Contacte con nosotros

La evaluación de la vida útil requiere una supervisión exhaustiva de los siguientes indicadores: Monitorización Métrica Rango normal Sustitución Advertencia Cambio de porosidad de la superficie Valor inicial ± 5% > ± 15% Tasa de recuperación elástica > 92% < 85% Estabilidad del coeficiente de fricción Fluctuación ± 0,05 Tasa de consumo de lodos Línea de base ± 10% Aumento > 25% Solución de monitorización inteligente: Ofrecemos almohadillas sensoras integradas opcionales que transmiten datos de presión/temperatura en tiempo real a los sistemas MES del cliente. Se recomienda realizar un análisis topográfico profesional de la superficie cada 500 ciclos de pulido.

Deben cumplirse tres requisitos especiales: Pulido de bajo esfuerzo: el módulo elástico del sustrato debe coincidir con la naturaleza frágil del GaN (tenacidad a la fractura 200 horas en lodos a base de KOH con pH > 12 Gestión térmica mejorada: Conductividad térmica > 0,5 W/m-K para una rápida disipación del calor de fricción localizado (el GaN es sensible a la temperatura) La serie de almohadillas específicas para GaN de Jizhi Electronics ha sido validada en la producción en serie de obleas de 6 pulgadas, con un control del alabeo < 50 µm.

La mejora puede cuantificarse a través de tres métricas clave: Mejora del TTV: El diseño patentado de la capa elástica porosa controla la variación del grosor total de la oblea a 95% Control de defectos: La estructura de superficie de fibra flexible reduce la densidad de defectos por rayado a < 0,05 cuentas/cm² Ofrecemos servicios gratuitos de auditoría de procesos para proporcionar a los clientes informes comparativos de referencia.

Las almohadillas de acabado CMP (Final Pads) están específicamente diseñadas para el acabado ultrapreciso de superficies. Sus principales características son Estructura superficial más fina: Porosidad < 10% con mayor densidad de ranuras para el control de la eliminación de material a nanoescala (< 50 nm/min) Módulo elástico optimizado (normalmente 1 GPa) para una eliminación rápida Etapa de acabado: Debe utilizar tampones de acabado para garantizar una rugosidad superficial Ra < 0,5 nm Jizhi Electronics ofrece soluciones completas de tampones con adaptación inteligente de los parámetros del proceso.