在加工氮化镓 (GaN) 等第三代半导体材料时，光饰垫需要具备哪些特殊性能？

必须满足三个特殊要求：

• 低应力抛光:弹性基底模量必须与氮化镓的脆性（断裂韧性 < 2 MPa-m¹/²）相匹配，以防止出现微裂纹

• 耐强碱性环境:聚四氟乙烯改性聚氨酯可在 pH 值大于 12 的 KOH 基泥浆中稳定运行 > 200 小时

• 强化热管理:导热系数 > 0.5 W/m-K，用于快速消散局部摩擦热（氮化镓对温度敏感）
  集智电子’ GaN 专用焊盘系列 已在 6 英寸晶圆批量生产中得到验证，翘曲控制 < 50 µm。.