n  margin-bottom: 40px;\n  position: relative;\n  overflow: hidden;\n}\n.cmp-hero::before {\n  content:''; position:absolute; top:-60px; right:-60px;\n  width:260px; height:260px; background:rgba(255,255,255,0.05); border-radius:50%;\n}\n.cmp-hero::after {\n  content:''; position:absolute; bottom:-40px; left:-40px;\n  width:180px; height:180px; background:rgba(255,255,255,0.04); border-radius:50%;\n}\n.cmp-hero h1 { color:#fff; }\n.cmp-hero .hero-meta {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:14px;\n  color:rgba(255,255,255,0.7); margin:0 0 20px; letter-spacing:0.5px;\n}\n.cmp-hero .hero-intro {\n  font-size:18px; color:rgba(255,255,255,0.88);\n  line-height:1.7; margin:0; font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif;\n}\n\n\/* Breadcrumb *\/\n.cmp-breadcrumb {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:13.5px;\n  color:#64748b; margin-bottom:28px;\n}\n.cmp-breadcrumb a { color:#0a2463; font-weight:500; text-decoration:none; }\n.cmp-breadcrumb a:hover { text-decoration:underline; }\n.cmp-breadcrumb span { margin:0 6px; }\n\n\/* TOC *\/\n.cmp-toc {\n  background:#f0f4ff; border:1px solid #c7d5f5;\n  border-left:5px solid #0a2463; border-radius:8px;\n  padding:28px 32px; margin:0 0 44px;\n}\n.cmp-toc h2 {\n  font-size:18px !important; font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif;\n  color:#0a2463 !important; margin:0 0 16px !important;\n  padding:0 !important; border:none !important;\n}\n.cmp-toc ol { margin:0; padding-left:22px; }\n.cmp-toc ol li {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:15px;\n  margin-bottom:8px; color:#1a1a2e;\n}\n.cmp-toc ol li a { color:#0a2463; font-weight:500; text-decoration:none; }\n.cmp-toc ol li a:hover { text-decoration:underline; color:#d4380d; }\n\n\/* Info Boxes *\/\n.cmp-box { border-radius:10px; padding:24px 28px; margin:28px 0; }\n.cmp-box.blue  { background:#eef2ff; border-left:5px solid #3b5bdb; }\n.cmp-box.amber { background:#fffbeb; border-left:5px solid #f59e0b; }\n.cmp-box.green { background:#ecfdf5; border-left:5px solid #10b981; }\n.cmp-box.red   { background:#fff1f0; border-left:5px solid #ef4444; }\n.cmp-box .box-title {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:15px;\n  font-weight:700; text-transform:uppercase; letter-spacing:0.6px;\n  margin:0 0 10px; color:#0a2463;\n}\n\n\/* Tables *\/\n.cmp-table-wrap { overflow-x:auto; margin:24px 0 36px; }\n.cmp-table { width:100%; border-collapse:collapse; font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:14.5px; }\n.cmp-table th { background:#0a2463; color:#fff; padding:12px 16px; text-align:left; font-weight:600; white-space:nowrap; }\n.cmp-table td { padding:11px 16px; border-bottom:1px solid #e2e8f0; color:#2d2d2d; vertical-align:top; }\n.cmp-table tr:nth-child(even) td { background:#f8faff; }\n.cmp-table tr:hover td { background:#eef2ff; }\n.badge {\n  display:inline-block; font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif;\n  font-size:11px; font-weight:700; padding:2px 8px;\n  border-radius:20px; text-transform:uppercase; letter-spacing:0.4px;\n}\n.badge.high   { background:#dcfce7; color:#166534; }\n.badge.medium { background:#fef9c3; color:#854d0e; }\n.badge.low    { background:#fee2e2; color:#991b1b; }\n\n\/* Type Cards *\/\n.type-card {\n  border:1px solid #d4ddf5; border-radius:12px;\n  padding:28px 30px; margin:32px 0;\n  position:relative; overflow:hidden;\n}\n.type-card::before {\n  content:''; position:absolute; top:0; left:0;\n  width:5px; height:100%; background:#0a2463;\n}\n.type-card.copper::before  { background:#d97706; }\n.type-card.tungsten::before{ background:#64748b; }\n.type-card.sti::before     { background:#7c3aed; }\n.type-card.oxide::before   { background:#0891b2; }\n.type-card.barrier::before { background:#059669; }\n.type-card.poly::before    { background:#dc2626; }\n.type-card.cobalt::before  { background:#db2777; }\n\n.type-card .type-header {\n  display:flex; align-items:center; gap:14px; margin-bottom:14px;\n}\n.type-card .type-icon {\n  width:44px; height:44px; border-radius:10px;\n  display:flex; align-items:center; justify-content:center;\n  font-size:22px; background:#f0f4ff; flex-shrink:0;\n}\n.type-card .type-title {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif;\n  font-size:19px; font-weight:800; color:#0a2463; margin:0;\n}\n.type-card .type-subtitle {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif;\n  font-size:13px; color:#64748b; margin:2px 0 0;\n}\n.type-card .type-specs {\n  display:flex; flex-wrap:wrap; gap:10px; margin:14px 0;\n}\n.type-card .spec-pill {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:12.5px;\n  background:#f0f4ff; border:1px solid #c7d5f5;\n  border-radius:20px; padding:4px 12px; color:#0a2463; font-weight:600;\n}\n\n\/* Selection Matrix *\/\n.matrix-grid {\n  display:grid; grid-template-columns:repeat(auto-fit,minmax(200px,1fr));\n  gap:14px; margin:24px 0 36px;\n}\n.matrix-card {\n  background:#fff; border:1px solid #e2e8f0;\n  border-radius:10px; padding:18px 20px;\n}\n.matrix-card .mc-label {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:12px;\n  font-weight:700; text-transform:uppercase; letter-spacing:0.5px;\n  color:#64748b; margin-bottom:6px;\n}\n.matrix-card .mc-value {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:15px;\n  font-weight:700; color:#0a2463;\n}\n\n\/* Trust Bar *\/\n.cmp-trust {\n  display:flex; align-items:center; gap:16px;\n  background:#f8faff; border:1px solid #e2e8f0;\n  border-radius:10px; padding:20px 24px; margin:40px 0 28px;\n}\n.trust-avatar {\n  width:52px; height:52px; background:#0a2463; border-radius:50%;\n  display:flex; align-items:center; justify-content:center; font-size:22px; flex-shrink:0;\n}\n.trust-text { font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; }\n.trust-text strong { display:block; font-size:15px; color:#0a2463; }\n.trust-text span { font-size:13px; color:#64748b; }\n\n\/* CTA *\/\n.cmp-cta {\n  background:linear-gradient(135deg,#d4380d,#f5692e);\n  border-radius:12px; padding:36px 40px; text-align:center; margin:48px 0; color:#fff;\n}\n.cmp-cta h3 {\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-size:22px;\n  font-weight:800; color:#fff !important; margin:0 0 10px !important;\n}\n.cmp-cta p { color:rgba(255,255,255,0.9); margin:0 0 20px; font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; }\n.cmp-cta a {\n  display:inline-block; background:#fff; color:#d4380d !important;\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-weight:800; font-size:15px;\n  padding:13px 32px; border-radius:50px; text-decoration:none !important;\n  letter-spacing:0.3px; transition:transform 0.2s,box-shadow 0.2s;\n}\n.cmp-cta a:hover { transform:translateY(-2px); box-shadow:0 6px 20px rgba(0,0,0,0.2); }\n\n\/* FAQ *\/\n.cmp-faq { margin:24px 0; }\n.faq-item { border:1px solid #e2e8f0; border-radius:8px; margin-bottom:14px; overflow:hidden; }\n.faq-question {\n  background:#f8faff; padding:18px 22px;\n  font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; font-weight:700;\n  color:#0a2463; font-size:15.5px; margin:0;\n}\n.faq-answer {\n  padding:18px 22px; background:#fff; font-size:15.5px;\n  color:#2d2d2d; border-top:1px solid #e2e8f0;\n}\n\n\/* Back to Pillar *\/\n.back-to-pillar {\n  display:flex; align-items:center; gap:12px;\n  background:#f0f4ff; border:1px solid #c7d5f5; border-radius:10px;\n  padding:18px 24px; margin:48px 0 0; text-decoration:none !important;\n  transition:background 0.2s;\n}\n.back-to-pillar:hover { background:#e0e8ff; }\n.back-to-pillar .btp-icon { font-size:24px; flex-shrink:0; }\n.back-to-pillar .btp-text { font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif; }\n.back-to-pillar .btp-label { font-size:12px; color:#64748b; display:block; }\n.back-to-pillar .btp-title { font-size:15px; font-weight:700; color:#0a2463; }\n\n@media (max-width:600px){\n  .cmp-hero { padding:32px 22px; }\n  .type-card { padding:22px 18px; }\n  .cmp-cta { padding:28px 20px; }\n  .cmp-toc { padding:22px 18px; }\n}\n<\/style>\n\n<!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n     ARTICLE BODY\n\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n<article class=\"cmp-article\" itemscope itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Article\">\n\n\n  <!-- Hero -->\n  <div class=\"cmp-hero\">\n    <p class=\"hero-intro\">\n      \u041d\u0435 \u0432\u0441\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f CMP \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u044b \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 - \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430, \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0439 pH, \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0412 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0441\u0435 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f CMP \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c\u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0430\u043c \u0438 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430\u043c \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440.\n    <\/p>\n  <\/div>\n\n  <!-- Trust Bar -->\n  <div class=\"cmp-trust\">\n    <div class=\"trust-avatar\">\u2697\ufe0f<\/div>\n    <div class=\"trust-text\">\n      <strong>Jizhi Electronic Technology Co., Ltd. - \u041a\u043e\u043c\u0430\u043d\u0434\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/strong>\n      <span>\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442 \u043f\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f\u043c \u0434\u043b\u044f CMP, \u0440\u0430\u0441\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 \u0423\u0441\u0438, \u0426\u0437\u044f\u043d\u0441\u0443. \u0421\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0430\u0440\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c. \u0427\u0430\u0441\u0442\u044c <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/what-is-cmp-slurry-a-complete-guide-to-chemical-mechanical-planarization-slurry\/\">\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u0443 CMP<\/a> \u0441\u0435\u0440\u0438\u044f.<\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <!-- TOC -->\n  <div class=\"cmp-toc\">\n    <h2>\ud83d\udccb \u041e\u0433\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n    <ol>\n      <li><a href=\"#why-types-matter\">\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f CMP \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#classification-framework\">\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438: \u041a\u0430\u043a \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b CMP<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#oxide-slurry\">\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 CMP Slurry (ILD)<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#sti-slurry\">\u0428\u043b\u0430\u043c STI CMP<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#copper-slurry\">\u041c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#tungsten-slurry\">\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#barrier-slurry\">\u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440 \/ \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430 CMP Slurry<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#polysilicon-slurry\">\u0428\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f CMP<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#emerging-types\">\u0420\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u0442\u0438\u043f\u044b: Co, Ru \u0438 \u0448\u043b\u0430\u043c \u0431\u0435\u0437 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#comparison-table\">\u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#selection-guide\">\u041a\u0430\u043a \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430<\/a><\/li>\n      <li><a href=\"#faq\">\u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b<\/a><\/li>\n    <\/ol>\n  <\/div>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 1: WHY TYPES MATTER\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"why-types-matter\">1. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f CMP \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n\n  <p>\n    \u041f\u043e \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0441\u0443\u0442\u0438, <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/what-is-cmp-slurry-a-complete-guide-to-chemical-mechanical-planarization-slurry\/\">\u0428\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b CMP<\/a> \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e - \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0434\u043e \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u043c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u041d\u043e \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u043a\u0430\u0442\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0435\u0434\u044c; \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u043a, \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u041a. \u0422\u0438\u043f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 - \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u0434\u0435\u0442\u0430\u043b\u044c - \u044d\u0442\u043e \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438, \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.\n  <\/p>\n\n  <p>\n    \u0412\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0432\u0435\u0440\u0442\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0438, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043f\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 TSMC N3 \u0438\u043b\u0438 Samsung SF3 <strong>\u041e\u0442 15 \u0434\u043e 25 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u0432 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 CMP<\/strong> \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c\u0443 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443 - \u043e\u0442 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 FEOL \u0434\u043e \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 BEOL \u0438 \u0432\u043f\u043b\u043e\u0442\u044c \u0434\u043e \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u041a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043d\u043e \u0441 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438, \u043a\u043e\u043d\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0435\u0440\u043e\u043c \u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430. \u041f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0442\u0438\u043f\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 - \u0438\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430, \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0430 pH, \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 - \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u043b\u044e\u0431\u043e\u043c\u0443 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0443, \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0437\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c CMP.\n  <\/p>\n\n  <div class=\"cmp-box blue\">\n    <p class=\"box-title\">\ud83d\udccc \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f<\/p>\n    <p style=\"margin:0;\">\u0422\u0438\u043f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 CMP \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c \u0442\u0440\u0435\u043c\u044f \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438: (1) \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u043e\u0439, (2) \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u043e\u0439 \u043d\u0438\u0436\u0435\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u044f \u0438 (3) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u044b\u043c \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043d\u0438\u043c\u0438. \u0412\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u044b \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 MRR, \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 CMP.<\/p>\n  <\/div>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 2: CLASSIFICATION FRAMEWORK\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"classification-framework\">2. \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438: \u041a\u0430\u043a \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b CMP<\/h2>\n\n  <p>\n    \u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 CMP \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e \u0434\u0432\u0443\u043c \u043e\u0441\u044f\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440:\n  <\/p>\n\n  <h3>2.1 \u041f\u043e \u0442\u0438\u043f\u0443 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430<\/h3>\n  <p>\n    \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0444\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044e \u0441 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. \u0422\u0440\u0438 \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 - \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiO\u2082), \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f (CeO\u2082) \u0438 \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c (Al\u2082O\u2083) - \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0427\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u0430\u044f \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u044f - \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432 (AFS) - \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435. \u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u0439 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-composition-abrasives-chemical-additives-formulation-principles\/\">\u0421\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP: \u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b, \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u044b \u0438 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u0430<\/a>.\n  <\/p>\n\n  <h3>2.2 \u041f\u043e \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0435 \/ \u044d\u0442\u0430\u043f\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/h3>\n  <p>\n    \u0421 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430\u043c, \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043e\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u044b. \u0418\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u044d\u0442\u0443 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0443 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438 fab \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430 CMP, \u0438 \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435.\n  <\/p>\n\n  <div class=\"cmp-table-wrap\">\n    <table class=\"cmp-table\">\n      <thead>\n        <tr>\n          <th>\u041a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430<\/th>\n          <th>\u0426\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0438\u043b\u044c\u043c<\/th>\n          <th>\u041e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c \u0441\u043b\u043e\u0439<\/th>\n          <th>\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432<\/th>\n          <th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 pH<\/th>\n        <\/tr>\n      <\/thead>\n      <tbody>\n        <tr>\n          <td>\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 (ILD)<\/td>\n          <td>\u0422\u042d\u041e\u0421 SiO\u2082, \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u041f\u0412\u041f<\/td>\n          <td>\u041d\u0435\u0442 (\u0441 \u0442\u0430\u0439\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c) \u0438\u043b\u0438 Si\u2083N\u2084<\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>\n          <td>10-11<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td>STI<\/td>\n          <td>TEOS SiO\u2082<\/td>\n          <td>Si\u2083N\u2084<\/td>\n          <td>\u0426\u0435\u0440\u0438\u044f (CeO\u2082)<\/td>\n          <td>5-8<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td>\u041c\u0435\u0434\u044c (\u043d\u0430\u0441\u044b\u043f\u044c\u044e)<\/td>\n          <td>Cu<\/td>\n          <td>TaN \/ Ta \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440<\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>\n          <td>3-5<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td>\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c<\/td>\n          <td>W<\/td>\n          <td>Ti \/ TiN<\/td>\n          <td>\u0413\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c<\/td>\n          <td>2-4<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td>\u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440 \/ \u0432\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0448<\/td>\n          <td>TaN, Ta, Ti<\/td>\n          <td>Cu, SiO\u2082<\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>\n          <td>7-10<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td>\u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439<\/td>\n          <td>Poly-Si<\/td>\n          <td>\u0417\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440 SiO\u2082<\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>\n          <td>10-12<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \/ \u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439<\/td>\n          <td>Co, Ru<\/td>\n          <td>\u0412\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f<\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>\n          <td>4-8<\/td>\n        <\/tr>\n      <\/tbody>\n    <\/table>\n  <\/div>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 3: OXIDE SLURRY\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"oxide-slurry\">3. \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f CMP (ILD)<\/h2>\n\n  <div class=\"type-card oxide\">\n    <div class=\"type-header\">\n      <div class=\"type-icon\">\ud83d\udd35<\/div>\n      <div>\n        <p class=\"type-title\">\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \/ ILD CMP Slurry<\/p>\n        <p class=\"type-subtitle\">\u0421\u0430\u043c\u044b\u0439 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f CMP \u043f\u043e \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/p>\n      <\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"type-specs\">\n      <span class=\"spec-pill\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432: \u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">pH: 10-11<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">MRR: 1,000-3,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c: \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434:\u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 5-10:1<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432: <span class=\"badge low\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439<\/span><\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <p>\n    \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f CMP \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 (ILD) \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a - \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u043c SiO\u2082 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 TEOS (\u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u044d\u0442\u0438\u043b \u043e\u0440\u0442\u043e\u0441\u0438\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442), \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c PECVD \u0438\u043b\u0438 HDP-CVD \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439. \u042d\u0442\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 CMP, \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0435\u0439 IBM \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435 1980-\u0445 \u0433\u043e\u0434\u043e\u0432, \u0438 \u043e\u043d\u043e \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u043c \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP \u043f\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u0443 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u0440\u0435\u043f\u0430\u0440\u0430\u0442\u0430<\/h3>\n  <p>\n    \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 (pH 10-11), \u0432 \u043d\u0438\u0445 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b \u0438\u0437 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 5-15 \u043c\u0430\u0441\u0441%. \u041f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c pH \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiO\u2082 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u044b \u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0435\u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c, \u043d\u043e \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0432 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 pH, \u0430 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u0438\u043d\u0435\u0442\u0438\u043a\u0443 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 (\u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043b\u0438\u0437 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 Si-O), \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f MRR \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 1,000-3,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d. KOH \u0438\u043b\u0438 NH\u2084OH \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u0430 pH \u0438 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u0430.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0417\u0430\u043c\u0435\u0442\u043a\u0438 \u043e\u0431 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432<\/h3>\n  <p>\n    \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u041c\u041b\u0414 CMP, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u0441 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c - \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0437\u0430\u043a\u0430\u043d\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0437\u0430\u0440\u0430\u043d\u0435\u0435 \u0437\u0430\u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 in-situ. \u0411\u0435\u0437 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043f\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (WIWNU) \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c: \u0434\u043b\u044f \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0443 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u044f\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0430 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0437\u043e\u043d\u0435 \u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u0438 \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u044f \u0444\u0438\u043a\u0441\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043a\u043e\u043b\u044c\u0446\u0430. \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0449\u0430\u0434\u044f\u0449\u0435\u0439 \u0441 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0437\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0435\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u043e\u0432 CMP.\n  <\/p>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 4: STI SLURRY\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"sti-slurry\">4. STI CMP Slurry (\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f \u043d\u0435\u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439)<\/h2>\n\n  <div class=\"type-card sti\">\n    <div class=\"type-header\">\n      <div class=\"type-icon\">\ud83d\udfe3<\/div>\n      <div>\n        <p class=\"type-title\">\u0428\u043b\u0430\u043c STI CMP<\/p>\n        <p class=\"type-subtitle\">\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u044d\u0442\u0430\u043f CMP \u0432 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 FEOL<\/p>\n      <\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"type-specs\">\n      <span class=\"spec-pill\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432: \u0426\u0435\u0440\u0438\u044f (CeO\u2082)<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">pH: 5-8<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">MRR (\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434): 1,500-4,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c: SiO\u2082:Si\u2083N\u2084 \u043e\u0442 &gt;50:1 \u0434\u043e 200:1<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432: <span class=\"badge medium\">\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439<\/span><\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <p>\n    CMP \u0434\u043b\u044f \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0435\u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439 (STI) - \u044d\u0442\u043e, \u043f\u043e\u0436\u0430\u043b\u0443\u0439, \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f CMP \u0434\u043b\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0444\u0440\u043e\u043d\u0442\u0430 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0438 (FEOL). \u0415\u0433\u043e \u0446\u0435\u043b\u044c - \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 TEOS, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043c\u0435\u043b\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439, \u0441 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u0435 Si\u2083N\u2084, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432. \u041d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 10 \u043d\u043c \u043e\u0431\u0449\u0438\u0439 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 STI CMP \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u00b11 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043a\u0435\u0440\u0438\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0418\u041f\u041f\u041f<\/h3>\n  <p>\n    \u041e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u043e\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 STI \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiO\u2082:Si\u2083N\u2084, \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0438\u043c\u0430\u044f \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f (\u0446\u0435\u0440\u0438\u044f). \u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u044f: \u0427\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b CeO\u2082 \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044e\u0442 \u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441 SiO\u2082, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438 Ce-O-Si, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u044f\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c Si\u2083N\u2084 \u0432 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u0430 \u043a \u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c\u0443, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442 50:1 \u0434\u043e 200:1 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u043e\u0432 \u0430\u043d\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u043a.\n  <\/p>\n\n  <p>\n    \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 SiO\u2082:Si\u2083N\u2084 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 5-10:1, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f CMP STI, \u0433\u0434\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0438\u0436\u0435 2-3 \u043d\u043c. \u042d\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044e STI \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u043d\u0435\u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c\u044b\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 FEOL. \u0420\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u0430 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f - \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f, \u0442\u0438\u043f\u043e\u043c \u0430\u043d\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u0435\u0440\u0430 (\u043f\u043e\u043b\u0438\u0430\u043a\u0440\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u0430, \u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0443\u043b\u044c\u0444\u043e\u043d\u0430\u0442) \u0438 pH - \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u043c \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u043b\u0435\u043c \u0431\u0438\u0442\u0432\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 STI. \u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u0435\u0435 \u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f \u0447\u0438\u0442\u0430\u0439\u0442\u0435 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-composition-abrasives-chemical-additives-formulation-principles\/\">\u0421\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP<\/a>.\n  <\/p>\n\n  <div class=\"cmp-box amber\">\n    <p class=\"box-title\">\u26a0\ufe0f \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/p>\n    <p style=\"margin:0;\">\u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0418\u041f\u041f \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043a\u043b\u043e\u043d\u043d\u044b \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d (\u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d\u044b, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f), \u0447\u0435\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430, \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0441\u043a\u043b\u043e\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0430\u0433\u043b\u043e\u043c\u0435\u0440\u0430\u0442\u043e\u0432. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0427\u041c\u041f \u0438 \u0444\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0432 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0430\u0445 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 STI \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0430\u0445.<\/p>\n  <\/div>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 5: COPPER SLURRY\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"copper-slurry\">5. \u041c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/h2>\n\n  <div class=\"type-card copper\">\n    <div class=\"type-header\">\n      <div class=\"type-icon\">\ud83d\udfe0<\/div>\n      <div>\n        <p class=\"type-title\">\u041c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/p>\n        <p class=\"type-subtitle\">\u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u043c\u0430\u0441\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0434\u0438<\/p>\n      <\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"type-specs\">\n      <span class=\"spec-pill\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432: \u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">pH: 3-5 (\u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0430\u044f \u043c\u0430\u0441\u0441\u0430) \/ 6-8 (\u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u044c)<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">MRR (Cu): 3,000-8,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c: H\u2082O\u2082<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432: <span class=\"badge high\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/span><\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <p>\n    \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0435\u0434\u0438 CMP \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 BEOL (back-end-of-line) \u0438 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u0430 \u0441 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432. \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u044b\u043c \u0434\u0430\u043c\u0430\u0441\u043a\u043e\u043c - \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u0430\u044f \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0442 180 \u043d\u043c \u0434\u043e 3 \u043d\u043c - \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043a\u0430\u043a \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 CMP, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043c \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438.\n  <\/p>\n\n  <p>\n    \u0423\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044f \u0435\u0433\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043c\u044b \u043d\u0430\u043f\u0438\u0441\u0430\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0438\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u044b: <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/copper-cmp-slurry-dual-damascene-process-formulation-defect-control-complete-engineering-guide\/\">\u041c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP: \u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/a>. \u0417\u0434\u0435\u0441\u044c \u043c\u044b \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0428\u0430\u0433 1: \u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0434\u0438<\/h3>\n  <p>\n    \u042d\u0442\u0430\u043f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 Cu \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0443\u044e \u0447\u0430\u0441\u0442\u044c \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043a\u0440\u0430\u043f\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 500-1500 \u043d\u043c) \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c MRR (3 000-8 000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d). \u0412 \u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u044b \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0438\u0441\u044c \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 (H\u2082O\u2082) \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f, \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0432 Cu(OH)\u2082, \u0432 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u0445\u0435\u043b\u0430\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c, \u0442\u0430\u043a\u0438\u043c \u043a\u0430\u043a \u0433\u043b\u0438\u0446\u0438\u043d \u0438\u043b\u0438 \u043b\u0438\u043c\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u0430, \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u044f\u0437\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 Cu\u00b2\u207a, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044f \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0418\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 (\u0447\u0430\u0449\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u0431\u0435\u043d\u0437\u043e\u0442\u0440\u0438\u0430\u0437\u043e\u043b, BTA) \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f Cu, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u0445. \u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430 Cu \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 TaN \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0431\u044b\u0442\u044c &gt;100:1, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c \u0440\u0430\u043d\u043d\u0435\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0428\u0430\u0433 2: \u0421\u043d\u044f\u0442\u0438\u0435 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430 \/ \u043e\u0431\u043b\u0438\u0446\u043e\u0432\u043a\u0438<\/h3>\n  <p>\n    \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 Cu \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 TaN\/Ta \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0439 Cu\/\u0441\u0435\u043c\u044f\u043d, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0439\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u043c \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0435, \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0431\u044b\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 CMP. \u0414\u043b\u044f \u044d\u0442\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0441 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043a \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0435, \u043f\u043e Cu, TaN \u0438 SiO\u2082 - \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 Cu. \u0412 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0445 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 pH (6-8), \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432 \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0438 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439\/\u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f Ta \u0441\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e 400-800 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f Cu \u0438 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 SiO\u2082. \u0424\u0438\u043d\u0438\u0448\u043d\u0430\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0446\u0435.\n  <\/p>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 6: TUNGSTEN SLURRY\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"tungsten-slurry\">6. \u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/h2>\n\n  <div class=\"type-card tungsten\">\n    <div class=\"type-header\">\n      <div class=\"type-icon\">\u2699\ufe0f<\/div>\n      <div>\n        <p class=\"type-title\">\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP<\/p>\n        <p class=\"type-subtitle\">\u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041c\u0420\u0420 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 W-\u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u043a \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/p>\n      <\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"type-specs\">\n      <span class=\"spec-pill\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432: \u0410\u043b\u044e\u043c\u043e\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0438\u043b\u0438 \u0444\u0443\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">pH: 2-4<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">MRR (W): 2,000-5,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u041e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c: H\u2082O\u2082, Fe(NO\u2083)\u2083, KIO\u2083<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432: <span class=\"badge medium\">\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439<\/span><\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <p>\n    \u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f CMP \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 W-\u0440\u0430\u0437\u044a\u0435\u043c\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0441\u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 CVD-\u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u0430 \u0432 \u0432\u044b\u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u044f\u0445. \u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 W CMP \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 FEOL\/MOL (middle-of-line) \u0438 \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 CMP \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432, \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u0430 (7,5 \u043f\u043e \u041c\u043e\u043e\u0441\u0443) \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0441\u043a\u043b\u043e\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0425\u0438\u043c\u0438\u044f \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440<\/h3>\n  <p>\n    \u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043a\u0438\u0441\u043b\u044b\u0435 (pH 2-4), \u0438 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 W \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c\u044b\u0439 \u0442\u0443\u043d\u0433\u0441\u0442\u0430\u0442 (WO\u2083 \/ WO\u2084\u00b2-) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438. \u0418\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u0431\u044b\u043b \u043d\u0438\u0442\u0440\u0430\u0442 \u0436\u0435\u043b\u0435\u0437\u0430(III) (Fe(NO\u2083)\u2083), \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0438 \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u0430\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0439 MRR W. \u041f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0438\u0441\u044c \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 (H\u2082O\u2082) \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0438\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u044d\u043a\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u0430\u044f \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430, \u0445\u043e\u0442\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u044d\u043a\u0432\u0438\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c pH. \u0419\u043e\u0434\u0430\u0442 \u043a\u0430\u043b\u0438\u044f (KIO\u2083) \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0440\u0438\u0441\u043a\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.\n  <\/p>\n  <p>\n    \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f W CMP \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0440\u043e\u043c\u0438\u0441\u0441: \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432 \u0438\u0437 \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c\u0430 (Al\u2082O\u2083) \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c W MRR \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d \u0438 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0443\u0434\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0443 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 CMP. \u041e\u043a\u0430\u043c\u0435\u043d\u0435\u0432\u0448\u0438\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043c MRR. \u0412 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f\u0445 W CMP \u0432\u0441\u0435 \u0447\u0430\u0449\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0441 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0438 \u0434\u0438\u0441\u043f\u0435\u0440\u0433\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e MRR \u0431\u0435\u0437 \u0443\u0449\u0435\u0440\u0431\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c\u0430.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u041f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u044f<\/h3>\n  <p>\n    \u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 CMP \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c\/\u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435 Ti\/TiN, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u0434 W-\u043d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c. \u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c W:TiN \u0432 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 W CMP \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 10:1-20:1 - \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e, \u0447\u0435\u043c \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f STI, \u043d\u043e \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e, \u0443\u0447\u0438\u0442\u044b\u0432\u0430\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0443\u044e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 TiN \u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u0430\u0433\u043e\u0432. \u041f\u0440\u0438 \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u043c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 TiN \u043e\u0431\u043d\u0430\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0434 \u043d\u0438\u043c \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 ILD \u0438 \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0437\u0430\u043c\u044b\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0441 \u0441\u043e\u0441\u0435\u0434\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438.\n  <\/p>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 7: BARRIER SLURRY\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"barrier-slurry\">7. \u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440 \/ \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430 CMP Slurry<\/h2>\n\n  <div class=\"type-card barrier\">\n    <div class=\"type-header\">\n      <div class=\"type-icon\">\ud83d\udfe2<\/div>\n      <div>\n        <p class=\"type-title\">\u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440 \/ \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430 CMP Slurry<\/p>\n        <p class=\"type-subtitle\">\u042d\u0442\u0430\u043f 2 Cu CMP: \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0442\u0440\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e<\/p>\n      <\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"type-specs\">\n      <span class=\"spec-pill\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432: \u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (\u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f)<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">pH: 7-10<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">MRR (Ta): 400-800 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c: ~1:1:1 (Cu:Ta:SiO\u2082)<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432: <span class=\"badge medium\">\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439<\/span><\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <p>\n    \u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 CMP-\u0448\u043b\u0430\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 Cu dual damascene CMP. \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0430 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a - \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f Cu, \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 TaN\/Ta \u0438 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 Cu. \u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0442\u044c \u0432\u0441\u0435 \u0442\u0440\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 (Cu, TaN, SiO\u2082) \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439, \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u043b\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 \u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u0435\u0439 \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445 \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0430.\n  <\/p>\n\n  <p>\n    \u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0443\u043b\u044c\u0442\u0438\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043a \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0443, \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435 \u0434\u0438\u0448\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f (&lt;30 \u043d\u043c) \u0438 \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 (&lt;20 \u043d\u043c) \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 - \u043e\u0434\u043d\u0430 \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447 \u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f CMP. \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430 \u043a \u0442\u0438\u043f\u0443 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430 - \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043e\u0442 TEOS SiO\u2082 \u043a \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430\u043c \u0441 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u041a (ULK) \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430, \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.\n  <\/p>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 8: POLYSILICON SLURRY\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"polysilicon-slurry\">8. \u0428\u043b\u0430\u043c\u044b \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e CMP<\/h2>\n\n  <div class=\"type-card poly\">\n    <div class=\"type-header\">\n      <div class=\"type-icon\">\ud83d\udd34<\/div>\n      <div>\n        <p class=\"type-title\">\u0428\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f CMP<\/p>\n        <p class=\"type-subtitle\">\u0417\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a DRAM<\/p>\n      <\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"type-specs\">\n      <span class=\"spec-pill\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432: \u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">pH: 10-12<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">MRR (\u043f\u043e\u043b\u0438-Si): 800-2,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0421\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c: \u041f\u043e\u043b\u0438:\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 &gt;50:1<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432: <span class=\"badge low\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439<\/span><\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <p>\n    \u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f CMP \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f FEOL: \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u041a\u041c\u041e\u041f-\u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0435 (\u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \"\u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440-\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0439 high-k\/\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\") \u0438 CMP \u043a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 DRAM. \u0412 \u043e\u0431\u043e\u0438\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 (poly-Si), \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u044f\u0441\u044c \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043d\u0430 \u043d\u0438\u0436\u0435\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u0445 \u0438\u043b\u0438 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430\u0445 SiO\u2082 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430.\n  <\/p>\n  <p>\n    \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0438:\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 (&gt;50:1) \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0442 \u0440\u041d \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0435 \u0432 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438-Si \u0438 SiO\u2082 \u0432 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430\u0445 \u0432 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u043c \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u043c \u0438\u0437 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0438 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u043a \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0430\u043c\u0438\u043d\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u0447\u0435\u0442\u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u043c\u043c\u043e\u043d\u0438\u044f, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0443\u044e \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438-Si. \u041f\u0440\u0438 pH 10-12 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0438-Si \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0434 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432, \u0447\u0435\u043c \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 SiO\u2082, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0435\u0441\u0442\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u043f\u043e\u0434\u0431\u043e\u0440\u0435 \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u043a.\n  <\/p>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 9: EMERGING TYPES\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"emerging-types\">9. \u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f CMP: \u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442, \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432<\/h2>\n\n  <p>\n    \u041f\u043e \u043c\u0435\u0440\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043a 3-\u043d\u043c \u0443\u0437\u043b\u0443 \u0438 \u0434\u0430\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u0432 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439. \u042d\u0442\u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440 \u0434\u043b\u044f CMP. \u041d\u0430\u0448\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044f \u043e <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-for-advanced-nodes-5nm-3nm-2nm-beyond-technical-challenges-innovations\/\">\u0428\u043b\u0430\u043c\u044b CMP \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432: \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0438 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438<\/a> \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430 \u0442\u0435\u043c\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u043e\u0439.\n  <\/p>\n\n  <h3>9.1 \u0428\u043b\u0430\u043c \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 CMP<\/h3>\n\n  <div class=\"type-card cobalt\">\n    <div class=\"type-header\">\n      <div class=\"type-icon\">\ud83e\ude77<\/div>\n      <div>\n        <p class=\"type-title\">\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 CMP Slurry<\/p>\n        <p class=\"type-subtitle\">\u041a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u044b MOL \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u226410 \u043d\u043c<\/p>\n      <\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"type-specs\">\n      <span class=\"spec-pill\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432: \u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">pH: 4-8<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0421\u0442\u0430\u0442\u0443\u0441: \u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e (\u226410 \u043d\u043c)<\/span>\n      <span class=\"spec-pill\">\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432: <span class=\"badge high\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/span><\/span>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <p>\n    \u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043b \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u0445 MOL \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u0445 10 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435 (Intel 10 \u043d\u043c\/7 \u043d\u043c, Samsung SF4\/SF3, TSMC N7\/N5), \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445 \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0438\u043c\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u043c \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 20 \u043d\u043c. \u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f Co CMP \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0443: \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0435\u043d \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 pH, \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0435 \u0441 TiN \u0438\u043b\u0438 SiO\u2082 \u0438 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043d \u043a \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f - \u043d\u0435\u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u043f\u0438\u0442\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0430 \u043d\u0435\u0434\u043e\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438. \u0414\u043b\u044f \u0443\u0441\u043f\u0435\u0448\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 Co CMP \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f H\u2082O\u2082, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0435\u043b\u0430\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0438\u0434\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c Co\u00b2\u207a\/Co\u00b3\u207a \u0432 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435.\n  <\/p>\n\n  <h3>9.2 \u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f CMP<\/h3>\n  <p>\n    \u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 (Ru) \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c, \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u0445 3 \u043d\u043c \u0438 \u0432\u044b\u0448\u0435 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e (7,1 \u043c\u043a\u041e\u043c-\u0441\u043c), \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0435\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u0438\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 ALD-\u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435 \u22641 \u043d\u043c. \u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f Ru CMP \u0432\u0441\u0435 \u0435\u0449\u0435 \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0443 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432: \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f (RuO\u2082) \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e, \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e MRR \u0431\u0435\u0437 \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u0447\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439. \u0412 \u0442\u0435\u043a\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e pH \u0441\u043e \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 - \u043f\u0435\u0440\u0439\u043e\u0434\u0430\u0442\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0430\u0442\u043e\u043c \u0430\u043c\u043c\u043e\u043d\u0438\u044f.\n  <\/p>\n\n  <h3>9.3 \u0428\u043b\u0430\u043c\u044b \u0431\u0435\u0437 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432 (AFS)<\/h3>\n  <p>\n    \u0414\u043b\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443 \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043e\u043a \u0444\u043e\u0442\u043e\u043c\u0430\u0441\u043e\u043a EUV, \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d SOI \u0438 \u0444\u0438\u043d\u0438\u0448\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 ULK \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 2 \u043d\u043c, \u0431\u0435\u0437\u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0438, \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0435\u0434\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043e\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,1 \u043d\u043c Ra \u0441 \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438. \u0424\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u044b AFS \u0436\u0435\u0440\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 MRR (\u0442\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c &lt;200 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d) \u0440\u0430\u0434\u0438 \u043f\u0440\u0430\u043a\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437\u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430 \u0444\u0438\u043d\u0438\u0448\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438, \u0430 \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0430\u0441\u0441\u044b.\n  <\/p>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 10: FULL COMPARISON TABLE\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"comparison-table\">10. \u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0430 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP<\/h2>\n\n  <p>\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0439\u0442\u0435 \u044d\u0442\u0443 \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u043e\u0447\u043d\u0443\u044e \u0442\u0430\u0431\u043b\u0438\u0446\u0443 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP \u043f\u043e \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0432 \u0435\u0434\u0438\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n\n  <div class=\"cmp-table-wrap\">\n    <table class=\"cmp-table\">\n      <thead>\n        <tr>\n          <th>\u0422\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430<\/th>\n          <th>\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432<\/th>\n          <th>pH<\/th>\n          <th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c MRR<\/th>\n          <th>\u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u0430\u044f \u0438\u0437\u0431\u0438\u0440\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/th>\n          <th>\u0420\u0438\u0441\u043a \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/th>\n          <th>\u041f\u0435\u0440\u0432\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441<\/th>\n        <\/tr>\n      <\/thead>\n      <tbody>\n        <tr>\n          <td><strong>\u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \/ ILD<\/strong><\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 SiO\u2082<\/td>\n          <td>10-11<\/td>\n          <td>1,000-3,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n          <td>SiO\u2082:Si\u2083N\u2084 ~5:1<\/td>\n          <td><span class=\"badge low\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439<\/span><\/td>\n          <td>\u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0414\u0412\u0421 (BEOL)<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>STI<\/strong><\/td>\n          <td>\u0426\u0435\u0440\u0438\u044f (CeO\u2082)<\/td>\n          <td>5-8<\/td>\n          <td>1,500-4,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n          <td>SiO\u2082:Si\u2083N\u2084 &gt;50:1<\/td>\n          <td><span class=\"badge medium\">\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439<\/span><\/td>\n          <td>\u0418\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 FEOL<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>Cu Bulk<\/strong><\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 SiO\u2082<\/td>\n          <td>3-5<\/td>\n          <td>3,000-8,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n          <td>Cu:TaN &gt;100:1<\/td>\n          <td><span class=\"badge high\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/span><\/td>\n          <td>\u0414\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0430\u043c\u0430\u0441\u043a\u0435\u043d Cu \u0448\u0430\u0433 1<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440<\/strong><\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 SiO\u2082 (\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439)<\/td>\n          <td>7-10<\/td>\n          <td>400-800 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d (Ta)<\/td>\n          <td>~1:1:1 (Cu:Ta:\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434)<\/td>\n          <td><span class=\"badge medium\">\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439<\/span><\/td>\n          <td>Cu \u0434\u0432\u043e\u0439\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0430\u043c\u0430\u0441\u043a\u0435\u043d \u0448\u0430\u0433 2<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u0412\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c<\/strong><\/td>\n          <td>Al\u2082O\u2083 \u0438\u043b\u0438 SiO\u2082<\/td>\n          <td>2-4<\/td>\n          <td>2,000-5,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n          <td>W:TiN ~10-20:1<\/td>\n          <td><span class=\"badge medium\">\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439<\/span><\/td>\n          <td>\u0428\u0442\u0435\u043a\u0435\u0440\/\u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 (MOL)<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u041f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439<\/strong><\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 SiO\u2082<\/td>\n          <td>10-12<\/td>\n          <td>800-2,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n          <td>\u041f\u043e\u043b\u0438:\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 &gt;50:1<\/td>\n          <td><span class=\"badge low\">\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439<\/span><\/td>\n          <td>\u0417\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440 CMP \/ \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0430 DRAM<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442<\/strong><\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 SiO\u2082<\/td>\n          <td>4-8<\/td>\n          <td>1,000-3,000 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n          <td>Co:TiN \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f<\/td>\n          <td><span class=\"badge high\">\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439<\/span><\/td>\n          <td>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 MOL (\u226410 \u043d\u043c)<\/td>\n        <\/tr>\n        <tr>\n          <td><strong>\u0411\u0435\u0437 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430<\/strong><\/td>\n          <td>\u041d\u0435\u0442<\/td>\n          <td>\u0412\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f<\/td>\n          <td>&lt;200 \u00c5\/\u043c\u0438\u043d<\/td>\n          <td>\u041d\/\u0414<\/td>\n          <td><span class=\"badge low\">\u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0443\u043c<\/span><\/td>\n          <td>\u041e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \/ \u0437\u0430\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f EUV<\/td>\n        <\/tr>\n      <\/tbody>\n    <\/table>\n  <\/div>\n\n  <!-- Mid-article CTA -->\n  <div class=\"cmp-cta\">\n    <h3>\u0418\u0449\u0435\u0442\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP \u0434\u043b\u044f \u0432\u0430\u0448\u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430?<\/h3>\n    <p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Jizhi Electronic Technology \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP \u0434\u043b\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432, STI, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0438 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. \u041d\u0430\u0448\u0438 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b \u043f\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u044b \u043e\u0431\u0441\u0443\u0434\u0438\u0442\u044c \u0432\u0430\u0448\u0438 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0443.<\/p>\n    <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/contact\/\">\u0417\u0430\u043f\u0440\u043e\u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0430 \u2192<\/a>\n  <\/div>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 11: SELECTION GUIDE\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"selection-guide\">11. \u041a\u0430\u043a \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u041a\u041c\u041f: \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439<\/h2>\n\n  <p>\n    \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u043f\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 CMP \u043f\u0440\u043e\u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043f\u043e \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439. \u041f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043d\u0438\u0436\u0435 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u043c-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0430\u043c \u0438 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430\u043c \u043f\u043e \u0437\u0430\u043a\u0443\u043f\u043a\u0430\u043c \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0438\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u0432 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0428\u0430\u0433 1 - \u041e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u0443\u044e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0443 \u0438 \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u0439<\/h3>\n  <p>\n    \u0426\u0435\u043b\u0435\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430 - \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043e\u0442\u043f\u0440\u0430\u0432\u043d\u0430\u044f \u0442\u043e\u0447\u043a\u0430. \u0423\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u0442\u0435, \u043a\u0430\u043a\u0430\u044f \u0438\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, TEOS SiO\u2082 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 HDP SiO\u2082 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 \u0441\u043f\u0438\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 - \u043a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u0438\u0437 \u043d\u0438\u0445 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443), \u0438 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u0439 \u0441 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u044f \u043d\u0435\u0442, \u043f\u043b\u0430\u043d\u0438\u0440\u0443\u0439\u0442\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0443 \u043f\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0441 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0428\u0430\u0433 2 - \u041e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h3>\n  <p>\n    \u041c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u0430\u044f \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u044f \u0438 \u0435\u0435 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b\u0435 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u043a\u0430\u0437\u0430\u043d\u044b \u0432 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430. \u0420\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0439\u0442\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u043e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u043c\u043e\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e 10-30%). \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b STI \u0441 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044c \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 100:1, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u044b \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0418\u041b\u0414 \u0431\u0435\u0437 \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u044f \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 - \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0428\u0430\u0433 3 - \u0423\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a MRR \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h3>\n  <p>\n    \u0420\u0430\u0441\u0441\u0447\u0438\u0442\u0430\u0439\u0442\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 MRR, \u0438\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f \u0438\u0437 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0441\u044a\u0435\u043c\u0430 \u0438 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u0430 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430 CMP. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 MRR \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438, \u043d\u043e \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0438\u0442\u044c WIWNU \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0440\u0438\u0441\u043a \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0423\u0431\u0435\u0434\u0438\u0442\u0435\u0441\u044c, \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 MRR \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u044b\u0445 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u044b CMP-\u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0428\u0430\u0433 4 - \u041e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h3>\n  <p>\n    \u041e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u0435\u0441\u044c \u043a \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d, \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 (LPC) \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u043e\u0432 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438. \u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b CMP (Cu, Co) \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0426\u0435\u0440\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0438\u043a\u0435\u0440 (STI) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0427\u041c\u041f \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f. \u042d\u0442\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u0430\u0448 \u0441\u043f\u0438\u0441\u043e\u043a \u0448\u043b\u0438\u043a\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. \u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-defects-root-cause-analysis-quality-control-complete-engineering-guide\/\">\u0410\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP<\/a>.\n  <\/p>\n\n  <h3>\u0428\u0430\u0433 5 - \u041e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043e\u0439<\/h3>\n  <p>\n    \u041d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0442\u0438\u043f\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0441\u043e\u0431\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044e: \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b \u0438\u0437 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f \u0438 \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0438 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u0435\u0435 \u043e\u0441\u0435\u0434\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0435\u0446\u0438\u0440\u043a\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0443\u0440\u043e\u0432; H\u2082O\u2082-\u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u0449\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b Cu \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b (&lt;24 \u0447\u0430\u0441\u043e\u0432 \u0432 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0445 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0434\u043e\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f) \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u043f\u043e\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0441 N\u2082-\u043e\u0434\u0435\u044f\u043b\u043e\u043c; \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u044b\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u044b W \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0443\u0431\u043e\u043a \u0438 \u0444\u0438\u0442\u0438\u043d\u0433\u043e\u0432 (PVDF, PFA). \u041e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0449\u0443\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0432\u0430\u0448\u0435\u0439 \u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0438, \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435 \u0447\u0435\u043c \u043e\u043a\u043e\u043d\u0447\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u0442\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430. \u0421\u043c. \u043d\u0430\u0448\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-filters-storage-handling-complete-engineering-guide\/\">\u0424\u0438\u043b\u044c\u0442\u0440\u044b \u0434\u043b\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP, \u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430<\/a> \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0438\u043d\u0444\u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043f\u043e \u0442\u0438\u043f\u0443 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430.\n  <\/p>\n\n  <div class=\"matrix-grid\">\n    <div class=\"matrix-card\">\n      <div class=\"mc-label\">\u0426\u0435\u043b\u044c: SiO\u2082 (ILD)<\/div>\n      <div class=\"mc-value\">\u2192 \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c<br><small style=\"font-weight:400;font-size:13px;color:#64748b;\">\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f, \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439<\/small><\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"matrix-card\">\n      <div class=\"mc-label\">\u0426\u0435\u043b\u044c: SiO\u2082, \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 Si\u2083N\u2084<\/div>\n      <div class=\"mc-value\">\u2192 \u0428\u043b\u0430\u043c STI<br><small style=\"font-weight:400;font-size:13px;color:#64748b;\">\u0426\u0435\u0440\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439<\/small><\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"matrix-card\">\n      <div class=\"mc-label\">\u0426\u0435\u043b\u044c: Cu (\u043d\u0430\u0441\u044b\u043f\u043d\u043e\u0439)<\/div>\n      <div class=\"mc-value\">\u2192 Cu Bulk Slurry<br><small style=\"font-weight:400;font-size:13px;color:#64748b;\">\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c + H\u2082O\u2082, \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439<\/small><\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"matrix-card\">\n      <div class=\"mc-label\">\u0426\u0435\u043b\u044c: \u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440 TaN\/Ta<\/div>\n      <div class=\"mc-value\">\u2192 \u0411\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f<br><small style=\"font-weight:400;font-size:13px;color:#64748b;\">\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c, \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043d\u0435\u0439\u0442\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439<\/small><\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"matrix-card\">\n      <div class=\"mc-label\">\u0426\u0435\u043b\u044c: \u0412\u0438\u043b\u043a\u0430<\/div>\n      <div class=\"mc-value\">\u2192 W \u0428\u043b\u0430\u043c<br><small style=\"font-weight:400;font-size:13px;color:#64748b;\">\u0413\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c\/\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c, \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0439<\/small><\/div>\n    <\/div>\n    <div class=\"matrix-card\">\n      <div class=\"mc-label\">\u0426\u0435\u043b\u044c: \u0417\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440 \u0438\u0437 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0438\u043b\u043e\u043a\u0441\u0430\u043d\u0430<\/div>\n      <div class=\"mc-value\">\u2192 \u0428\u043b\u0430\u043c \u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0438<br><small style=\"font-weight:400;font-size:13px;color:#64748b;\">\u041a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c, \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439<\/small><\/div>\n    <\/div>\n  <\/div>\n\n  <!-- \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\n       SECTION 12: FAQ\n  \u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500\u2500 -->\n  <h2 id=\"faq\">12. \u0427\u0430\u0441\u0442\u043e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0432\u0430\u0435\u043c\u044b\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b<\/h2>\n\n  <div class=\"cmp-faq\" itemscope itemtype=\"https:\/\/schema.org\/FAQPage\">\n\n    <div class=\"faq-item\" itemscope itemprop=\"mainEntity\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Question\">\n      <p class=\"faq-question\" itemprop=\"name\">\u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044e CMP \u0434\u043b\u044f \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a?<\/p>\n      <div class=\"faq-answer\" itemscope itemprop=\"acceptedAnswer\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Answer\">\n        <div itemprop=\"text\">\u0412 \u043e\u0431\u0449\u0435\u043c, \u043d\u0435\u0442 - \u043f\u043e\u043f\u044b\u0442\u043a\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044e \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0438\u043f\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043d\u0435\u0443\u0434\u0430\u0447 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 CMP. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d \u043f\u043e\u0434 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438. \u0422\u0435\u043c \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435, \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0441\u043e\u0432\u043f\u0430\u0434\u0430\u044e\u0442: \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043a\u0430\u043a SiO\u2082, \u0442\u0430\u043a \u0438 Si\u2083N\u2084 \u0432 \u0442\u0435\u0445 \u0441\u043b\u0443\u0447\u0430\u044f\u0445, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c. \u201c\u0423\u043d\u0438\u0432\u0435\u0440\u0441\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435\u201d \u0438\u043b\u0438 \u201c\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435\u201d \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b, \u043d\u043e \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0440\u043e\u043c\u0438\u0441\u0441 \u0432 MRR \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u043e \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438.<\/div>\n      <\/div>\n    <\/div>\n\n    <div class=\"faq-item\" itemscope itemprop=\"mainEntity\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Question\">\n      <p class=\"faq-question\" itemprop=\"name\">\u0412 \u0447\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0435\u0439 STI \u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0435\u0439?<\/p>\n      <div class=\"faq-answer\" itemscope itemprop=\"acceptedAnswer\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Answer\">\n        <div itemprop=\"text\">\u041a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u0438\u043f\u0435 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 SiO\u2082:Si\u2083N\u2084 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 5-10:1. \u0412 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 STI \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432 \u0438\u0437 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0446\u0435\u0440\u0438\u044f (\u0446\u0435\u0440\u0438\u044f), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u0443\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441 SiO\u2082, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442 50:1 \u0434\u043e 200:1. \u0422\u0430\u043a\u0430\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f CMP STI, \u0433\u0434\u0435 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u0439 \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u0431\u044b\u0442\u044c \u0438\u0437\u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d \u043d\u0430 &lt;2-3 \u043d\u043c \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430. \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f STI \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u043e \u0431\u044b \u043a \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u044f \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432.<\/div>\n      <\/div>\n    <\/div>\n\n    <div class=\"faq-item\" itemscope itemprop=\"mainEntity\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Question\">\n      <p class=\"faq-question\" itemprop=\"name\">\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0434\u043d\u043e\u0439 CMP \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0432\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438?<\/p>\n      <div class=\"faq-answer\" itemscope itemprop=\"acceptedAnswer\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Answer\">\n        <div itemprop=\"text\">\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432, \u043f\u043e\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0443 \u0446\u0435\u043b\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438. \u042d\u0442\u0430\u043f 1 (\u0448\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0434\u0438) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e Cu:\u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440 (&gt;100:1) \u0434\u043b\u044f \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u043e \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0433\u043e \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430 TaN\/Ta - \u0448\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0437\u0434\u0435\u0441\u044c, \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0442\u044c \u043c\u0435\u0434\u044c \u0441\u043b\u0438\u0448\u043a\u043e\u043c \u043c\u0435\u0434\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438 \u043d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e. \u042d\u0442\u0430\u043f 2 (\u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e Cu, TaN \u0438 SiO\u2082 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0435\u0439\u0441\u044f \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 (\u0434\u0438\u0448\u0438\u043d\u0433) - \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c Cu \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u0430 \u0431\u044b \u043a \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0434\u0438\u0448\u0438\u043d\u0433 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u043e\u043c \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u0437 \u0434\u0432\u0443\u0445 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 - \u044d\u0442\u043e \u043d\u0435 \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430, \u0430 \u0444\u0438\u0437\u0438\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/div>\n      <\/div>\n    <\/div>\n\n    <div class=\"faq-item\" itemscope itemprop=\"mainEntity\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Question\">\n      <p class=\"faq-question\" itemprop=\"name\">\u041e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438 \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 CMP \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445?<\/p>\n      <div class=\"faq-answer\" itemscope itemprop=\"acceptedAnswer\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Answer\">\n        <div itemprop=\"text\">\u0414\u0430 - \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0439 CMP \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u0435\u0441\u044c\u043c\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u0430\u0436\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043d\u043e\u0434\u0430\u0445, \u0445\u043e\u0442\u044f \u043f\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c \u0435\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f. \u0412 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u043b \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u0445 MOL \u043d\u0430 10 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 (Intel, TSMC, Samsung), \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c \u043f\u043e-\u043f\u0440\u0435\u0436\u043d\u0435\u043c\u0443 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430\u0445 \u0431\u0438\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u0438\u043d\u0438\u0439 DRAM, \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0432 3D NAND \u0438 \u043d\u0435\u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432. \u041a\u0440\u043e\u043c\u0435 \u0442\u043e\u0433\u043e, \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c \u043d\u0430\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432\u0441\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 3D NAND \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f (HARC), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c\u0438 \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e\u0440\u0430\u0441\u0442\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0441\u0435\u0433\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 CMP. \u041e\u0436\u0438\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f, \u0447\u0442\u043e \u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043e 2030 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 3D NAND, \u043d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442.<\/div>\n      <\/div>\n    <\/div>\n\n    <div class=\"faq-item\" itemscope itemprop=\"mainEntity\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Question\">\n      <p class=\"faq-question\" itemprop=\"name\">\u041a\u0430\u043a \u0443\u0437\u043d\u0430\u0442\u044c, \u043a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u0434\u043b\u044f \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0437\u043b\u0430?<\/p>\n      <div class=\"faq-answer\" itemscope itemprop=\"acceptedAnswer\" itemtype=\"https:\/\/schema.org\/Answer\">\n        <div itemprop=\"text\">\u041e\u0442\u043f\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u043e\u0439 \u0432\u0441\u0435\u0433\u0434\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430: \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430, \u0441\u0442\u043e\u043f-\u0441\u043b\u043e\u0439, \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0439\u0441\u044f \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438. \u0418\u0437 \u043d\u0438\u0445, \u043a\u0430\u043a \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043e, \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u044f\u0441\u043d\u0430 \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 (\u0441\u043c. \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0440\u0438\u043d\u044f\u0442\u0438\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435 11 \u0432\u044b\u0448\u0435). \u0412 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0430\u0445 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0438 \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u044f \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 2-3 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u0432-\u043a\u0430\u043d\u0434\u0438\u0434\u0430\u0442\u043e\u0432 \u043e\u0442 \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d (MRR, \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c), \u0437\u0430\u0442\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0443\u0437\u043e\u0440\u0447\u0430\u0442\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d (WIWNU, \u0434\u0438\u0448\u0438\u043d\u0433, \u044d\u0440\u043e\u0437\u0438\u044f, \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c) \u0438, \u043d\u0430\u043a\u043e\u043d\u0435\u0446, \u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430. \u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0441 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043a\u043b\u0430\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u043d\u0436\u0438\u043d\u0438\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0430 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0442\u044c \u0432\u0430\u0448\u0443 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u0442\u0444\u043e\u0440\u043c\u0443 \u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0443 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0446\u0438\u043a\u043b\u0430.<\/div>\n      <\/div>\n    <\/div>\n\n  <\/div>\n\n  <!-- Conclusion -->\n  <h2>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n  <p>\n    \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f CMP \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 CMP-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0442\u0438\u043f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 - \u043e\u0442 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0438 STI \u0434\u043e \u043c\u0435\u0434\u0438, \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u0430, \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u0430, \u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u0432 - \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u043e\u0442\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043f\u043e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u0438 \u043e\u0434\u0438\u043d \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0432\u0441\u0435\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0430 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430 CMP \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0442\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0441\u0431\u043e\u0435\u0432 \u0432 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438.\n  <\/p>\n  <p>\n    \u041f\u043e\u043d\u0438\u043c\u0430\u044f \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u043c\u043a\u0438, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u0442\u0438\u043f\u0430 \u0438 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0435\u0440\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430, \u0438\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435, \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u044b-\u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043a \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430 \u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f CMP \u0441 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0439 \u0443\u0432\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0441\u0447\u0435\u0440\u043f\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0438\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0431 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u0445 CMP-\u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 - \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u043a\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u043d\u0430\u0443\u043a\u0435 \u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430\u0445, \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0449\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0438 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0430 - \u0432\u0435\u0440\u043d\u0438\u0442\u0435\u0441\u044c \u043a \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0443 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/what-is-cmp-slurry-a-complete-guide-to-chemical-mechanical-planarization-slurry\/\">\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u0443 CMP<\/a>. \u0414\u043b\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0438\u0437\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u043a \u0441\u043c. \u043d\u0430\u0448\u0443 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u044e \u043e <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-slurry-composition-abrasives-chemical-additives-formulation-principles\/\">\u0421\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 CMP: \u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b, \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u044b \u0438 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u0443\u0440\u0430<\/a>.\n  <\/p>\n\n  <!-- Back to Pillar -->\n  <a class=\"back-to-pillar\" href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/what-is-cmp-slurry-a-complete-guide-to-chemical-mechanical-planarization-slurry\/\">\n    <span class=\"btp-icon\">\ud83c\udfe0<\/span>\n    <div class=\"btp-text\">\n      <span class=\"btp-label\">\u0427\u0430\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0438 CMP Slurry<\/span>\n      <span class=\"btp-title\">\u2190 \u041d\u0430\u0437\u0430\u0434 \u043a: \u0427\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u043e\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP? \u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e<\/span>\n    <\/div>\n  <\/a>\n\n\n\n<\/article>\n\n<!-- \u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\n     STRUCTURED DATA JSON-LD\n     Paste into <head> via Yoast \/ RankMath \/ plugin\n\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550\u2550 -->\n<script type=\"application\/ld+json\">\n{\n  \"@context\": \"https:\/\/schema.org\",\n  \"@graph\": [\n    {\n      \"@type\": \"Article\",\n      \"headline\": \"CMP Slurry Types Explained: Oxide, STI, Copper, Tungsten & More (2025)\",\n      \"description\": \"A complete guide to every type of CMP slurry \u2014 oxide ILD, STI, copper bulk and barrier, tungsten, polysilicon, cobalt, and abrasive-free. Includes full comparison table, selection framework, and process engineering tips.\",\n      \"author\": {\n        \"@type\": \"Organization\",\n        \"name\": \"Jizhi Electronic Technology Co., Ltd.\"\n      },\n      \"publisher\": {\n        \"@type\": \"Organization\",\n        \"name\": \"Jizhi Electronic Technology Co., Ltd.\",\n        \"logo\": {\n          \"@type\": \"ImageObject\",\n          \"url\": \"https:\/\/yourwebsite.com\/logo.png\"\n        }\n      },\n      \"datePublished\": \"2025-06-01\",\n      \"dateModified\": \"2025-06-01\",\n      \"mainEntityOfPage\": \"https:\/\/yourwebsite.com\/cmp-slurry-types\/\",\n      \"isPartOf\": {\n        \"@type\": \"WebPage\",\n        \"@id\": \"https:\/\/yourwebsite.com\/cmp-slurry-complete-guide\/\"\n      }\n    },\n    {\n      \"@type\": \"FAQPage\",\n      \"mainEntity\": [\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"What is the difference between STI slurry and standard oxide slurry?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"STI slurry uses cerium oxide (ceria) abrasive and achieves SiO\u2082:Si\u2083N\u2084 selectivity of 50:1 to 200:1, essential for stopping precisely on the nitride etch stop layer. Standard oxide slurry uses colloidal silica and achieves only 5\u201310:1 selectivity, which is insufficient for STI CMP at advanced nodes.\"\n          }\n        },\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"Why does copper CMP require two different slurries?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"Step 1 bulk Cu slurry needs >100:1 Cu:barrier selectivity for fast copper removal. Step 2 barrier slurry needs near-unity selectivity across Cu, TaN, and SiO\u2082 to minimize dishing and erosion. These requirements are mutually exclusive, requiring two different formulations in sequence.\"\n          }\n        },\n        {\n          \"@type\": \"Question\",\n          \"name\": \"Is tungsten CMP still relevant at advanced nodes?\",\n          \"acceptedAnswer\": {\n            \"@type\": \"Answer\",\n            \"text\": \"Yes. While cobalt has replaced tungsten in logic MOL contacts at 10nm and below, tungsten CMP remains essential for DRAM contacts, 3D NAND word line connections, and high-aspect-ratio fill applications. W slurry consumption is expected to grow through 2030 driven by 3D NAND expansion.\"\n          }\n        }\n      ]\n    },\n    {\n      \"@type\": \"BreadcrumbList\",\n      \"itemListElement\": [\n        {\n          \"@type\": \"ListItem\",\n          \"position\": 1,\n          \"name\": \"Home\",\n          \"item\": \"https:\/\/yourwebsite.com\/\"\n        },\n        {\n          \"@type\": \"ListItem\",\n          \"position\": 2,\n          \"name\": \"CMP Slurry Complete Guide\",\n          \"item\": \"https:\/\/yourwebsite.com\/cmp-slurry-complete-guide\/\"\n        },\n        {\n          \"@type\": \"ListItem\",\n          \"position\": 3,\n          \"name\": \"CMP Slurry Types\",\n          \"item\": \"https:\/\/yourwebsite.com\/cmp-slurry-types\/\"\n        }\n      ]\n    }\n  ]\n}\n<\/script>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Not all CMP slurries are created equal. Each semiconductor polishing step demands a uniquely formulated slurry \u2014 different abrasive chemistry, different pH, different selectivity profile. This guide breaks down every  &#8230;<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":1503,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[9,59],"tags":[],"class_list":["post-1465","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog","category-industry"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1465","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1465"}],"version-history":[{"count":7,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1465\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1564,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1465\/revisions\/1564"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1503"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1465"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1465"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1465"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}