使用你们的抛光垫后,如何量化抛光均匀性的改善?

发布于: 2025年12月12日查看次数251

改进可以通过三个关键指标来量化:

  1. TTV 改进:专有的多孔弹性层设计可将晶片总厚度变化控制在 < 0.3 µm(与传统焊盘相比提高了 40%)

  2. 去除率均匀性:微通道技术将晶圆内不均匀度 (WIWNU) 提高到 > 95%

  3. 缺陷控制:柔性纤维表面结构可将划痕缺陷密度降至 < 0.05 计数/平方厘米
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