{"id":1929,"date":"2026-04-30T14:30:13","date_gmt":"2026-04-30T06:30:13","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=1929"},"modified":"2026-04-30T15:05:39","modified_gmt":"2026-04-30T07:05:39","slug":"cmp-materials-for-advanced-nodes-below-14nm","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-materials-for-advanced-nodes-below-14nm\/","title":{"rendered":"\u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f CMP \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 (\u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 14 \u043d\u043c)"},"content":{"rendered":"<!-- JEEZ | Cluster 5: CMP Materials for Advanced Nodes (Below 14 nm) -->\r\n<p><style>\r\n.jz*,.jz *::before,.jz *::after{box-sizing:border-box;margin:0;padding:0}\r\n.jz{font-family:'Segoe UI',Arial,sans-serif;font-size:16px;line-height:1.8;color:#1a1a2e;max-width:900px;margin:0 auto}\r\n.jz-hero{background:linear-gradient(135deg,#0f2544 0%,#1a4a8a 55%,#0e7c86 100%);border-radius:12px;padding:56px 44px;margin-bottom:44px;position:relative;overflow:hidden}\r\n.jz-hero::before{content:'';position:absolute;top:-60px;right:-60px;width:260px;height:260px;border-radius:50%;background:rgba(255,255,255,0.05)}\r\n.jz-hero-label{display:inline-block;background:rgba(255,255,255,0.15);color:#a8d8ea;font-size:12px;font-weight:600;letter-spacing:.12em;text-transform:uppercase;padding:5px 14px;border-radius:20px;margin-bottom:18px}\r\n.jz-hero h1{font-size:2.2em;font-weight:800;color:#fff;line-height:1.25;margin-bottom:16px;position:relative;z-index:1}\r\n.jz-hero p{font-size:1.02em;color:#c8dff0;max-width:640px;position:relative;z-index:1}\r\n.jz-hero-meta{margin-top:24px;display:flex;gap:20px;flex-wrap:wrap;position:relative;z-index:1}\r\n.jz-hero-meta span{font-size:13px;color:#a8c8e8}\r\n.jz-toc{background:#f0f6ff;border-left:4px solid #1a4a8a;border-radius:0 10px 10px 0;padding:26px 30px;margin-bottom:48px}\r\n.jz-toc-title{font-size:.75em;font-weight:700;letter-spacing:.1em;text-transform:uppercase;color:#1a4a8a;margin-bottom:14px}\r\n.jz-toc ol{padding-left:20px}\r\n.jz-toc li{margin-bottom:6px;font-size:.94em}\r\n.jz-toc a{color:#1a4a8a;text-decoration:none}\r\n.jz-toc a:hover{color:#0e7c86;text-decoration:underline}\r\n.jz h2{font-size:1.6em;font-weight:800;color:#0f2544;margin:52px 0 16px;padding-bottom:10px;border-bottom:2px solid #e0ebff}\r\n.jz h3{font-size:1.2em;font-weight:700;color:#1a4a8a;margin:32px 0 12px}\r\n.jz h4{font-size:1.03em;font-weight:700;color:#0e7c86;margin:20px 0 8px}\r\n.jz p{margin-bottom:16px}\r\n.jz a{color:#1a4a8a;text-decoration:underline;text-underline-offset:3px}\r\n.jz a:hover{color:#0e7c86}\r\n.jz ul,.jz ol{padding-left:24px;margin-bottom:16px}\r\n.jz li{margin-bottom:7px}\r\n.jz-hl{background:linear-gradient(135deg,#e8f4fd,#f0fffe);border:1px solid #b8d9f5;border-radius:10px;padding:22px 26px;margin:26px 0}\r\n.jz-hl p:last-child{margin-bottom:0}\r\n.jz-warn{display:flex;gap:14px;background:#fffbf0;border:1px solid #f0c040;border-radius:10px;padding:18px 22px;margin:26px 0}\r\n.jz-warn-icon{font-size:20px;flex-shrink:0;margin-top:2px}\r\n.jz-warn-body{font-size:.93em;color:#4a3800}\r\n.jz-stats{display:grid;grid-template-columns:repeat(auto-fit,minmax(170px,1fr));gap:14px;margin:28px 0}\r\n.jz-stat{background:#fff;border:1px solid #dce8f8;border-radius:10px;padding:20px;text-align:center;box-shadow:0 2px 8px rgba(26,74,138,.06)}\r\n.jz-stat .n{font-size:1.9em;font-weight:800;color:#1a4a8a;line-height:1.1}\r\n.jz-stat .l{font-size:.8em;color:#556;margin-top:5px;line-height:1.4}\r\n.jz-grid2{display:grid;grid-template-columns:1fr 1fr;gap:18px;margin:26px 0}\r\n@media(max-width:640px){.jz-grid2{grid-template-columns:1fr}}\r\n.jz-card{background:#fff;border:1px solid #dce8f8;border-radius:10px;padding:20px;box-shadow:0 2px 8px rgba(26,74,138,.05)}\r\n.jz-card h4{margin-top:0}\r\n.jz-card ul{padding-left:16px}\r\n.jz-card li{font-size:.91em;color:#334;margin-bottom:5px}\r\n.jz-table-wrap{overflow-x:auto;margin:26px 0}\r\n.jz-table{width:100%;border-collapse:collapse;font-size:.91em}\r\n.jz-table thead tr{background:linear-gradient(90deg,#0f2544,#1a4a8a);color:#fff}\r\n.jz-table th{padding:12px 14px;text-align:left;font-weight:600;white-space:nowrap}\r\n.jz-table td{padding:10px 14px;border-bottom:1px solid #e4edf8;color:#334;vertical-align:top}\r\n.jz-table tbody tr:nth-child(even){background:#f5f9ff}\r\n.jz-table tbody tr:hover{background:#ebf3ff}\r\n.jz-fact{border-left:4px solid #0e7c86;padding:14px 20px;background:#f0fffe;border-radius:0 8px 8px 0;margin:22px 0;font-size:1em;color:#0f3a3a;font-style:italic}\r\n.jz-fact strong{font-style:normal;color:#064444}\r\n.jz-timeline{margin:28px 0}\r\n.jz-tl-item{display:flex;gap:18px;margin-bottom:20px}\r\n.jz-tl-dot{flex-shrink:0;width:14px;height:14px;border-radius:50%;background:#1a4a8a;margin-top:6px;position:relative}\r\n.jz-tl-dot::after{content:'';position:absolute;left:6px;top:14px;width:2px;height:calc(100% + 10px);background:#c8d8f0}\r\n.jz-tl-item:last-child .jz-tl-dot::after{display:none}\r\n.jz-tl-body{font-size:.94em}\r\n.jz-tl-body strong{color:#0f2544;display:block;margin-bottom:2px}\r\n.jz-cta{background:linear-gradient(135deg,#0f2544 0%,#1a4a8a 60%,#0e7c86 100%);border-radius:12px;padding:44px 36px;text-align:center;margin:56px 0 36px;position:relative;overflow:hidden}\r\n.jz-cta h2{font-size:1.6em;color:#fff;border:none;margin:0 0 12px;position:relative;z-index:1}\r\n.jz-cta p{color:#c8dff0;margin-bottom:24px;position:relative;z-index:1}\r\n.jz-btn{display:inline-block;background:#fff;color:#0f2544;font-weight:700;font-size:.93em;padding:12px 30px;border-radius:50px;text-decoration:none;transition:all .25s;position:relative;z-index:1;box-shadow:0 4px 14px rgba(0,0,0,.18)}\r\n.jz-btn:hover{background:#a8d8ea;color:#0f2544;transform:translateY(-1px)}\r\n.jz-btn-sec{display:inline-block;background:rgba(255,255,255,0.12);color:#e8f4ff;font-weight:600;font-size:.88em;padding:10px 24px;border-radius:50px;text-decoration:none;transition:all .25s;position:relative;z-index:1;border:1px solid rgba(255,255,255,0.3);margin-left:12px}\r\n.jz-btn-sec:hover{background:rgba(255,255,255,0.22);color:#fff}\r\n.jz-tags{display:flex;flex-wrap:wrap;gap:7px;margin:20px 0}\r\n.jz-tag{background:#e8f2ff;color:#1a4a8a;font-size:.77em;font-weight:600;padding:4px 11px;border-radius:20px;border:1px solid #c0d8f5}\r\n.jz-divider{border:none;border-top:1px solid #e0ebff;margin:38px 0}\r\n.jz-pillar-link{display:inline-flex;align-items:center;gap:8px;background:#e8f2ff;border:1px solid #b8d5f5;border-radius:8px;padding:10px 18px;text-decoration:none;color:#1a4a8a;font-size:.9em;font-weight:600;margin:10px 0 24px;transition:all .2s}\r\n.jz-pillar-link:hover{background:#d0e8ff;border-color:#1a4a8a}\r\n<\/style><\/p>\r\n<div class=\"jz\">\r\n<div class=\"jz-hero\">\r\n<div class=\"jz-hero-label\">\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e JEEZ - \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b CMP<\/div>\r\n<p>\u0412\u0441\u0435\u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043b\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f CMP \u0434\u043b\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 FinFET, Gate-All-Around, 3D NAND \u0438 3D-IC, \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043a, \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u0443\u044e \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u0441\u043a\u043b\u0435\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e\u0441\u044f \u0434\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0443\u044e \u043a\u0430\u0440\u0442\u0443 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043e 2030 \u0433\u043e\u0434\u0430.<\/p>\r\n<div class=\"jz-hero-meta\">\ud83d\udcc5 \u041e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043e \u0432 \u0430\u043f\u0440\u0435\u043b\u0435 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430\u23f1 \u0412\u0440\u0435\u043c\u044f \u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f: ~22 min\u270d\ufe0f \u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0435\u0434\u0430\u043a\u0446\u0438\u044f JEEZ<\/div>\r\n<\/div>\r\n<a class=\"jz-pillar-link\" href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/What-Are-CMP-Materials-Complete-Guide\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener noreferrer\">\u2190 \u0412\u0435\u0440\u043d\u0443\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c CMP: \u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e<\/a><nav class=\"jz-toc\" aria-label=\"\u041e\u0433\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\">\r\n<div class=\"jz-toc-title\">\ud83d\udccb \u041e\u0433\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/div>\r\n<ol>\r\n<li><a href=\"#an-intro\">\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435\u0433\u043e \u043e\u0442 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 CMP<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#finfet\">\u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b CMP \u0432 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 FinFET (14-7 \u043d\u043c)<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#gaa\">\u0417\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440 \u043d\u0430 \u0432\u0441\u044e \u0434\u043b\u0438\u043d\u0443 (GAA) \u0438 CMP \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 3 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#cobalt\">\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 CMP: \u0445\u0438\u043c\u0438\u044f, \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#ruthenium\">\u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 CMP: \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#molybdenum\">\u041c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d CMP \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 GAA<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#lowk\">\u0423\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a CMP: \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#3dnand\">CMP \u0434\u043b\u044f 3D NAND: \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#3dic\">3D-IC \u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435: \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0441\u0443\u0431\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#roadmap\">\u0414\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f \u043a\u0430\u0440\u0442\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 CMP: 2026-2030 \u0433\u0433.<\/a><\/li>\r\n<li><a href=\"#faq\">\u0427\u0410\u0421\u0422\u041e \u0417\u0410\u0414\u0410\u0412\u0410\u0415\u041c\u042b\u0415 \u0412\u041e\u041f\u0420\u041e\u0421\u042b<\/a><\/li>\r\n<\/ol>\r\n<\/nav>\r\n<section id=\"an-intro\">\r\n<h2>1. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0443\u0437\u043b\u044b \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043e\u0442 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 CMP<\/h2>\r\n<p>\u041f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u041a\u041c\u041e\u041f \u043a FinFET, \u0430 \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0438 \u043a \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u043c \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c Gate-All-Around (GAA) \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b \u043d\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u043e \u043a \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 - \u043e\u043d \u043a\u0430\u0440\u0434\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0438\u043b \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u044c CMP. \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0441\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443 \u0448\u0430\u0433\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u0432\u044b\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b \u0434\u043b\u044f CMP \u0437\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044b \u0438\u0445 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439.<\/p>\r\n<div class=\"jz-stats\">\r\n<div class=\"jz-stat\">\r\n<div class=\"n\">&lt;5 \u043d\u043c<\/div>\r\n<div class=\"l\">\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b \u0432 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043d\u0430 \u0430\u043f\u0440\u0435\u043b\u044c 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430<\/div>\r\n<\/div>\r\n<div class=\"jz-stat\">\r\n<div class=\"n\">60+<\/div>\r\n<div class=\"l\">\u042d\u0442\u0430\u043f\u044b \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 CMP \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0432 \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0435 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 &lt;10 \u043f\u0440\u0438 180 \u043d\u043c<\/div>\r\n<\/div>\r\n<div class=\"jz-stat\">\r\n<div class=\"n\">0,3 \u043d\u043c<\/div>\r\n<div class=\"l\">\u041c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 Ra \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0427\u041c\u041f \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f<\/div>\r\n<\/div>\r\n<div class=\"jz-stat\">\r\n<div class=\"n\">5+<\/div>\r\n<div class=\"l\">\u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432 BEOL \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 28 \u043d\u043c \u0438 3 \u043d\u043c \u043d\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438<\/div>\r\n<\/div>\r\n<\/div>\r\n<p>\u0422\u0440\u0438 \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0438\u0437\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0432\u0438\u043d\u0443\u0442\u044b\u0439 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 CMP \u043a\u0430\u0442\u0435\u0433\u043e\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0435\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0437\u0440\u0435\u043b\u044b\u0439 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 CMP:<\/p>\r\n<ul>\r\n<li><strong>\u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u044b \u043d\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435:<\/strong> \u041f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 7 \u043d\u043c \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u044b \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438. \u0428\u0430\u0433 CMP, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0446\u0435\u043b\u044c \u043d\u0430 5 \u043d\u043c \u043f\u0440\u0438 28 \u043d\u043c, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0434\u0440\u0430\u0436\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0442\u0430\u043a\u0430\u044f \u0436\u0435 \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0438 3 \u043d\u043c \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0443\u043d\u0438\u0447\u0442\u043e\u0436\u0438\u0442\u044c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430. \u042d\u0442\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0442\u043e\u0447\u0435\u043a \u0438 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u044b\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u043b\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c.<\/li>\r\n<li><strong>\u041d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b:<\/strong> \u0412 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u043c \u043d\u043e\u0432\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b (Co, Ru, Mo) \u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 (SiOC, SiCN, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0433\u0430\u0444\u043d\u0438\u044f), \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u043d\u0435 \u0431\u044b\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u044b \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 CMP. \u0414\u043b\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u043e\u0432\u0443\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u044e CMP - \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0441 \u043d\u0443\u043b\u044f - \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0437\u0430\u043d\u044f\u0442\u044c 2-4 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/li>\r\n<li><strong>\u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u0439:<\/strong> \u0423\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0438\u043c\u0435\u044e\u0442 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044c \u042e\u043d\u0433\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e 2-5 \u0413\u041f\u0430 - \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435 70 \u0413\u041f\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e SiO\u2082. 3D-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b NAND \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b \u0432 \u0441\u0442\u0435\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 3D-\u0418\u041a-\u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043b\u0430\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c CMP-\u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0439, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432.<\/li>\r\n<\/ul>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"finfet\">\r\n<h2>2. \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b CMP \u0432 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 FinFET (14-7 \u043d\u043c)<\/h2>\r\n<p>\u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f FinFET, \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0432 \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c 22 \u043d\u043c (Intel) \u0438 16\/14 \u043d\u043c (TSMC, Samsung), \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0442\u044c \u043d\u0435\u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u0443\u044e \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0440\u0430\u0437\u0443 \u0436\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043b\u043e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 CMP. \u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u0440\u0435\u0431\u0435\u0440 - \u0443\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043b\u0431\u0438\u043a\u0438, \u0432\u043e\u0437\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435\u0441\u044f \u043d\u0430\u0434 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, - \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u044b \u0432\u044b\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b CMP, \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u0443\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0443 \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430. \u041b\u044e\u0431\u043e\u0435 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430 \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0427\u041c\u041f \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0435\u0431\u0435\u0440 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043b\u0430\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0441\u0430\u043c\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 \u0440\u0435\u0431\u0435\u0440.<\/p>\r\n<h3>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b CMP \u0434\u043b\u044f FinFET \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c<\/h3>\r\n<div class=\"jz-table-wrap\">\r\n<table class=\"jz-table\">\r\n<thead>\r\n<tr>\r\n<th>\u0428\u0430\u0433 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430<\/th>\r\n<th>\u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430 (\u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438) \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0430<\/th>\r\n<th>\u0412\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/th>\r\n<th>\u0422\u0438\u043f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430<\/th>\r\n<th>\u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043e\u043a<\/th>\r\n<\/tr>\r\n<\/thead>\r\n<tbody>\r\n<tr>\r\n<td>\u0424\u0438\u043d \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 CMP<\/td>\r\n<td>SiO\u2082 \u041d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c STI<\/td>\r\n<td>\u0422\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u044b \u043f\u043b\u0430\u0432\u043d\u0438\u043a\u0430 (\u00b10,5 \u043d\u043c)<\/td>\r\n<td>\u0426\u0435\u0440\u0438\u0439 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041c\u0420\u0420 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043a\u043e\u0439<\/td>\r\n<td>\u0421\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u0438; \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u043e \u043a\u043e\u043d\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>\u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 CMP<\/td>\r\n<td>\u0417\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440 \u0438\u0437 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0441\u0438\u043b\u043e\u043a\u0441\u0430\u043d\u0430<\/td>\r\n<td>\u041e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u043e\u0440\u043e\u0442\u0430\u0445 \u0438\u0437 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u0431\u0435\u0437 \u0443\u0442\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>\r\n<td>\u0420\u0430\u0437\u0431\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f; \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430<\/td>\r\n<td>\u041c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0439; \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0439<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0432\u043e\u0440\u043e\u0442\u0430 CMP (HKMG)<\/td>\r\n<td>W, TiN, TaN<\/td>\r\n<td>\u041f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430<\/td>\r\n<td>\u0421\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f W \u0438\u043b\u0438 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f<\/td>\r\n<td>\u0416\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0439; \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>\u041a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442 CMP<\/td>\r\n<td>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0432\u0441\u043a\u0440\u044b\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0434\u044b<\/td>\r\n<td>Co:\u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c; \u043e\u0442\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438<\/td>\r\n<td>\u0421\u043e-\u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0430 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430<\/td>\r\n<td>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0439 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0448\u0442\u0430\u0431\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>MOL ILD planarization<\/td>\r\n<td>SiO\u2082, SiOC<\/td>\r\n<td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u044b \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u044b FinFET<\/td>\r\n<td>\u0420\u0430\u0437\u0431\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u041c\u0420\u0420<\/td>\r\n<td>\u041c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0438\u0439; \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<\/tbody>\r\n<\/table>\r\n<\/div>\r\n<p>\u0412\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 7 \u043d\u043c (\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432) \u0441\u0442\u0430\u043b\u043e \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 CMP \u0432 \u044d\u043f\u043e\u0445\u0443 FinFET. \u0411\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u0438 \u0435\u0433\u043e \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u0432 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 CMP \u0441 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u043c \u0441\u043c. \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b 4 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0438 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u043c \u0436\u0443\u0440\u043d\u0430\u043b\u0435 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/CMP-Slurry-Types-Applications-Selection-Guide\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener noreferrer\">\u0422\u0438\u043f\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443<\/a>.<\/p>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"gaa\">\r\n<h2>3. Gate-All-Around (GAA) \u0438 CMP \u043d\u0430 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 3 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435<\/h2>\r\n<p>\u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b Gate-All-Around (GAA), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432 \u043d\u0430\u0441\u0442\u043e\u044f\u0449\u0435\u0435 \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0432 TSMC (N3), Samsung (3GAE) \u0438 Intel Foundry (18A), \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0441\u0430\u043c\u0443\u044e \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0443\u044e \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044e \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432. \u0412 GAA \u0433\u043e\u0440\u0438\u0437\u043e\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043b\u0438 SiGe \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 4-8 \u043d\u043c, \u0443\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0430\u043c\u0438 \u043f\u043e 2-4) \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u043a\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u044b \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c \u0441\u043e \u0432\u0441\u0435\u0445 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435\u0445 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c, \u043d\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430\u0445 CMP, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432\u044b\u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442, \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0443\u044e\u0442 \u044d\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b.<\/p>\r\n<h3>\u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 CMP: \u0441\u0430\u043c\u044b\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u044d\u0442\u0430\u043f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/h3>\r\n<p>\u041d\u0430 \u044d\u0442\u0430\u043f\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 SiO\u2082 \u0438\u043b\u0438 SiOC, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0440\u044f\u0434\u0430\u043c\u0438 \u044f\u0447\u0435\u0435\u043a GAA, \u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u0430\u0432\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0441 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u044b\u043c \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043e\u043c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u00b11-2 \u043d\u043c \u043d\u0430 \u0432\u0441\u0435\u0439 300-\u043c\u0438\u043b\u043b\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0435. \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0446\u0435\u043b\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f:<\/p>\r\n<ul>\r\n<li>\u041d\u0430\u043d\u043e\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 D99 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 100 \u043d\u043c \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430<\/li>\r\n<li>\u0427\u0440\u0435\u0437\u0432\u044b\u0447\u0430\u0439\u043d\u043e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiO\u2082:Si\u2083N\u2084 \u0438 SiO\u2082:SiGe \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043a\u0438<\/li>\r\n<li>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c MRR \u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0430\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b (&lt;1,5% 1\u03c3) \u0434\u043b\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b<\/li>\r\n<li>\u041e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0441 \u0447\u0443\u0432\u0441\u0442\u0432\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0434\u043e \u043d\u043c \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c \u044d\u0442\u0430\u043f CMP \u0434\u043e \u0438\u0441\u0447\u0435\u0440\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f \u0431\u044e\u0434\u0436\u0435\u0442\u0430 \u0434\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430<\/li>\r\n<\/ul>\r\n<div class=\"jz-hl\">\r\n<p>\u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f GAA CMP \u0434\u043e\u043b\u0436\u043d\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0442\u044c \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 (\u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0442\u044c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u043b\u044c\u0435\u0444, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0448\u0438\u0439\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f) \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043c\u044f\u0433\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (\u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u043f\u043a\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432). \u041f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u0448\u0442\u0430\u0431\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043e\u0437\u0438\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u0441 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0436\u0438\u043c\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0432 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0437\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0433\u043e\u043b\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0435\u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u0442\u044b \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u0430.<\/p>\r\n<\/div>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"cobalt\">\r\n<h2>4. \u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0439 CMP: \u0445\u0438\u043c\u0438\u044f, \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/h2>\r\n<p>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \u0441\u0442\u0430\u043b \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u0441 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 7 \u043d\u043c \u0438 \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u0438\u0432 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c \u0432 \u0441\u0430\u043c\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c\u0443 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 20 \u043d\u043c. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u0444\u0438\u0437\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e \u0438\u043d\u0443\u044e \u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u0443\u044e \u0441\u0440\u0435\u0434\u0443 \u0434\u043b\u044f CMP, \u0447\u0435\u043c \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c.<\/p>\r\n<h3>\u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 CMP \u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c CMP<\/h3>\r\n<ul>\r\n<li><strong>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \u043d\u0430\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u044f\u0433\u0447\u0435 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u0430<\/strong> (\u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e \u0412\u0438\u043a\u043a\u0435\u0440\u0441\u0443 ~1 000 \u041c\u041f\u0430 \u0434\u043b\u044f Co \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 ~3 430 \u041c\u041f\u0430 \u0434\u043b\u044f W), \u0447\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0438\u043b\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u044f\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f W CMP, \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u0443\u0433\u043b\u0443\u0431\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438\u043b\u0438 \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d \u043d\u0430 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445.<\/li>\r\n<li><strong>\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0435\u0440\u0436\u0435\u043d \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438<\/strong> \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438 (\u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043c TiN). \u0412 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 Co \u0438 TiN \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0441\u0442\u0438 \u043a \u0430\u043d\u043e\u0434\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u043f\u043e \u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u0442\u0440\u0443 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u0442\u043e\u0447\u0435\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043d\u0435 \u0432\u0438\u0434\u043d\u044b \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u043c \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435, \u043d\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430.<\/li>\r\n<li><strong>\u0417\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043e\u043d\u0430\u043c\u0438 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430<\/strong> (Co\u00b2\u207a, Co\u00b3\u207a), \u0432\u044b\u0442\u0435\u043a\u0448\u0438\u0439 \u0441 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u0432\u0430\u043d\u043d\u0443 \u0441 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0435\u0439, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u043c \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043e\u043d \u043d\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d \u0432 \u0445\u043e\u0434\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0440\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438. Co \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u043a\u043e\u0439 \u0433\u043b\u0443\u0431\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0438 \u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0443\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432.<\/li>\r\n<\/ul>\r\n<h3>\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u044b \u043f\u0440\u043e\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432<\/h3>\r\n<p>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u0430 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f CMP \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0445 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439: \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f CoO\/Co(OH)\u2082 (\u0434\u043b\u044f \u0430\u0434\u0435\u043a\u0432\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e MRR), \u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0435 Co\/TiN (\u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0438\u0442\u0442\u0438\u043d\u0433\u0430) \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 (\u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f). \u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f:<\/p>\r\n<ul>\r\n<li>\u0421\u043b\u0430\u0431\u044b\u0439 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c (H\u2082O\u2082 \u043f\u0440\u0438 0,5-2 \u043c\u0430\u0441.\u0447. % \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0438\u043e\u0434\u0430\u0442 \u0432 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438) - \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 Co, \u043d\u0435 \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438.<\/li>\r\n<li>\u0418\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u044b \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 (\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043c\u0438\u0434\u0430\u0437\u043e\u043b\u0430, \u0431\u0435\u043d\u0437\u043e\u0442\u0440\u0438\u0430\u0437\u043e\u043b\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u043f\u0430\u0442\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0435\u0442\u0435\u0440\u043e\u0446\u0438\u043a\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0430\u0434\u0441\u043e\u0440\u0431\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 Co \u0432 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0435 \u0441 TiN<\/li>\r\n<li>\u041a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442 (\u043b\u0438\u043c\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u0430, \u044f\u0431\u043b\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u0430) \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u043b\u044e\u0431\u0438\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 Co \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0442\u043e\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f<\/li>\r\n<li>\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 (20-50 \u043d\u043c, D99 &lt;150 \u043d\u043c) \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u0440\u0438 pH 4-7<\/li>\r\n<\/ul>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"ruthenium\">\r\n<h2>5. \u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0439 \u0425\u041c\u041f: \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0440\u0443\u0431\u0435\u0436<\/h2>\r\n<p>\u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 (Ru) \u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0430\u043a \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 \u043d\u043c. \u0415\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u043c \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445, \u043b\u0443\u0447\u0448\u0443\u044e \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f Ru: 2 334 \u00b0C \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 1 495 \u00b0C \u0443 Co) \u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u0443\u044e \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432. \u041d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0445 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0439\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043b\u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 Ru \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u043e\u0438\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 2 \u043d\u043c \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0434\u043d\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\r\n<h3>\u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h3>\r\n<p>\u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0434\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0440\u043e\u0434\u0435\u043d \u0432 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0432\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0439 - \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043c\u0435\u0434\u044c \u0438\u043b\u0438 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442. \u042d\u0442\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043f\u044f\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f CMP, \u0433\u0434\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u044b\u043c \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u0435\u043c \u0434\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f CMP \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 (\u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 H\u2082O\u2082, \u0443\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e \u043a\u0438\u0441\u043b\u044b\u0435) \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u043d\u0435\u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e MRR \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u0445 Ru.<\/p>\r\n<p>\u0414\u043b\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f Ru \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u043b\u0438\u0431\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c pH (\u043f\u0435\u0440\u0439\u043e\u0434\u0430\u0442, \u0431\u0440\u043e\u043c\u0430\u0442 \u0438\u043b\u0438 Ce\u2074\u207a \u043f\u0440\u0438 pH 1-3), \u043b\u0438\u0431\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c. \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, RuO\u2084 (\u0442\u0435\u0442\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f), \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043b\u0435\u0442\u0443\u0447\u0438\u043c, \u0442\u043e\u043a\u0441\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043a\u0430\u043a \u0441 \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u0441 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c. \u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0438\u0441\u043a\u043e\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f RuO\u2084 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0430\u0434\u0435\u043a\u0432\u0430\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e MRR Ru \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u043b\u0430\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0435\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 Ru CMP.<\/p>\r\n<p>\u041f\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430 \u0430\u043f\u0440\u0435\u043b\u044c 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u044f Ru CMP \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043b\u0430\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0439 \u043a \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f JEEZ \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 Ru \u0438 \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0442\u043d\u0435\u0440\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043d\u0430\u0434 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 Ru. <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/contact\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener noreferrer\">\u0421\u0432\u044f\u0436\u0438\u0442\u0435\u0441\u044c \u0441 \u043d\u0430\u043c\u0438, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u043e\u0431\u0441\u0443\u0434\u0438\u0442\u044c \u0432\u0430\u0448\u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/a><\/p>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"molybdenum\">\r\n<h2>6. \u041c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u041a\u041c\u041f \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 GAA<\/h2>\r\n<p>\u041c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d (Mo) \u0432\u044b\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0435\u0441 \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 GAA, \u0433\u0434\u0435 \u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0430\u044f \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u044f \u0432\u0431\u043b\u0438\u0437\u0438 \u0441\u0440\u0435\u0434\u043d\u0435\u0433\u043e \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u0430, \u0445\u043e\u0440\u043e\u0448\u0430\u044f \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043c\u0430\u043b\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u0445 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u0435\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u043a\u0443\u0440\u0435\u043d\u0442\u043e\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u043c. \u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Intel \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u043b\u0430 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f Mo \u0434\u043b\u044f \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432 \u0441\u0432\u043e\u0435\u043c \u0442\u0435\u0445\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 18A; \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0435 \u043b\u0438\u0442\u0435\u0439\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043e\u0446\u0435\u043d\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043d\u043e\u0440\u043c\u0430\u043c\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 2 \u043d\u043c.<\/p>\r\n<p>\u0425\u0438\u043c\u0438\u044f Mo CMP \u0437\u0430\u043c\u0435\u0442\u043d\u043e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e CMP. \u041e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u0430 (MoO\u2083) \u043b\u0435\u0433\u043a\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435 (\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f MoO\u2084\u00b2-), \u0447\u0442\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u0443\u044e \u0441\u0438\u0442\u0443\u0430\u0446\u0438\u044e: \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u044f \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0447\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e MRR Mo \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043d\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044f \u0430\u0433\u0440\u0435\u0441\u0441\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u044d\u0442\u0430 \u0436\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a \u0434\u0438\u0448\u0435\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u0432 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u0438\u0445 Mo-\u0444\u0430\u0431\u0440\u0438\u043a\u0430\u0445, \u0435\u0441\u043b\u0438 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043e\u0431\u0430\u0432\u043e\u043a.<\/p>\r\n<p>\u041a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 (pH 2-4 \u0441 \u043f\u0435\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0438\u0441\u0443\u043b\u044c\u0444\u0430\u0442\u043e\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0435\u0440\u0439\u043e\u0434\u0430\u0442\u043e\u043c) \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f Mo CMP, \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f Mo \u0432 MoO\u2082 \u0438\u043b\u0438 MoO\u2083 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f. \u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0449\u0435\u043b\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043a \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0435\u043a\u0430 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 - \u0432 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0442 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0435\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0431\u0435\u0437 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u043d\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"lowk\">\r\n<h2>7. \u0423\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a CMP: \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h2>\r\n<p>\u041f\u043e\u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 (k), \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f RC-\u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u0432 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 BEOL, \u043f\u0440\u0438\u0432\u0435\u043b\u043e \u043a \u043f\u043e\u044f\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0435\u043c\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0441 \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u043c \u042e\u043d\u0433\u0430 \u0434\u043e 2-5 \u0413\u041f\u0430 \u0438 \u0432\u044f\u0437\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u044e\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u043a \u0430\u044d\u0440\u043e\u0433\u0435\u043b\u044f\u043c. \u0423\u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0438 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0445\u0440\u0443\u043f\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0430\u0445 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438.<\/p>\r\n<h3>\u0420\u0435\u0436\u0438\u043c\u044b \u043e\u0442\u043a\u0430\u0437\u043e\u0432, \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0425\u041c\u041f<\/h3>\r\n<ul>\r\n<li><strong>\u0420\u0430\u0441\u0441\u043b\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430:<\/strong> \u0418\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u043e\u0439 ULK \u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e SiCN \u0438\u043b\u0438 SiCO) \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u043c\u043e\u0439 \u0441\u043b\u0430\u0431\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c \u0441\u0442\u0435\u043a\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439. \u0427\u0440\u0435\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u0430\u044f \u0441\u0438\u043b\u0430 CMP \u0438\u043b\u0438 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u0435 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0430 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u0441\u043b\u043e\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0431\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u044f \u043f\u0443\u0441\u0442\u043e\u0442\u044b \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/li>\r\n<li><strong>\u041a\u043e\u0433\u0435\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430:<\/strong> \u0414\u043b\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043f\u043e\u0440\u0438\u0441\u0442\u044b\u0445 ULK-\u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a (k &lt; 2,2) \u0441\u0430\u043c\u0430 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043f\u043e\u0434 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u044b, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u0433\u0440\u0443\u0431\u0443\u044e, \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0441\u043a\u0430\u0432\u0448\u0443\u044e\u0441\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0443\u044e \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439.<\/li>\r\n<li><strong>\u041f\u0440\u043e\u0441\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0432 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0440\u044b:<\/strong> \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0436\u0438\u0434\u043a\u0430\u044f \u0444\u0430\u0437\u0430 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0441\u043c\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u0443\u044e \u0441\u0435\u0442\u044c \u043f\u043e\u0440 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 ULK, \u043e\u043d\u0430 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0443\u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u0438 \u0438\u043e\u043d\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u044c \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0430\u043c \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\r\n<\/ul>\r\n<p>\u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043a \u0441\u043c\u044f\u0433\u0447\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f ULK CMP \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (\u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e &lt;1,5 \u0444\u0443\u043d\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0434\u0440\u0430\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0434\u044e\u0439\u043c), \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043a\u043e\u0432\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u0435\u043c, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0430 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e-\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0432 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0442\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0440\u044b. \u042d\u0442\u0438 \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u0439 MRR \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u0435\u043d\u0441\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u043f\u0430\u0441\u0430.<\/p>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"3dnand\">\r\n<h2>8. CMP \u0434\u043b\u044f 3D NAND: \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\r\n<p>\u0424\u043b\u044d\u0448-\u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u044c 3D NAND, \u0432 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0438 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0441 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u043e\u0442 96 (\u043d\u043e\u0432\u0438\u043d\u043a\u0430 2019 \u0433\u043e\u0434\u0430) \u0434\u043e 300+ (\u0432\u0435\u0434\u0443\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b 2026 \u0433\u043e\u0434\u0430), \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 CMP \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0442\u043e\u0447\u043a\u0430\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b CMP \u0432 3D NAND \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e \u0447\u0435\u0440\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e\u0441\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e-\u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e (ON) \u0438\u043b\u0438 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043d\u043e-\u043f\u043e\u043b\u0438\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u044f\u0440\u0443\u0441\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u043b\u0438\u0431\u0434\u0435\u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u0440\u043e\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0437\u0430\u043c\u0435\u043d\u044b \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430.<\/p>\r\n<div class=\"jz-hl\">\r\n<p>\u042d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d 3D-\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440 NAND (\u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0441 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 60:1 \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445) \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f CMP. \u0420\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0435 \u0432 \u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0435\u0439 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0438\u0444\u0435\u0440\u0438\u0438, \u0430 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0432 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043d\u0435\u0441\u0442\u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432\u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438. \u0421\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u0448\u043b\u0430\u043c\u043e\u0432 CMP \u0434\u043b\u044f 3D NAND \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0443\u0447\u0435\u0442\u043e\u043c \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u043f\u043e \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0430\u043c \u0438 \u043f\u0430\u043a\u0435\u0442\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e-\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0432\u0435\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u044f \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u043c \u0430\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c.<\/p>\r\n<\/div>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"3dic\">\r\n<h2>9. 3D-IC \u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435: \u041f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430 \u0441\u0443\u0431\u043d\u0430\u043d\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\r\n<p>\u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043a\u043b\u0435\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 - \u044d\u0442\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0430\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u0447\u0430\u0439\u0448\u0443\u044e \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438 3D-IC, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u0432 \u043f\u0430\u043c\u044f\u0442\u0438 \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e (HBM), \u041a\u041c\u041e\u041f-\u0434\u0430\u0442\u0447\u0438\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f (CIS) \u0438 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u0445 \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u043b\u043e\u0433\u0438\u043a\u0443. \u041f\u0440\u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u043c \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0434\u0432\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0430 \u0441 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u043c (\u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f SiO\u2082 \u0438\u043b\u0438 SiCN) \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u043a\u0438 Cu-Cu, \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u043a\u043b\u0435\u044f \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043f\u043e\u044f. \u0421\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438, \u0430 \u0435\u0433\u043e \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u0442 \u043e\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0431\u0435\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\r\n<h3>\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 CMP \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f<\/h3>\r\n<div class=\"jz-table-wrap\">\r\n<table class=\"jz-table\">\r\n<thead>\r\n<tr>\r\n<th>\u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\r\n<th>\u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u0430\u044f \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044c \u0434\u043b\u044f \u0441\u0432\u044f\u0437\u044b\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/th>\r\n<th>\u041e\u0431\u044b\u0447\u043d\u0430\u044f \u043c\u0438\u0448\u0435\u043d\u044c BEOL CMP<\/th>\r\n<th>\u0421\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 (\u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439\/\u043a\u043e\u043d\u0432\u0435\u043d\u0446\u0438\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439)<\/th>\r\n<\/tr>\r\n<\/thead>\r\n<tbody>\r\n<tr>\r\n<td>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 Ra<\/td>\r\n<td>&lt;0,3 \u043d\u043c<\/td>\r\n<td>&lt;1-2 \u043d\u043c<\/td>\r\n<td>5-7\u00d7 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0435\u0435<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>\u041a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 (&gt;50 \u043d\u043c)<\/td>\r\n<td>&lt;10 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443<\/td>\r\n<td>&lt;50-100 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443<\/td>\r\n<td>5-10\u00d7 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>\u0414\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0438\u0437 \u043c\u0435\u0434\u0438<\/td>\r\n<td>&lt;5 \u043d\u043c<\/td>\r\n<td>&lt;20-30 \u043d\u043c<\/td>\r\n<td>4-6\u00d7 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0435\u0435<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u0442\u0430 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u044c\u043a\u0438<\/td>\r\n<td>&lt;3 \u043d\u043c<\/td>\r\n<td>&lt;10-20 \u043d\u043c<\/td>\r\n<td>3-7\u00d7 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<tr>\r\n<td>\u0417\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0427\u041c\u0417<\/td>\r\n<td>&lt;1\u00d710\u00b9\u2070 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432\/\u0441\u043c\u00b2<\/td>\r\n<td>&lt;1\u00d710\u00b9\u00b9 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432\/\u0441\u043c\u00b2<\/td>\r\n<td>10\u00d7 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u0435\u0435<\/td>\r\n<\/tr>\r\n<\/tbody>\r\n<\/table>\r\n<\/div>\r\n<p>\u0414\u043b\u044f \u0432\u044b\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0446\u0435\u043d\u0442\u0440\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 2 \u043c\u0430\u0441\u0441% \u0438 \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u0441\u043a\u0438, \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u0435 (&lt;1 psi). \u0420\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0427\u041c\u041f - \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0449\u0430\u044f SC1 (APM), DHF \u0438 \u043c\u0435\u0433\u0430\u0437\u0432\u0443\u043a\u043e\u0432\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0432\u043a\u0443 - \u043e\u0431\u044f\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0446\u0435\u043b\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438.<\/p>\r\n<p>\u0420\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0443 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043c. \u0432 \u043d\u0430\u0448\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 <a href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/CMP-Abrasives-Ceria-vs-Silica-vs-Alumina\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener noreferrer\">\u0410\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b CMP: \u0426\u0435\u0440\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c\u0430<\/a>, \u0412 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0435 \"\u041a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f\" \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u044b \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0433\u043e \u0431\u043e\u043d\u0434\u0438\u043d\u0433\u0430.<\/p>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"roadmap\">\r\n<h2>10. \u0414\u043e\u0440\u043e\u0436\u043d\u0430\u044f \u043a\u0430\u0440\u0442\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 CMP: 2026-2030 \u0433\u0433.<\/h2>\r\n<div class=\"jz-timeline\">\r\n<div class=\"jz-tl-item\">\r\n<div class=\"jz-tl-dot\">\u00a0<\/div>\r\n<div class=\"jz-tl-body\"><strong>2026: \u0441\u043e\u0437\u0440\u0435\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 Ru \u0438 Mo<\/strong> \u041a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b \u0438\u0437 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 Ru \u0438 Mo CMP \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u043a\u0432\u0430\u043b\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043a \u043f\u0435\u0440\u0432\u043e\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445; \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b \u0438\u0437 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 Co \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0432 \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u0441\u0435\u0440\u0438\u0439\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e.<\/div>\r\n<\/div>\r\n<div class=\"jz-tl-item\">\r\n<div class=\"jz-tl-dot\">\u00a0<\/div>\r\n<div class=\"jz-tl-body\"><strong>2027: \u041d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b GAA \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044e CMP<\/strong> \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0440\u0435\u0446\u0435\u043f\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 3 \u0438 2 \u043d\u043c \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442, \u0447\u0442\u043e CMP \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 TSMC, Samsung \u0438 Intel Foundry; \u043d\u0430\u043d\u043e\u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0441 \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c Mn \u0438\u043b\u0438 \u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439 \u044f\u0434\u0440\u0430-\u043e\u0431\u043e\u043b\u043e\u0447\u043a\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0432\u044b\u0431\u0438\u0440\u0430\u044e\u0442 \u0434\u043b\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0439.<\/div>\r\n<\/div>\r\n<div class=\"jz-tl-item\">\r\n<div class=\"jz-tl-dot\">\u00a0<\/div>\r\n<div class=\"jz-tl-body\"><strong>2028: CMP \u0441 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0438\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0437\u0430\u0434\u043d\u044e\u044e \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d\u0443<\/strong> \u0410\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0437\u0430\u0434\u043d\u0438\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0448\u0438\u043d (BSPDN) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 CMP \u0434\u043b\u044f \u0443\u0442\u043e\u043d\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0440\u0430\u0441\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u044f \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0440\u0441\u0442\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0437\u0430\u0434\u043d\u0435\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438; \u0432\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442\u0441\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0442\u043e\u043d\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u043f\u043e\u0434\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a, \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0441 \u0443\u0442\u043e\u043d\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u043c\u0438.<\/div>\r\n<\/div>\r\n<div class=\"jz-tl-item\">\r\n<div class=\"jz-tl-dot\">\u00a0<\/div>\r\n<div class=\"jz-tl-body\"><strong>2029-2030: 1,4 \u043d\u043c \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/strong> \u041f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b CMP \u0434\u043b\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0430\u043d\u0430\u043b\u043e\u0432 (MoS\u2082, WSe\u2082) \u0432 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445; \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435 CMP \u0434\u043b\u044f \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043e\u0432; \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043d\u0435\u0434\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 CMP (ECMP) \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0441\u0443\u0431\u0442\u043e\u043d\u043d\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u044d\u0442\u0438\u0445 \u044d\u043a\u0441\u0442\u0440\u0435\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0433\u0435\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u044f\u0445.<\/div>\r\n<\/div>\r\n<\/div>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<section id=\"faq\">\r\n<h2>11. \u0412\u041e\u041f\u0420\u041e\u0421\u042b \u0418 \u041e\u0422\u0412\u0415\u0422\u042b<\/h2>\r\n<h3>\u0412 \u0447\u0435\u043c \u0440\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c\u0438 CMP \u043f\u0440\u0438 \u0434\u043b\u0438\u043d\u0435 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b 7 \u043d\u043c \u0438 3 \u043d\u043c?<\/h3>\r\n<p>\u0412 \u0443\u0437\u043b\u0435 7 \u043d\u043c \u043f\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435 \u0432\u0441\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u0438\u0441\u044c \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u044b \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a \u0441\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f STI \u0438 ILD CMP. \u041d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 3 \u043d\u043c (\u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 GAA) \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0440\u0435\u0437\u043a\u043e \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442: CMP \u0442\u0435\u043f\u0435\u0440\u044c \u0434\u043e\u043b\u0436\u0435\u043d \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b \u0441 \u0432\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 2 \u043d\u043c, \u0437\u0430\u043f\u043e\u043b\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u043d\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438 (Ru \u0438\u043b\u0438 Mo) \u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0440\u0435\u0434\u044b \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043c\u043e\u0434\u0443\u043b\u044f \u042e\u043d\u0433\u0430 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 \u0413\u041f\u0430. \u041a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 CMP \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 30-40% \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 7 \u043d\u043c \u0438 3 \u043d\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0443\u0441\u0443\u0433\u0443\u0431\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043a\u0430\u0436\u0434\u043e\u0433\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u0430.<\/p>\r\n<h3>\u041c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043b\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 CMP \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u0438 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f?<\/h3>\r\n<p>\u041d\u0435\u0442. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0435 \u0438\u043b\u0438 \u0432\u043e\u043b\u044c\u0444\u0440\u0430\u043c\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 CMP \u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0414\u043b\u044f \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0441 \u0438\u043d\u0433\u0438\u0431\u0438\u0442\u043e\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438, \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442\u0430, \u0438 \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438, \u0441\u0431\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 \u0440\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0433\u0430\u043b\u044c\u0432\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0446\u0430\u0445 Co\/TiN. \u0414\u043b\u044f \u0440\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b (\u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0439\u043e\u0434\u0430\u0442\u0430 \u0438\u043b\u0438 Ce\u2074\u207a), \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043b\u044e\u0431\u044b\u0445 \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 CMP. \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0434\u043b\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0447\u0440\u0435\u0432\u0430\u0442\u043e \u0432\u043e\u0437\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0435\u0440\u044c\u0435\u0437\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0438\u043b\u0438 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0439 \u043d\u0435\u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0443\u0434\u0430\u043b\u0438\u0442\u044c \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0443 \u0432 \u0443\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u0438.<\/p>\r\n<h3>\u0427\u0435\u043c \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 CMP \u043e\u0442 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e CMP?<\/h3>\r\n<p>\u041f\u0440\u0438\u043d\u0446\u0438\u043f\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u0445 \u043a \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f BEOL CMP \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0434\u0438 \u043d\u0430\u0446\u0435\u043b\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 &lt;20-30 \u043d\u043c \u0438 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d \u0438\u0441\u0447\u0438\u0441\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0435\u0441\u044f\u0442\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443. \u041f\u0440\u0438 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0430\u0434\u0433\u0435\u0437\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0434\u0438\u0448\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0434\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 5 \u043d\u043c, \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 0,3 \u043d\u043c Ra \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 10 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0443 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 50 \u043d\u043c - \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0432 5-10 \u0440\u0430\u0437 \u0436\u0435\u0441\u0442\u0447\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e\u0439 CMP, \u043f\u043e \u0432\u0441\u0435\u043c \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c. \u0414\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u0446\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0440\u0430\u0437\u0431\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0435\u0437\u0435\u043c\u0430, \u043c\u044f\u0433\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0434\u044b \u0441 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438\u0436\u0438\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0439 \u0438 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 CMP, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u043f\u043e\u0445\u043e\u0436\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0443 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0447\u0435\u043c \u043d\u0430 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u0443\u044e \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0443 CMP.<\/p>\r\n<h3>\u0421\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 CMP \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 3 \u043d\u043c?<\/h3>\r\n<p>\u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u0430\u044f \u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 3 \u043d\u043c (\u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f FEOL, MOL \u0438 BEOL \u0447\u0435\u0440\u0435\u0437 \u0444\u0438\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438) \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 50-70 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 CMP-\u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430, \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u044b \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e 30-40 \u0448\u0430\u0433\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 10 \u043d\u043c, 15-20 \u0448\u0430\u0433\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 28 \u043d\u043c \u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 \u0447\u0435\u043c 10 \u0448\u0430\u0433\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 180 \u043d\u043c. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0434\u043e\u043f\u043e\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0448\u0430\u0433 CMP \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0446\u0438\u0438 \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043d\u0435\u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u043b\u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043f\u043e\u044d\u0442\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u044b \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f CMP \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445 \u0433\u043e\u0440\u0430\u0437\u0434\u043e \u0441\u0442\u0440\u043e\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u043d\u0430 \u0437\u0440\u0435\u043b\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u0430\u0445.<\/p>\r\n<\/section>\r\n<hr class=\"jz-divider\" \/>\r\n<div class=\"jz-tags\"><span class=\"jz-tag\">\u0423\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0437\u0435\u043b CMP<\/span><span class=\"jz-tag\">FinFET CMP<\/span><span class=\"jz-tag\">GAA CMP<\/span> <span class=\"jz-tag\">\u041a\u043e\u0431\u0430\u043b\u044c\u0442 CMP<\/span><span class=\"jz-tag\">\u0420\u0443\u0442\u0435\u043d\u0438\u0439 CMP<\/span><span class=\"jz-tag\">3D-IC CMP<\/span> <span class=\"jz-tag\">\u0413\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043a\u0440\u0435\u043f\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/span><span class=\"jz-tag\">3D NAND<\/span><span class=\"jz-tag\">JEEZ<\/span><\/div>\r\n<div class=\"jz-cta\">\r\n<h2>\u041f\u0430\u0440\u0442\u043d\u0435\u0440\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441 JEEZ \u0432 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0437\u043b\u043e\u0432 CMP<\/h2>\r\n<p>\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f JEEZ \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0434\u0443\u043a\u0442\u044b \u0434\u043b\u044f \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u043a\u043b\u0430\u0434\u043e\u043a \u0434\u043b\u044f CMP, \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044f\u0449\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u0434\u043b\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 14 \u043d\u043c, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f Co CMP \u0438 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 Ru. \u041e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u0435\u0441\u044c \u0437\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0446\u0438\u0435\u0439 \u043a \u043d\u0430\u0448\u0435\u0439 \u043a\u043e\u043c\u0430\u043d\u0434\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0447\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\r\n<a class=\"jz-btn\" href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/contact\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener noreferrer\">\u041e\u0431\u0441\u0443\u0434\u0438\u0442\u0435 \u0432\u0430\u0448\u0438 \u043f\u043e\u0442\u0440\u0435\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u043e\u043c \u0443\u0437\u043b\u0435 CMP<\/a> <a class=\"jz-btn-sec\" href=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/What-Are-CMP-Materials-Complete-Guide\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener noreferrer\">\u2190 \u041f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c CMP<\/a><\/div>\r\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e JEEZ - Advanced Node CMP \u0412\u0441\u0435\u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043b\u044e\u0449\u0435\u0435 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0440\u0443\u043a\u043e\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a \u0440\u0430\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f CMP \u0434\u043b\u044f \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440 FinFET, Gate-All-Around, 3D NAND \u0438 3D-IC - \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u043a...<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":1954,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[9,59],"tags":[],"class_list":["post-1929","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog","category-industry"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1929","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1929"}],"version-history":[{"count":4,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1929\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":1962,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1929\/revisions\/1962"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/1954"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1929"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1929"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1929"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}