{"id":744,"date":"2025-12-05T10:32:18","date_gmt":"2025-12-05T02:32:18","guid":{"rendered":"https:\/\/jeez-semicon.com\/?p=744"},"modified":"2025-12-05T10:32:18","modified_gmt":"2025-12-05T02:32:18","slug":"cmp-polishing-slurry-for-electronic-silicon-wafers","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/blog\/cmp-polishing-slurry-for-electronic-silicon-wafers\/","title":{"rendered":"\u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c CMP \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d"},"content":{"rendered":"<p class=\"ds-markdown-paragraph\"><strong>I. \u0422\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 CMP: \u041a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/strong><\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u0425\u0438\u043c\u0438\u043a\u043e-\u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f (\u0425\u041c\u041f) \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043d\u0435\u043f\u043e\u0441\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u044e\u0449\u0438\u043c \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0432\u044b\u0445\u043e\u0434 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d CMP \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 (\u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c &lt;0,2 \u043d\u043c) \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0441\u0438\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043a\u043e\u0440\u0440\u043e\u0437\u0438\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0447\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c \u043a \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439 \u0438 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u0443\u0437\u043b\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\"><strong>\u0422\u0440\u0438 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u0444\u0443\u043d\u043a\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 Jizhi Electronics CMP<\/strong><\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2460\u00a0<strong>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430:<\/strong>\u00a0\u041d\u0430\u043d\u043e\u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043a\u043e\u043b\u043b\u043e\u0438\u0434\u043d\u044b\u0439 SiO2) \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0443\u0434\u0430\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0432\u044b\u0441\u0442\u0443\u043f\u044b \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2461\u00a0<strong>\u0421\u043c\u0430\u0437\u043a\u0430 \u0438 \u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0430:<\/strong>\u00a0\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0441\u0430\u0434\u043a\u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044e\u0442 \u043a\u043e\u044d\u0444\u0444\u0438\u0446\u0438\u0435\u043d\u0442 \u0442\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f (&lt;0,05), \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u044f \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441 \u043e\u0431\u043e\u0440\u0443\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0434\u043b\u0435\u0432\u0430\u044f \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u043a\u043e\u043b\u043e\u0434\u043e\u043a.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2462\u00a0<strong>\u0422\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b:<\/strong>\u00a0\u0416\u0438\u0434\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u043e \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e, \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u044f \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0432 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0435 \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0435\u0440\u0435\u0433\u0440\u0435\u0432\u0430.<\/p>\n<p><img decoding=\"async\" class=\"lazyload alignnone size-full wp-image-745\" src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/11-7.png\" data-orig-src=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/11-7.png\" alt=\"\" width=\"750\" height=\"422\" srcset=\"data:image\/svg+xml,%3Csvg%20xmlns%3D%27http%3A%2F%2Fwww.w3.org%2F2000%2Fsvg%27%20width%3D%27750%27%20height%3D%27422%27%20viewBox%3D%270%200%20750%20422%27%3E%3Crect%20width%3D%27750%27%20height%3D%27422%27%20fill-opacity%3D%220%22%2F%3E%3C%2Fsvg%3E\" data-srcset=\"https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/11-7-200x113.png 200w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/11-7-300x169.png 300w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/11-7-400x225.png 400w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/11-7-600x338.png 600w, https:\/\/jeez-semicon.com\/wp-content\/uploads\/2025\/12\/11-7.png 750w\" data-sizes=\"auto\" data-orig-sizes=\"(max-width: 750px) 100vw, 750px\" \/><\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\"><strong>II. \u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c Jizhi Electronics CMP: \u041e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0443<\/strong><\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u041a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Wuxi Jizhi Electronics Technology Co., Ltd. \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432. \u0415\u0435 \u0448\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d (Si Wafer Slurry) \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0441\u043b\u0443\u0436\u0438\u0442\u044c \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043e\u0439 \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430\u043c. \u041e\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0433\u0440\u0443\u0431\u043e\u0439, \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u0436\u0443\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0439 \u0438 \u0442\u043e\u043d\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c 8-12 \u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043f\u043e\u043c\u043e\u0433\u0430\u044f \u043a\u043b\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u043c \u0441\u043d\u0438\u0437\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442\u044b \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0441\u0438\u0442\u044c \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\"><strong>\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0440\u044b\u0432\u044b<\/strong><\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2460\u00a0<strong>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u044b:<\/strong>\u00a0\u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043c\u043e\u0434\u0438\u0444\u0438\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u0434\u0437\u0435\u0442\u0430-\u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c &gt; \u00b130 \u043c\u0412, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u0441\u0430\u0434\u043a\u0430.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2461\u00a0<strong>\u0418\u043d\u0442\u0435\u043b\u043b\u0435\u043a\u0442\u0443\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c pH:<\/strong>\u00a0\u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 pH \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0430\u0434\u0438\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 (\u0433\u0440\u0443\u0431\u0430\u044f \u2192 \u0442\u043e\u043d\u043a\u0430\u044f), \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u044f \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0434\u0438\u0448\u0438\u043d\u0433 (Dishing &lt;5 \u043d\u043c).<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2462\u00a0<strong>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u0443\u0440\u043e\u0432\u0435\u043d\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432:<\/strong>\u00a0\u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0435\u043b\u0430\u0442\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u0435 \u0430\u0433\u0435\u043d\u0442\u044b \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0438, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 &lt;0,1\/\u0441\u043c\u00b2, \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u0443\u044e \u0441 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u043c \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u0445\u0435\u043c.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\"><strong>III. \u0421\u0446\u0435\u043d\u0430\u0440\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f: \u041e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/strong><\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">Jizhi Electronics Semiconductor CMP Polishing Slurry \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432:<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2460\u00a0<strong>\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d:<\/strong>\u00a0\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043b\u0430\u043d\u0430\u0440\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 CMP \u0434\u043b\u044f 8-12-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2461\u00a0<strong>\u0412\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b:<\/strong>\u00a0\u041f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0434\u043b\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0442\u0440\u0430\u0442.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2462\u00a0<strong>\u041f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u044f \u0443\u043f\u0430\u043a\u043e\u0432\u043a\u0430:<\/strong>\u00a0\u041e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a TSV \u0438 3D IC.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\"><strong>IV. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0441\u0442\u043e\u0438\u0442 \u0432\u044b\u0431\u0440\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0448\u043b\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d Jizhi Electronics?<\/strong><\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2460\u00a0<strong>\u041e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u0430:<\/strong>\u00a0\u041f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0438\u043c\u0430 \u0441 \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0431\u0440\u0435\u043d\u0434\u0430\u043c\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0446\u0435\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2461\u00a0<strong>\u0423\u0441\u043b\u0443\u0433\u0438 \u043f\u043e \u043d\u0430\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u043a\u0435:<\/strong>\u00a0\u0424\u043e\u0440\u043c\u0443\u043b\u044b \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u0441\u043a\u043e\u0440\u0440\u0435\u043a\u0442\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u0432 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0438\u0438 \u0441 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u043c\u0438 \u0437\u0430\u043a\u0430\u0437\u0447\u0438\u043a\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u2462\u00a0<strong>\u0421\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0430:<\/strong>\u00a0\u0421\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u043b\u0438\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0440\u043e\u043a\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043a\u0438 \u0438 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0440\u044b\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043a.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u0421 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u041a\u0438\u0442\u0430\u044f \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0437\u0440\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0440\u044b\u043d\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0437\u043d\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0443\u0441\u043f\u0435\u043d\u0437\u0438\u0439 CMP \u043f\u0440\u043e\u0434\u043e\u043b\u0436\u0430\u044e\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0438. \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u0430\u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438, \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u043d\u0442 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b, \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u044f Jizhi Electronics \u0441\u0442\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0442\u043d\u0435\u0440\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u043e\u0442\u0435\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0437\u0430\u0432\u043e\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u043a\u043e\u043c\u043f\u0430\u043d\u0438\u0439, \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u044e\u0449\u0438\u0445\u0441\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d.<\/p>\n<p class=\"ds-markdown-paragraph\">\u041f\u043e \u0432\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u0430\u043c \u0438\u043c\u043f\u043e\u0440\u0442\u043e\u0437\u0430\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0434\u043b\u044f CMP, \u0448\u043b\u0438\u0444\u043e\u0432\u043a\u0438\/\u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0448\u043b\u0430\u043c\u0430 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u0432 CMP \u0434\u043b\u044f \u0432\u043e\u0441\u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0432\u044b \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a \u043a\u043e\u043c\u0430\u043d\u0434\u0435 \u0438\u043d\u0436\u0435\u043d\u0435\u0440\u043e\u0432 Jizhi Electronics, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0447\u044c \u0432\u0430\u043c \u0440\u0435\u0448\u0438\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u043f\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u043a\u0438 24 \u0447\u0430\u0441\u0430 \u0432 \u0441\u0443\u0442\u043a\u0438 7 \u0434\u043d\u0435\u0439 \u0432 \u043d\u0435\u0434\u0435\u043b\u044e!<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>I. CMP Polishing Technology: A Key Process in Semiconductor Manufacturing Chemical Mechanical Planarization (CMP) is one of the core processes in semiconductor silicon wafer manufacturing, directly impacting chip performance and  &#8230;<\/p>","protected":false},"author":1,"featured_media":745,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[9,58],"tags":[],"class_list":["post-744","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-blog","category-dynamics"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/744","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=744"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/744\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":746,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/744\/revisions\/746"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/745"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=744"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=744"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/jeez-semicon.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=744"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}