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L'évaluation de la durée de vie nécessite un suivi complet des indicateurs suivants : Surveillance métrique Plage normale Remplacement Avertissement Changement de porosité de surface Valeur initiale ± 5% > ± 15% Taux de récupération élastique > 92% < 85% Stabilité du coefficient de frottement Fluctuation ± 0,05 Taux de consommation de boue Base ± 10% Augmentation > 25% Solution de surveillance intelligente : Nous proposons en option des capteurs intégrés qui transmettent les données de pression/température en temps réel aux systèmes MES du client. Une analyse professionnelle de la topographie de la surface est recommandée tous les 500 cycles de polissage.

Trois exigences particulières doivent être satisfaites : Polissage à faible contrainte : le module élastique du substrat doit correspondre à la nature fragile du GaN (ténacité à la rupture 200 heures dans des boues à base de KOH avec un pH > 12 Gestion thermique améliorée : Conductivité thermique > 0,5 W/m-K pour une dissipation rapide de la chaleur de friction localisée (le GaN est sensible à la température) La série de tampons spécifiques au GaN de Jizhi Electronics a été validée dans la production de masse de plaquettes de 6 pouces, avec un contrôle du gauchissement < 50 µm.

L'amélioration peut être quantifiée à l'aide de trois indicateurs clés : Amélioration du TTV : La conception exclusive de la couche élastique poreuse contrôle la variation de l'épaisseur totale de la plaquette à 95% Contrôle des défauts : La structure flexible de la surface des fibres réduit la densité des défauts de rayures à < 0,05 points/cm². Nous proposons des services gratuits d'audit des processus afin de fournir à nos clients des rapports de comparaison.

Les tampons de finition CMP (Final Pads) sont spécialement conçus pour une finition de surface ultra-précise. Leurs principales caractéristiques sont les suivantes Structure de surface plus fine : Porosité < 10% avec une densité de rainures plus élevée pour un contrôle de l'enlèvement de matière à l'échelle nanométrique (< 50 nm/min) Module élastique optimisé (typiquement 1 GPa) pour un enlèvement rapide Étape de finition : Doit utiliser des tampons de finition pour garantir une rugosité de surface Ra < 0,5 nm Jizhi Electronics offre des solutions complètes de portefeuille de tampons avec une adaptation intelligente des paramètres du processus.