Comment peut-on quantifier l'amélioration de l'uniformité du polissage après l'utilisation de vos tampons de finition ?
L'amélioration peut être quantifiée à l'aide de trois indicateurs clés :
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Amélioration du TTV: La conception exclusive de la couche élastique poreuse permet de contrôler la variation de l'épaisseur totale de la plaquette à < 0,3 µm (amélioration de 40% par rapport aux plaquettes conventionnelles).
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Uniformité du taux d'enlèvement: La technologie des micro-canaux améliore la non-uniformité à l'intérieur du wafer (WIWNU) à > 95%
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Contrôle des défauts: La structure flexible de la surface des fibres réduit la densité des défauts de rayures à < 0,05 points/cm².
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